JPS599789U - 静電吸着板の電極構造 - Google Patents
静電吸着板の電極構造Info
- Publication number
- JPS599789U JPS599789U JP10426682U JP10426682U JPS599789U JP S599789 U JPS599789 U JP S599789U JP 10426682 U JP10426682 U JP 10426682U JP 10426682 U JP10426682 U JP 10426682U JP S599789 U JPS599789 U JP S599789U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comb
- adsorption plate
- electrode structure
- electrostatic adsorption
- shaped electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の静電吸着板の電極構造を示す平面図、
そして、第２図は、本考案による静電吸着板の電極構造
を示す平面図である。 １、 ２． ６． ７・・・・・・電極、３．訃・・・
・・絶縁支持層、９・・・・・・櫛歯型電極の端の櫛歯
の延長部。
そして、第２図は、本考案による静電吸着板の電極構造
を示す平面図である。 １、 ２． ６． ７・・・・・・電極、３．訃・・・
・・絶縁支持層、９・・・・・・櫛歯型電極の端の櫛歯
の延長部。
Claims (1)
- 導電性材料でつくられた一対の櫛歯状電極が互に噛み合
うように熱可塑性絶縁支持層上に配置され、その上を熱
可塑性保護層が被覆している静電吸着板において、一方
の櫛歯状電極の最外部の櫛歯部分は、他方の櫛歯状電極
をほぼ囲むように延−びていることを特徴とする電極構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10426682U JPS599789U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静電吸着板の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10426682U JPS599789U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静電吸着板の電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS599789U true JPS599789U (ja) | 1984-01-21 |
| JPH0134558Y2 JPH0134558Y2 (ja) | 1989-10-20 |
Family
ID=30244896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10426682U Granted JPS599789U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 静電吸着板の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS599789U (ja) |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP10426682U patent/JPS599789U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0134558Y2 (ja) | 1989-10-20 |
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