JPS599537A - Mtf測定方法 - Google Patents
Mtf測定方法Info
- Publication number
- JPS599537A JPS599537A JP11688582A JP11688582A JPS599537A JP S599537 A JPS599537 A JP S599537A JP 11688582 A JP11688582 A JP 11688582A JP 11688582 A JP11688582 A JP 11688582A JP S599537 A JPS599537 A JP S599537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line image
- intensity distribution
- mtf
- lens
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0292—Testing optical properties of objectives by measuring the optical modulation transfer function
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レンズ等の光学系のMTF測定方法に関す
る。
る。
レンズの性能の指標として用いられるMTF(Modu
lation transfer function、
コントラスト伝達率、レスポンス関数とも云う)の測定
は、テストチャートに例えばスリットとして設けられた
線状パターンを被検レンズで結像させ、得られた線像の
光強度分布をフーリエ変換することによって行なわれ、
測定されたMTF値をあらかじめ定められた規格値と比
較してレンズの良否を判定する。
lation transfer function、
コントラスト伝達率、レスポンス関数とも云う)の測定
は、テストチャートに例えばスリットとして設けられた
線状パターンを被検レンズで結像させ、得られた線像の
光強度分布をフーリエ変換することによって行なわれ、
測定されたMTF値をあらかじめ定められた規格値と比
較してレンズの良否を判定する。
MTF測定機の基本的な構成を第1図により説明すると
、光源ランプ1によりスリット2を形成したテストチャ
ート6を照明し、スリット2の透過光、すなわち線状パ
ターンの出射光を被検レンズ4により結像面5に結像さ
せ、得られた線像の光強度分布を線像と直角方向に設け
た受光素子アレイ(広く云えば電荷結合素子(char
ge coupleddevice )以下CCDと略
す)6で検出し、その信号をコンピュータ7に入力して
フーリエ変換演算を行ない、MTFを求める。
、光源ランプ1によりスリット2を形成したテストチャ
ート6を照明し、スリット2の透過光、すなわち線状パ
ターンの出射光を被検レンズ4により結像面5に結像さ
せ、得られた線像の光強度分布を線像と直角方向に設け
た受光素子アレイ(広く云えば電荷結合素子(char
ge coupleddevice )以下CCDと略
す)6で検出し、その信号をコンピュータ7に入力して
フーリエ変換演算を行ない、MTFを求める。
スリット2はレンズの種々の像高位置、アジマス方向に
ついて複数本テストチャート6上に設けられ、結像面5
にはこれらのスリット2の各線像に対して夫々直交する
如くccDアレイ6が対応して設けられる。第2図はテ
ストチャート5の−例で、11月11」二及び周辺部4
個所計5個所に半径方向及び円周方向のスリット2が設
けられ、結像面5には第6図に示す如く、これに対応す
る位置にCCDアレイ6が設けられている。
ついて複数本テストチャート6上に設けられ、結像面5
にはこれらのスリット2の各線像に対して夫々直交する
如くccDアレイ6が対応して設けられる。第2図はテ
ストチャート5の−例で、11月11」二及び周辺部4
個所計5個所に半径方向及び円周方向のスリット2が設
けられ、結像面5には第6図に示す如く、これに対応す
る位置にCCDアレイ6が設けられている。
上記のMTF値の測定に際しては、ノイズ除去のために
、同一の線像を複数回繰返してCCT)アレイにより走
査して強度分布を読取り、各部毎に強度を平均化し、平
均化された強度分布を用いて演算処理を行なうことが従
来より行なわれている。
、同一の線像を複数回繰返してCCT)アレイにより走
査して強度分布を読取り、各部毎に強度を平均化し、平
均化された強度分布を用いて演算処理を行なうことが従
来より行なわれている。
その場合、従来のMTF測定方法では、あるCCDアレ
イの同一サンプル点のデータ同志を複数回加算し、加算
された後の線像強度分布についてピーク付近をコンピュ
ーターに転送し演算処理してMTF値を求めるのが通常
であった。しかし、この方法で線像強度分布の平均化を
行なった場合は、複数回のデータ読取り期間中に機械的
な振動等の原因で線像の結像位箇が変動し、ピーク位置
、すなわち位相がr−7′、いにずれることがしばしば
ある。
イの同一サンプル点のデータ同志を複数回加算し、加算
された後の線像強度分布についてピーク付近をコンピュ
ーターに転送し演算処理してMTF値を求めるのが通常
であった。しかし、この方法で線像強度分布の平均化を
行なった場合は、複数回のデータ読取り期間中に機械的
な振動等の原因で線像の結像位箇が変動し、ピーク位置
、すなわち位相がr−7′、いにずれることがしばしば
ある。
したがって、この方法で加算又は平均化された線像強度
分布は、ゆらぎのノイズを拾うことになるので真の形状
よりもダした、即ちピーク値が低く尖鋭度の低い分布に
なり、正しいMTFの値が得られないことになる。
分布は、ゆらぎのノイズを拾うことになるので真の形状
よりもダした、即ちピーク値が低く尖鋭度の低い分布に
なり、正しいMTFの値が得られないことになる。
この発明は、ノイズ除去のための線像強度分布の平均化
を−1−記の方法で行なう従来のMTF測定方法の」二
連の欠点にかんがみ、線像におけるノイズを除去するた
めの平均化により強度分布がダレるようなことがなく、
正しい強度分布が得られ、正確なM T ’F値を求め
ることが出来るMTF測定方法を提供することを目的と
する。
