JPS6010154A - 金属表面分析用試料保持方法および保持具 - Google Patents
金属表面分析用試料保持方法および保持具Info
- Publication number
- JPS6010154A JPS6010154A JP11698483A JP11698483A JPS6010154A JP S6010154 A JPS6010154 A JP S6010154A JP 11698483 A JP11698483 A JP 11698483A JP 11698483 A JP11698483 A JP 11698483A JP S6010154 A JPS6010154 A JP S6010154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- container
- metal plate
- glow discharge
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（利用分野）
本発明は金属試料板の表面層をグロー放電発光分光法に
より分析する際に分析面を平滑に保持することができる
、金属表面分析用試料保持方法およびその保持具に関す
るものである。
より分析する際に分析面を平滑に保持することができる
、金属表面分析用試料保持方法およびその保持具に関す
るものである。
（従来技術）
近年、金属材料に各種表面処理を行ない、耐食性など材
料の特性を向上させることが要求されてきている。表面
処理の良否は材料の表面層の状態に依存することから、
これに対応して材料研究の面からも、その表面層を解析
し、製造プロセス条件の設定に適正な情報を提供する必
要があることが認識されてきている。上記の表面層とは
厚さが数Ａから約１μｍの範囲で、材料の最表面に形成
している主として酸化皮膜（たとえば、鉄、マンガン、
けい素、アルミニウムなどの酸化物〕を指すものである
。
料の特性を向上させることが要求されてきている。表面
処理の良否は材料の表面層の状態に依存することから、
これに対応して材料研究の面からも、その表面層を解析
し、製造プロセス条件の設定に適正な情報を提供する必
要があることが認識されてきている。上記の表面層とは
厚さが数Ａから約１μｍの範囲で、材料の最表面に形成
している主として酸化皮膜（たとえば、鉄、マンガン、
けい素、アルミニウムなどの酸化物〕を指すものである
。
現在、オングストロームからミクロン域の皮膜の状態や
組成などの表面分析を行なう装置は各種存在するが、金
属材料自身および表面処理を行なった後の皮膜の状態を
迅速に調べる方法としてグロー放電発光分光装置（Ｇｌ
ｏｗ −Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ＯｐｔｉｃａｌＥｍｉｓ
ｓｉｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ 、以下ＧＤＳと
略称する〕がある。Ｇ ］） Ｓは広範囲の皮膜の最表
面層からの深さ゛方向組成分布および皮膜の平均的組成
を迅速に調べることができるのが特徴である。まず、
ＧＤＳに関して若干説明を行なう。
組成などの表面分析を行なう装置は各種存在するが、金
属材料自身および表面処理を行なった後の皮膜の状態を
迅速に調べる方法としてグロー放電発光分光装置（Ｇｌ
ｏｗ −Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ＯｐｔｉｃａｌＥｍｉｓ
ｓｉｏｎ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ 、以下ＧＤＳと
略称する〕がある。Ｇ ］） Ｓは広範囲の皮膜の最表
面層からの深さ゛方向組成分布および皮膜の平均的組成
を迅速に調べることができるのが特徴である。まず、
ＧＤＳに関して若干説明を行なう。
ＧＤＳでは金属試料板の表面が、グロー放電管の陽極で
生じたアルゴンイオンにより衝撃され５表層から層状に
規則的に侵食される。試料表面から侵食された徽細粒子
は、グロー放電によって生じたプラズマ中ｌこ供給され
、原子状態で励起され、その構成元素の特性スペクトル
線を放射する。したがって、グロー放電のプラズマ光を
