JPS60102904A - ろ過器 - Google Patents
ろ過器Info
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- JPS60102904A JPS60102904A JP58212259A JP21225983A JPS60102904A JP S60102904 A JPS60102904 A JP S60102904A JP 58212259 A JP58212259 A JP 58212259A JP 21225983 A JP21225983 A JP 21225983A JP S60102904 A JPS60102904 A JP S60102904A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はプリント基板の製造、IC−LSI等の精密
電子部品の製造時に使用りる薬品、例えば帽り硫酸、フ
ッ酸等の無機薬品又(よ、メチレンクロライド、トリク
ロルエチレン、アセトン等の有機薬品を効率よくろ過し
、上記薬品中に含まれる固体微粒子を除去するろ過器に
関づ−る。
電子部品の製造時に使用りる薬品、例えば帽り硫酸、フ
ッ酸等の無機薬品又(よ、メチレンクロライド、トリク
ロルエチレン、アセトン等の有機薬品を効率よくろ過し
、上記薬品中に含まれる固体微粒子を除去するろ過器に
関づ−る。
従来、この種のろ過器としてフッ素樹脂を使用した図1
に示すチューブラ−形ろ過器/J’ njItfjされ
ているが、このろ過器は固定板1に設(jられたネジ部
2にろ通管3を貝通させ、上記ネジ部2をプーット4で
締付りることにより、ろ通管を固定(反tこ液密状に固
定し、両回定板を内方向【こ引寄せ、タト筒内径より多
少大きくした外筒端部5.6tこ(よめ込み固定するも
のである。
に示すチューブラ−形ろ過器/J’ njItfjされ
ているが、このろ過器は固定板1に設(jられたネジ部
2にろ通管3を貝通させ、上記ネジ部2をプーット4で
締付りることにより、ろ通管を固定(反tこ液密状に固
定し、両回定板を内方向【こ引寄せ、タト筒内径より多
少大きくした外筒端部5.6tこ(よめ込み固定するも
のである。
このろ過器はろ過面積を大きくとる目El′Jて゛数多
くのろ通管が使用されているので固定板1【ころ通管3
を固定する為のナツ1〜4が狭1.)間隔で装着されて
いる。このため、ろ通管を交換する1に(よ、ろ過器の
使用現場で狭い間隔で装着された多くのナツトをとりは
ずし、新しいろ通管と取替え〕こ1多、それぞれナツ1
〜を締めて固定板に固定づ“るとともに該固定板を外筒
に固定する細かい手数のかかる作業が必要であった。
くのろ通管が使用されているので固定板1【ころ通管3
を固定する為のナツ1〜4が狭1.)間隔で装着されて
いる。このため、ろ通管を交換する1に(よ、ろ過器の
使用現場で狭い間隔で装着された多くのナツトをとりは
ずし、新しいろ通管と取替え〕こ1多、それぞれナツ1
〜を締めて固定板に固定づ“るとともに該固定板を外筒
に固定する細かい手数のかかる作業が必要であった。
また、上記固定板は上記ナツトに対応する多くのネジ部
と一体的に構成する必要があり、複雑な形状となり、そ
の製作もかなり繁雑どなる。
と一体的に構成する必要があり、複雑な形状となり、そ
の製作もかなり繁雑どなる。
さらに、フッ素樹脂製のナツトは締イ」力によって割れ
たり、使用中にゆるむ危険性があった。
たり、使用中にゆるむ危険性があった。
この発明は、上記問題点を一挙に解決したもので、複数
本のろ過器の両端を2つの固定板にそれぞれ貫通固定さ
れ、かつ上記複数本のろ渦管と固定板をハウジング外筒
に収納したろ過器において、ろ渦管が有孔内管、ろ過膜
および有孔外管よりなり、ろ過膜および有孔外管が収縮
チューブによりそれぞれ内管に固定され、かつ上記複数
本のろ渦管が2つの固定板に溶接固定されろ渦管と固定
板とが一体化したカートリッジとなり、該カー1〜リツ
ジの一方の固定板のみがハウジング外筒に挿入可能であ
り、他方の固定板が外筒端部にはめ込み、それぞれをO
リングにより液密状に固定されているフッ素樹脂製チュ
ーブラ−形ろ過器である。
本のろ過器の両端を2つの固定板にそれぞれ貫通固定さ
れ、かつ上記複数本のろ渦管と固定板をハウジング外筒
に収納したろ過器において、ろ渦管が有孔内管、ろ過膜
および有孔外管よりなり、ろ過膜および有孔外管が収縮
チューブによりそれぞれ内管に固定され、かつ上記複数
本のろ渦管が2つの固定板に溶接固定されろ渦管と固定
板とが一体化したカートリッジとなり、該カー1〜リツ
ジの一方の固定板のみがハウジング外筒に挿入可能であ
り、他方の固定板が外筒端部にはめ込み、それぞれをO
リングにより液密状に固定されているフッ素樹脂製チュ
ーブラ−形ろ過器である。
以下図面にもとづきこの発明の実施例を詳細に説明する
。
。
図2.3において11はろ渦管で多数の孔を持つ内管1
2(以下内管という)、ろ過膜13、多数の孔を持つ外
管14(以下外管という)よりなり、筒状ろ過膜13の
両端は内管12に収縮チューブ15で液密状に固定され
、外管14の両端も収縮チューブ16で固定されている
。
2(以下内管という)、ろ過膜13、多数の孔を持つ外
管14(以下外管という)よりなり、筒状ろ過膜13の
