JPS5995564U - 電子線装置 - Google Patents

電子線装置

Info

Publication number
JPS5995564U
JPS5995564U JP17419183U JP17419183U JPS5995564U JP S5995564 U JPS5995564 U JP S5995564U JP 17419183 U JP17419183 U JP 17419183U JP 17419183 U JP17419183 U JP 17419183U JP S5995564 U JPS5995564 U JP S5995564U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
beam equipment
vacuum
evacuation state
displaying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17419183U
Other languages
English (en)
Inventor
洋一 小原
森口　作美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP17419183U priority Critical patent/JPS5995564U/ja
Publication of JPS5995564U publication Critical patent/JPS5995564U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置を示す略図、第２図は第
１図の装置の要部を示す略図及び第３図は本考案装置に
よって表示される真空排気装置の動作状態の一例を示す
略図であ名。 １：電子顕微鏡の鏡筒、３．４：操作パネル、６：ブラ
ウン管、７：表示回路、８：中央制御回路、９ニ一真空
制御回路、１０：真空操作手段、１１：真空排気装置、
１２：表示選択手段。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 文字、記号、図形を表示する表示手段へ真空鏡筒の真空
    排気状態を表示する信号又は他の入力信号を選択的に供
    給する信号発生手段、及び装置の始動直後においては常
    に前記表示手段に前記真空排気状態を表示させる制御手
    段を設けたことを特徴とする電子線装置。
JP17419183U 1983-11-10 1983-11-10 電子線装置 Pending JPS5995564U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17419183U JPS5995564U (ja) 1983-11-10 1983-11-10 電子線装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17419183U JPS5995564U (ja) 1983-11-10 1983-11-10 電子線装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5995564U true JPS5995564U (ja) 1984-06-28

Family

ID=30379278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17419183U Pending JPS5995564U (ja) 1983-11-10 1983-11-10 電子線装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5995564U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5995564U (ja) 電子線装置
JPS60129064U (ja) 電子顕微鏡
JPS59156354U (ja) 走査形電子顕微鏡等のデ−タ表示装置
JPS58113957U (ja) 透過電子顕微鏡像のコントラスト表示装置
JPS5891785U (ja) 色ズレ補正回路
JPS60184141U (ja) 映像表示装置
JPS5819339U (ja) デイスプレイ装置
JPS58142739U (ja) デ−タ入力装置
JPS60184093U (ja) 表示装置
JPS58160008U (ja) Ｘ線撮影用表示装置
JPS582043U (ja) グラフイツクパネル装置
JPS6222691U (ja)
JPS59170874U (ja) 大型表示装置
JPS594408U (ja) 透過電子顕微鏡
JPS6080658U (ja) 走査電子顕微鏡等の像表示装置
JPS59184180U (ja) 大形表示装置
JPS596208U (ja) Ｃｒｔ故障表示装置
JPS5952725U (ja) チヤンネル切替装置
JPS5989393U (ja) 音高表示装置
JPS59181488U (ja) ブラウン管入力ガイドプレ−ト
JPS59189109U (ja) タンカ−の荷役制御操作盤
JPS60169685U (ja) 多色文字表示装置
JPS61182090A (ja) 発電プラントの監視装置
JPS58157384U (ja) 陰極線管表示装置
JPS60180042U (ja) 自動デ−タ集録装置