JPS5998642U - 照明光源装置 - Google Patents
照明光源装置Info
- Publication number
- JPS5998642U JPS5998642U JP19328882U JP19328882U JPS5998642U JP S5998642 U JPS5998642 U JP S5998642U JP 19328882 U JP19328882 U JP 19328882U JP 19328882 U JP19328882 U JP 19328882U JP S5998642 U JPS5998642 U JP S5998642U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- source device
- light amount
- lighting light
- detection level
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を示すブロック図である。
３・・・・・・光量検出、４・・・・・・定光量制御、
８・・・・・・比較器。
８・・・・・・比較器。
Claims (1)
- 初期点灯時は設定値を光源の使用可能範囲内に設定し、
光量検出のレベルが設定値に達するまで定電力制御を行
い、光量検出のレベルが設定値に達すると比較器により
フリップ・フロップが反転し定光量制御に切換りウェハ
ーの露光が可能となるように構成されていることを特徴
とする照明光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19328882U JPS5998642U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 照明光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19328882U JPS5998642U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 照明光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998642U true JPS5998642U (ja) | 1984-07-04 |
Family
ID=30415760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19328882U Pending JPS5998642U (ja) | 1982-12-22 | 1982-12-22 | 照明光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5998642U (ja) |
-
1982
- 1982-12-22 JP JP19328882U patent/JPS5998642U/ja active Pending
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