回折格子等で分光し、特性スペクトル線の強度を光増倍
管により測定することによって各層での組成を知ること
ができる。
生じたアルゴンイオンにより衝撃され５表層から層状に
規則的に侵食される。試料表面から侵食された徽細粒子
は、グロー放電によって生じたプラズマ中ｌこ供給され
、原子状態で励起され、その構成元素の特性スペクトル
線を放射する。したがって、グロー放電のプラズマ光を
回折格子等で分光し、特性スペクトル線の強度を光増倍
管により測定することによって各層での組成を知ること
ができる。
上記放電管は第１図に示すようにダイオード型の構成て
、陽極１および水冷用導管７をもった陰極８は、それぞ
れ熱伝導性の良いＣｕ−Ｃｏ −Ｂｅの一部ブロックに
なっており、０．２ｍｍ厚のテフロン板４で互に絶縁さ
れている。試料５は水冷用導管７をもった押しつけ用板
６とともに支持具１２で機械的に陰極ブロックに押しう
けられ５放電管をシールし外気と遮断すると同時に陰極
の一部を形成する。石英窓１１をもった中空円柱状の陽
極管２は陰極ブロックを貫通し、試料５ （！： ０．
２ ｍｍの間隔で対向している。２つの真空排気系３お
よび９で段排気し、ガス導入口１０からアルゴンガスを
放電管中に入れアルゴン圧力を数Ｔｏｒｒに保ち、両極
間に約１０００Ｖの直流電圧をかけるとグロー放電が生
じる。
、陽極１および水冷用導管７をもった陰極８は、それぞ
れ熱伝導性の良いＣｕ−Ｃｏ −Ｂｅの一部ブロックに
なっており、０．２ｍｍ厚のテフロン板４で互に絶縁さ
れている。試料５は水冷用導管７をもった押しつけ用板
６とともに支持具１２で機械的に陰極ブロックに押しう
けられ５放電管をシールし外気と遮断すると同時に陰極
の一部を形成する。石英窓１１をもった中空円柱状の陽
極管２は陰極ブロックを貫通し、試料５ （！： ０．
２ ｍｍの間隔で対向している。２つの真空排気系３お
よび９で段排気し、ガス導入口１０からアルゴンガスを
放電管中に入れアルゴン圧力を数Ｔｏｒｒに保ち、両極
間に約１０００Ｖの直流電圧をかけるとグロー放電が生
じる。
（問題点〕
さて、ＧＤＳにより金属試料板の表面を分析する場合、
試料の厚みが厚く充分な剛性をもっときは何ら問題を生
じないが、金属の組成、熱履歴。
試料の厚みが厚く充分な剛性をもっときは何ら問題を生
じないが、金属の組成、熱履歴。
厚み等により剛性が不足すると不都合が生ずる。
例えば、軟鋼板の厚みが約０．３ ｍｍ以下になると、
試料板のスパッタリングされる部分が電極（陽極〕側に
吸い込まれ、前記したように試料板ａ陽極との間隙は非
常に狭い（０，２ａｍ ）ので短絡し、異常放電を起し
、正常な測定・が出来ない。そこで、本発明者らは０：
３間以下の金属材料を測定する場合につぎのいくつかの
試料保持方法を試みた。すなわち、 （１） 測定金属試料板に厚さ１ｍｍ以上の裏板をあて
、両者を接着剤で固定して補強し、陽極側への吸い込み
を防止する。同法では比較的長時間放電を行なうと、た
とえ冷却板を裏板の外側にあてても局部的に温度が上昇
し、接着剤部分で試料の剥離が起り陽極側へ吸い込まれ
てしまう。
試料板のスパッタリングされる部分が電極（陽極〕側に
吸い込まれ、前記したように試料板ａ陽極との間隙は非
常に狭い（０，２ａｍ ）ので短絡し、異常放電を起し
、正常な測定・が出来ない。そこで、本発明者らは０：
３間以下の金属材料を測定する場合につぎのいくつかの
試料保持方法を試みた。すなわち、 （１） 測定金属試料板に厚さ１ｍｍ以上の裏板をあて
、両者を接着剤で固定して補強し、陽極側への吸い込み
を防止する。同法では比較的長時間放電を行なうと、た
とえ冷却板を裏板の外側にあてても局部的に温度が上昇
し、接着剤部分で試料の剥離が起り陽極側へ吸い込まれ
てしまう。
（２）測定金属試料板（ただし、強磁性体に限る）を強
力な磁石ｔこ吸着させて固定し、測定を行なう。この場
合は強力な磁石であっても金属試料板が薄くなればなる
ほど保磁力が弱まり、陽極側の吸引力の方が大きく短絡
が起り、正常な放電を行なうことができない。
力な磁石ｔこ吸着させて固定し、測定を行なう。この場
合は強力な磁石であっても金属試料板が薄くなればなる
ほど保磁力が弱まり、陽極側の吸引力の方が大きく短絡