を−1−記の方法で行なう従来のMTF測定方法の」二
連の欠点にかんがみ、線像におけるノイズを除去するた
めの平均化により強度分布がダレるようなことがなく、
正しい強度分布が得られ、正確なM T ’F値を求め
ることが出来るMTF測定方法を提供することを目的と
する。
以下、本発明をその実施例を示す図面にもとすいて詳細
に説明する。
に説明する。
第4図において、多数のCCDアレイ6がらの信号のう
ちの1つの信号がマルチプレクス(MPX)8によって
選択され、アナログ・ディジタルコンバータ(ADC)
9によりA/D変換され、ランダムアクセスメモリ(R
AM)10に取り込まれる。
ちの1つの信号がマルチプレクス(MPX)8によって
選択され、アナログ・ディジタルコンバータ(ADC)
9によりA/D変換され、ランダムアクセスメモリ(R
AM)10に取り込まれる。
1つのCCDアレイ6がらのデータ取込み回数を例えば
3回とすれば、メモリ(RAM)10には、第5図に示
す如く3個の線像データ■、■。
3回とすれば、メモリ(RAM)10には、第5図に示
す如く3個の線像データ■、■。
■が取込まれる。
このメモリから最初の1個の線像データ■を取出しくス
テップ■)、補正回路11によりCCDビットニおける
感度、暗電流のバラツキについて補正を行なう(ステッ
プ■)。次にMayルーチン12において線像強度分布
の最大値を探し出し、最大値のメモリのアドレスの前後
一定数のメモリだけを加算回路13にストアする。残り
2個の線像データ■、■についても同様の処理を行ない
、加算回路13にストアする。
テップ■)、補正回路11によりCCDビットニおける
感度、暗電流のバラツキについて補正を行なう(ステッ
プ■)。次にMayルーチン12において線像強度分布
の最大値を探し出し、最大値のメモリのアドレスの前後
一定数のメモリだけを加算回路13にストアする。残り
2個の線像データ■、■についても同様の処理を行ない
、加算回路13にストアする。
加算回路13からは、最大値の位置を合せた、換言すれ
ば位相の揃った6個の線像強度分布の和、あるいは平均
値が出力される。しため1って線像のゆらぎによる影響
は除去され、正確な、被検レンズのみによる線像強度分
布を得ることができ、これを用いてコンピュータ7によ
りフーリエ変換の演算を行なうことにより精度の高いM
TFを測定することが可能となる。
ば位相の揃った6個の線像強度分布の和、あるいは平均
値が出力される。しため1って線像のゆらぎによる影響
は除去され、正確な、被検レンズのみによる線像強度分
布を得ることができ、これを用いてコンピュータ7によ
りフーリエ変換の演算を行なうことにより精度の高いM
TFを測定することが可能となる。
第1図はMTF測定機の基本構成の1例を示す説明図、
第2図はそのテストチャートの1例を示す正面図、第6
図はその結像面のCCDアレイの配置を示す正面図、第
4図は本発明のMTF測定方法における線像データ処理
回路のブロック図、第5図は」二記処理回路による線像
データの平均化のステップを示す説明図である。 2・・・スリット(線状パターン) 2′・・・線像 6・・・テストチャート4
・・・被検レンズ
第2図はそのテストチャートの1例を示す正面図、第6
図はその結像面のCCDアレイの配置を示す正面図、第
4図は本発明のMTF測定方法における線像データ処理
回路のブロック図、第5図は」二記処理回路による線像
データの平均化のステップを示す説明図である。 2・・・スリット(線状パターン) 2′・・・線像 6・・・テストチャート4
・・・被検レンズ
Claims (1)
- テストチャート上の線状パターンを被検レンズで結像さ
せて得られた線像の強度分布を、ノイズ除去のため複数
回読取って平均化し、その強度分布をフーリエ変換して
上記被検レンズのMTFを求めるレンズのMT’F測定
方法において、上記の複数回読取られた線像の各回の強
度分布の最大値の位置が一致する如く強度分布の位相を
揃えて各部の強度を平均化することを特徴とするMTF
測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11688582A JPS599537A (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | Mtf測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11688582A JPS599537A (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | Mtf測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599537A true JPS599537A (ja) | 1984-01-18 |
Family
ID=14698046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11688582A Pending JPS599537A (ja) | 1982-07-07 | 1982-07-07 | Mtf測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112985781A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-06-18 | 立臻科技(昆山)有限公司 | 一种镜头测试数据处理方法、装置、设备及存储介质 |
-
1982
- 1982-07-07 JP JP11688582A patent/JPS599537A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112985781A (zh) * | 2021-04-27 | 2021-06-18 | 立臻科技(昆山)有限公司 | 一种镜头测试数据处理方法、装置、设备及存储介质 |
| CN112985781B (zh) * | 2021-04-27 | 2021-08-10 | 立臻科技(昆山)有限公司 | 一种镜头测试数据处理方法、装置、设备及存储介质 |
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