が起り、正常な放電を行なうことができない。
上記のように約０．３ ｍｍ以下の薄手金属試料板を対
象とした場合には測定が困難であった。
象とした場合には測定が困難であった。
（発明の構成〕
本発明は前述のようなＧＤＳＩこよる金属試料板の表面
分析を行なう際の問題点に鑑み、グロー放電管側の吸引
力と同じか、真空容器側がそれよりも高い吸引力になる
ようにして試料板を吸着させ、適正な電極の間隔を維持
して短絡を防止し、測定を可能ならしめる試料保持方法
および保持具を提供するものである。
分析を行なう際の問題点に鑑み、グロー放電管側の吸引
力と同じか、真空容器側がそれよりも高い吸引力になる
ようにして試料板を吸着させ、適正な電極の間隔を維持
して短絡を防止し、測定を可能ならしめる試料保持方法
および保持具を提供するものである。
以下、本発明について、さらに図面で詳細に説明する。
第２図、第３図、第４図は不発明記ついての説明図であ
る。
る。
金属試料板１３を真空容器１４と貫通している開孔部１
５＋こあてる。開孔部１５は金属試料板１３と密着し、
気密性を保つためｔこＯリング１６を設置する。この開
孔部１５は本発明の重要な点であるので、さらに詳しく
述べる。
５＋こあてる。開孔部１５は金属試料板１３と密着し、
気密性を保つためｔこＯリング１６を設置する。この開
孔部１５は本発明の重要な点であるので、さらに詳しく
述べる。
■ ＧＤＳグロー放電管（一般に放電径は１３ ｍｍφ
である）′あの真空度がたとえば、１〜３ Ｔｏｒｒと
すると（一般（ここのような真空度で測定を行なう）、
真空容器１４の開孔部１５での真空度をそれより大きク
シ、グロー放電管【こ吸い込すれないようにする必要が
ある。すなわち５真空容器側の付着力ｆ、とグロー放電
管側の吸着力ｆ２とはつぎのような関係になる。
である）′あの真空度がたとえば、１〜３ Ｔｏｒｒと
すると（一般（ここのような真空度で測定を行なう）、
真空容器１４の開孔部１５での真空度をそれより大きク
シ、グロー放電管【こ吸い込すれないようにする必要が
ある。すなわち５真空容器側の付着力ｆ、とグロー放電
管側の吸着力ｆ２とはつぎのような関係になる。
／、＝Ｓ、Ｘ（７６０−Ｖ、）、 ｆ２＝Ｓ２Ｘ（７６
０−Ｖ２）ｆ１≧１２ ｆｌ：真空容器側付着力 、ｆ２ニゲロー放放電管側蓋
力Ｓ１＋８２：実効開孔面積 １ ｖ、 ｌ ｖ２：真
空度しかし、金属試料板をグロー放電管に設定する前に
、逆に真空容器側に吸い込まれて変形しては適正な電極
間距離が得られないため、一つの大きな孔ではなく複数
の孔をあけた形状とし、開孔領域はグロー放電管と同一
径にするか、それより大きい径にして吸い込みによる変
形を防止する。
０−Ｖ２）ｆ１≧１２ ｆｌ：真空容器側付着力 、ｆ２ニゲロー放放電管側蓋
力Ｓ１＋８２：実効開孔面積 １ ｖ、 ｌ ｖ２：真
空度しかし、金属試料板をグロー放電管に設定する前に
、逆に真空容器側に吸い込まれて変形しては適正な電極
間距離が得られないため、一つの大きな孔ではなく複数
の孔をあけた形状とし、開孔領域はグロー放電管と同一
径にするか、それより大きい径にして吸い込みによる変
形を防止する。
■ 開孔部での金属試料板１３面が凹凸にならないよう
に平滑にする必要がある。すなわち、同試料板が平滑で
なければグロー放電管との気密性が保てず、グロー放電
が起らない。さらに、真空容器１４と金属試料板１３と
の気密性を保持するために、開孔部１５の外周にＯリン
グ１６をもうけた。この０リングは開孔部１５の平滑面
と同一面になるように溝の加工を行なう必要がある。つ
まり、０リングが平滑面より上に出ていると、同部分と
開孔部間に段差ができて、金属試料板１３にしわが生じ
たり、気密性が保てなくなるからである。
に平滑にする必要がある。すなわち、同試料板が平滑で
なければグロー放電管との気密性が保てず、グロー放電
が起らない。さらに、真空容器１４と金属試料板１３と
の気密性を保持するために、開孔部１５の外周にＯリン
グ１６をもうけた。この０リングは開孔部１５の平滑面
と同一面になるように溝の加工を行なう必要がある。つ
まり、０リングが平滑面より上に出ていると、同部分と
開孔部間に段差ができて、金属試料板１３にしわが生じ
たり、気密性が保てなくなるからである。
排気用管１７を介して３方バルブ１８を開けて真空ポン
プ１９により真空容器１４内を排気する。冷却容器銀は
、真空容器１４を用いて測定中にグロー放電管ｓ その冷却のため設けたものである。これは一体ものでな
く、前記ＧＤＳのように冷却板を真空容器１４に接触さ
せる方式でもよいが、上記方式の方が冷却効果がよく、
しかも操作が簡単である。冷却用管２１を介して２方バ
ルブ２２を開けて水を常時流しておく。通常は水道水を
用いるが、冷却温度はなるべく低い方がよく、水板外の
冷媒でもよい。真空容器１４と冷却容器側を固定するた
めに固定具器を両者の間に入れ、それぞれが気密性を保
てるように固定用０１Ｊング２４を両面に設置する。さ
らｔこ、固定具Ｚ３をボルト６を用いて固定する。
プ１９により真空容器１４内を排気する。冷却容器銀は
、真空容器１４を用いて測定中にグロー放電管ｓ その冷却のため設けたものである。これは一体ものでな
く、前記ＧＤＳのように冷却板を真空容器１４に接触さ
せる方式でもよいが、上記方式の方が冷却効果がよく、
しかも操作が簡単である。冷却用管２１を介して２方バ
ルブ２２を開けて水を常時流しておく。通常は水道水を
用いるが、冷却温度はなるべく低い方がよく、水板外の
冷媒でもよい。真空容器１４と冷却容器側を固定するた
めに固定具器を両者の間に入れ、それぞれが気密性を保
てるように固定用０１Ｊング２４を両面に設置する。さ
らｔこ、固定具Ｚ３をボルト６を用いて固定する。
なお、上記で述べた排気用管１７，３方バルブ１８、真
空ポンプ１９．冷却用管２１，２方ノクルブ２２を除い
た真空容器１４からボルト２５マでを構成するものを本
発明の保持具本体と表現する。
空ポンプ１９．冷却用管２１，２方ノクルブ２２を除い
た真空容器１４からボルト２５マでを構成するものを本
発明の保持具本体と表現する。
以上が本発明に関する詳細な説明であるが、さらに実施
例にもとすいて具体的に述べる。
例にもとすいて具体的に述べる。
（実施例）
皮膜の厚さが２０００〜！３００ ＯＡの薄手冷延鋼板
の酸化皮膜の分析例について述べる。金属試料板１３
（３０Ｘ ３０ Ｘ ０．２各ｍｍ）を第２図および第
３図のように真空容器１４に設置する。壕ず、保持具本
体の形状は３０φ×３５各閣で、材質は加工性、４電性
、熱伝導性を考慮して真ちゅうを用いた。真空容器１４
の開孔部１５の径は１４謔φとし、その中に１４解φの
貫通した穴を４０個開け、開孔率を約４０％とした。
の酸化皮膜の分析例について述べる。金属試料板１３
（３０Ｘ ３０ Ｘ ０．２各ｍｍ）を第２図および第
３図のように真空容器１４に設置する。壕ず、保持具本
体の形状は３０φ×３５各閣で、材質は加工性、４電性
、熱伝導性を考慮して真ちゅうを用いた。真空容器１４
の開孔部１５の径は１４謔φとし、その中に１４解φの
貫通した穴を４０個開け、開孔率を約４０％とした。
この平滑面は≠４００で研磨した程度とし、０リング１
６は内径１４ ｍｍφ、肉厚２．２調のものを使用した
。つぎに、真空容器１４内を第２図の排気用管１７から
３方バルブ１８を開け、ロータリーポンプ１９で排気を
行ない、真空度を１０−’ Ｔｏｒｒ （陽極管内近傍
）とし、金属試料板１３を開孔部１５に吸着固定をする
。第２図および第４図の冷却容器の冷却用管２１を通し
て２方バルブ２２を開けて水を流しく■θ−〕、容器全
体を冷却する。
６は内径１４ ｍｍφ、肉厚２．２調のものを使用した
。つぎに、真空容器１４内を第２図の排気用管１７から
３方バルブ１８を開け、ロータリーポンプ１９で排気を
行ない、真空度を１０−’ Ｔｏｒｒ （陽極管内近傍
）とし、金属試料板１３を開孔部１５に吸着固定をする
。第２図および第４図の冷却容器の冷却用管２１を通し
て２方バルブ２２を開けて水を流しく■θ−〕、容器全
体を冷却する。
つぎに保持具本体の真空容器１４に固定されている金属
試料板１３面とＧＤＳの陰極面と密着させる。
試料板１３面とＧＤＳの陰極面と密着させる。
第４図の冷却容器切面の中心に第１図のＧＤＳの支持具
１２を押しつけて支持する。
１２を押しつけて支持する。
グロー放電の条件は印加電圧：約８００Ｖ、印加電流ニ
ア５ｍＡ、定電流モードにより金属試料板１３の最表面
から深さ方向へスパッタリングを行なう。
ア５ｍＡ、定電流モードにより金属試料板１３の最表面
から深さ方向へスパッタリングを行なう。
以上の条件で表面皮膜から鉄マトリックス葦て鉄の強度
の推移を、従来の裏板接着剤方式および試料板のみとの
比較も含めて測定した。その結果を表１に示した。表か
られかるように、本発明は表面の鉄酸化皮膜から鉄マト
リックスに至る葦で鉄の強度が順次変化していく状態が
測定てきたが。
の推移を、従来の裏板接着剤方式および試料板のみとの
比較も含めて測定した。その結果を表１に示した。表か
られかるように、本発明は表面の鉄酸化皮膜から鉄マト
リックスに至る葦で鉄の強度が順次変化していく状態が
測定てきたが。
試料板が吸引され変形するため従来法では放電が不安定
で、途中からグロー放電管の陽極と試料とが短絡し放電
不能となった。
で、途中からグロー放電管の陽極と試料とが短絡し放電
不能となった。
表 Ｉ ＧＤＳ１こよる薄手冷延鋼板の最表面から深さ
方向の銖強度値 ｍ：短絡によりブレーカ−が作動し放電停止単位二カウ
ント（Ａｒｂ、 ｕ０目） 以上実施例でも明らかになったように本発明によれば、
ダロー放電発光分光分析装置によって薄手金属試料板の
表面皮膜を分析するに当り、短絡することなく適正な電
極間隔を保って測定を行なうことができる。したがって
、本発明は金属材料および表面処理法の開発などに寄与
するところが大である。
方向の銖強度値 ｍ：短絡によりブレーカ−が作動し放電停止単位二カウ
ント（Ａｒｂ、 ｕ０目） 以上実施例でも明らかになったように本発明によれば、
ダロー放電発光分光分析装置によって薄手金属試料板の
表面皮膜を分析するに当り、短絡することなく適正な電
極間隔を保って測定を行なうことができる。したがって
、本発明は金属材料および表面処理法の開発などに寄与
するところが大である。
第１図はＧＤＳのグミ−放電管に関する説明図であり、
第２図は本発明の説明図、第３図は真空容器部および金
属試料板の設置方法の説明図、第４図は冷却容器部とグ
ロー放電管関係を示す説明図である。 ｌ・・・陽極、２・・・陽極管、３，９・・・真空排気
系、４・・・テフロン板、５・・・試料、６・・・押し
つけ用板、７・・・水冷用導管、８・・・陰極、１０・
・・ガス導入口、１１・・・石英窓、１２・・・支持具
、１３・・・金属試料板、１４・・・真空容器、１５・
・・開孔部、１６・・・０νン〆、１７・・・排気用管
、１８・・・３方バルブ、Ｊ９・・・真空ポンプ、加・
・・冷却容器、２１・・・冷却用管、２２・・・２方バ
ルブ、ｎ・・・固定具、冴・・・固定用Ｏリング、５・
・・ボルト、２６・・・グロー放電管。 特許出願人 代理人 弁理士 矢 葺 知 之 （ほか１名〕 手続補正書（自発） 昭和５８年８り／／日 特許庁長官若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１１６９８４号 ２、発明の名称 金属表面分析用試料保持方法および保持具３、補正をす
る者 ・１１件との関係 出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目６番３号名称 （６
６５）新日本製鐵株式会社 ４、代 理 人 ５、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第１頁の特許請求の範囲の記載を以下の通
り補正する。 「（１）金属材料の表面層をグロー放電発光分光法によ
り分析するにあたり、分析する金属試料板の裏面側に、
平滑面の中央部に開孔部を設けた容器を密着させ、該容
器内を真空排気ｌ前記開孔部に金属試料板を吸着させた
状態でグロー放電管に固定し放電させることを特徴とす
る金属表面分析用試料保持方法。
第２図は本発明の説明図、第３図は真空容器部および金
属試料板の設置方法の説明図、第４図は冷却容器部とグ
ロー放電管関係を示す説明図である。 ｌ・・・陽極、２・・・陽極管、３，９・・・真空排気
系、４・・・テフロン板、５・・・試料、６・・・押し
つけ用板、７・・・水冷用導管、８・・・陰極、１０・
・・ガス導入口、１１・・・石英窓、１２・・・支持具
、１３・・・金属試料板、１４・・・真空容器、１５・
・・開孔部、１６・・・０νン〆、１７・・・排気用管
、１８・・・３方バルブ、Ｊ９・・・真空ポンプ、加・
・・冷却容器、２１・・・冷却用管、２２・・・２方バ
ルブ、ｎ・・・固定具、冴・・・固定用Ｏリング、５・
・・ボルト、２６・・・グロー放電管。 特許出願人 代理人 弁理士 矢 葺 知 之 （ほか１名〕 手続補正書（自発） 昭和５８年８り／／日 特許庁長官若杉和夫殿 １、事件の表示 昭和５８年特許願第１１６９８４号 ２、発明の名称 金属表面分析用試料保持方法および保持具３、補正をす
る者 ・１１件との関係 出願人 住所 東京都千代田区大手町二丁目６番３号名称 （６
６５）新日本製鐵株式会社 ４、代 理 人 ５、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第１頁の特許請求の範囲の記載を以下の通
り補正する。 「（１）金属材料の表面層をグロー放電発光分光法によ
り分析するにあたり、分析する金属試料板の裏面側に、
平滑面の中央部に開孔部を設けた容器を密着させ、該容
器内を真空排気ｌ前記開孔部に金属試料板を吸着させた
状態でグロー放電管に固定し放電させることを特徴とす
る金属表面分析用試料保持方法。
Claims (2)
- （１）金属材料の表面層をグロー放電発光分光法により
分析するにあたり、分析する金属試料板の裏面側に、平
滑面の中央部に開孔部を設けた容器を密着させ、該容器
内を真空排気（前記開孔部に金属試料板を吸着させた状
態でグロー放電管に固定し放電させることを特徴とする
金属表面分析用試料保持方法。 - （２） 金属材料の表面層をグロー放電発光分光分析法
により分析する際に用いるところの、平滑面の中火部に
複数の孔をあけた試料吸着用開孔部と、該開孔部に連通
し試料吸着時に内部を真空にするための排気口と、試料
の温度上昇を防止するための冷却部とからなることを特
徴とする金屑表面分析用試料保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11698483A JPS6010154A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 金属表面分析用試料保持方法および保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11698483A JPS6010154A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 金属表面分析用試料保持方法および保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010154A true JPS6010154A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14700605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11698483A Pending JPS6010154A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 金属表面分析用試料保持方法および保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010154A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62195746U (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-12 | ||
| JPS63501825A (ja) * | 1985-11-20 | 1988-07-21 | リーマン リミテッド ライアビリティー カンパニー | 固体サンプルの効率的な微粉器および広範な直線レンジを備えた原子吸収器、または螢光器具 |
| JPH04212045A (ja) * | 1990-03-19 | 1992-08-03 | Kawasaki Steel Corp | グロー放電発光分光分析方法及びその装置 |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11698483A patent/JPS6010154A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63501825A (ja) * | 1985-11-20 | 1988-07-21 | リーマン リミテッド ライアビリティー カンパニー | 固体サンプルの効率的な微粉器および広範な直線レンジを備えた原子吸収器、または螢光器具 |
| JPS62195746U (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-12 | ||
| JPH04212045A (ja) * | 1990-03-19 | 1992-08-03 | Kawasaki Steel Corp | グロー放電発光分光分析方法及びその装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Elsey | Outgassing of vacuum materials-II | |
| JP4725085B2 (ja) | 非晶質炭素、非晶質炭素被膜部材および非晶質炭素膜の成膜方法 | |
| US5226067A (en) | Coating for preventing corrosion to beryllium x-ray windows and method of preparing | |
| JPH0456420B2 (ja) | ||
| EP0155700B1 (en) | Apparatus for quantitative secondary ion mass spectrometry | |
| JP2009191308A (ja) | 硬質皮膜および硬質皮膜形成方法、硬質皮膜評価方法 | |
| CN112635294A (zh) | 超高亮度真空紫外灯 | |
| JP3381407B2 (ja) | プラズマモニタ装置およびプラズマモニタ方法 | |
| EP0174374B1 (en) | Glow discharge tube for analysis | |
| EP0448061A2 (en) | Glow discharge atomic emission spectroscopy and apparatus thereof | |
| JPH11304629A (ja) | 真空容器の漏洩検出方法及び成膜品質監視装置及び連続式真空成膜装置 | |
| US6957622B2 (en) | In-situ wear indicator for non-selective material removal systems | |
| Trivedi et al. | Physical properties of a planar magnetron glow discharge | |
| JP3396460B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置及びそれに使用するｘ線検出器 | |
| JP3359983B2 (ja) | グロー放電発光分光分析用カソードプレート | |
| JP2005030942A (ja) | グロー放電発光分光分析装置 | |
| JP2016046444A (ja) | 成膜・分析複合装置、成膜・分析複合装置の制御方法、および真空チャンバ | |
| EP0729174B1 (en) | Atmospheric seal and method for glow discharge analytical instrument | |
| JPH1194744A (ja) | グロー放電発光分光分析用試料ホルダおよびそれを用いたグロー放電発光分光分析装置 | |
| JPH07146239A (ja) | グロー放電発光分光分析装置 | |
| JPS61277042A (ja) | 金属材の組成定量方法及び装置 | |
| CN1021390C (zh) | 分析用辉光放电管 | |
| JPH0734243A (ja) | スパッタ装置用絶縁フランジ | |
| CN116429806A (zh) | 一种薄膜层刻蚀速率的测定方法 | |
| JP2001074660A (ja) | グロー放電発光分光分析装置 |