両端は内管12に収縮チューブ15で液密状に固定され
、外管14の両端も収縮チューブ16で固定されている
。
17.18は固定板で、複数本の上記ろ渦管11が該固
定板17.18を貫通して溶接固定一体化されカー1〜
リツジ30を構成している。一方の固定板18の直径は
他方の固定板 17の直径より少し大ぎくされている。
定板17.18を貫通して溶接固定一体化されカー1〜
リツジ30を構成している。一方の固定板18の直径は
他方の固定板 17の直径より少し大ぎくされている。
また固定板18には後述のOリング装填用の環状切欠き
19.20が設けられている。 21はハウジングで外
筒22とキャップ23.24よりなり、外筒22とキャ
ップ23.24とは、それぞれネジ止めされている。
19.20が設けられている。 21はハウジングで外
筒22とキャップ23.24よりなり、外筒22とキャ
ップ23.24とは、それぞれネジ止めされている。
外筒22の内径は固定板17を挿入できる程度であり、
外筒22の1端25は上記内径より太きくし、他の固定
板18をはめ込むようになっている。また外筒22には
後述のOリングのための環状溝26.27.28J5よ
び環状切欠き29を設けている。
外筒22の1端25は上記内径より太きくし、他の固定
板18をはめ込むようになっている。また外筒22には
後述のOリングのための環状溝26.27.28J5よ
び環状切欠き29を設けている。
2つの固定板17.18と複数のろ渦管よりなるカート
リッジ30は上記外筒22に固定板17側より挿入し、
外筒の一端25に固定板18をはめ込みその後外筒22
とキャップ23.24とをそれぞれネジ止めされる。
リッジ30は上記外筒22に固定板17側より挿入し、
外筒の一端25に固定板18をはめ込みその後外筒22
とキャップ23.24とをそれぞれネジ止めされる。
外筒22とキャップ23.24とがネジ止めされると上
記カートリッジ30の固定板18は外筒22とキャップ
24との間に固定され、ハウジング内は上記固定板17
.18で中央室31と端室32.33とに分離される。
記カートリッジ30の固定板18は外筒22とキャップ
24との間に固定され、ハウジング内は上記固定板17
.18で中央室31と端室32.33とに分離される。
外筒22の環状溝27.28にはめ込まれたOリング3
4.36により、中央室31と端室32.33間が液密
状にシールされ、環状溝26および環状切欠き29には
め込まれたOリング35.37により両端室32.33
とハウジング外部とが液密状にシールされる。
4.36により、中央室31と端室32.33間が液密
状にシールされ、環状溝26および環状切欠き29には
め込まれたOリング35.37により両端室32.33
とハウジング外部とが液密状にシールされる。
外筒22には中央室31に連通したろ過液取出口38.
39が設けられ、キャップ23、および24には端室3
2または33に連通した注入口40または排出口41が
設(Jられでいる。
39が設けられ、キャップ23、および24には端室3
2または33に連通した注入口40または排出口41が
設(Jられでいる。
ろ渦管11と固定板17.18との固定は、ろ渦管11
のために開【)られた固定板の貫通口の端のみその内径
を大きくした溶接口42を設けて溶接固定される。
のために開【)られた固定板の貫通口の端のみその内径
を大きくした溶接口42を設けて溶接固定される。
この発明のろ過器に用いられるフッ素樹脂は次のとうり
である。
である。
ろ渦管11の内管12、外管14、固定板17.18、
ハウジングの外筒22、およびキャップ23.24は四
フッ化エチレン樹脂(PTFE)または、四フフ化エチ
レンーパーフルオルアルキルビニルエーテル共重合樹脂
(PFA)が使用される。
ハウジングの外筒22、およびキャップ23.24は四
フッ化エチレン樹脂(PTFE)または、四フフ化エチ
レンーパーフルオルアルキルビニルエーテル共重合樹脂
(PFA)が使用される。
ろ渦管11と固定板17.18との固定には上記PFA
、四フッ化エチレンー六フッ化プロピレン−パーフルオ
ルアルキルビニルエーテル共重合樹脂(EPE)又は四
フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂(FE
P)を用いて溶接固定される。 ろ過膜はフッ素樹脂系
膜例えば住友電工■製フロOボアが用いられる。
、四フッ化エチレンー六フッ化プロピレン−パーフルオ
ルアルキルビニルエーテル共重合樹脂(EPE)又は四
フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂(FE
P)を用いて溶接固定される。 ろ過膜はフッ素樹脂系
膜例えば住友電工■製フロOボアが用いられる。
収縮チューブとしてはフッ素樹脂製であればよいが好ま
しくは、ろ過膜13を内管12に固定するためには溶融
点の低いFEPを、外管14を内管12に固定するため
にはPTFEが用いられる。
しくは、ろ過膜13を内管12に固定するためには溶融
点の低いFEPを、外管14を内管12に固定するため
にはPTFEが用いられる。
Oリングとしてはフッ素系ゴム単独あるいはフッ素系樹
脂でカバーリングして用いられる。
脂でカバーリングして用いられる。
この発明のろ過器は通常のチューブラ−形、ろ過器と同
様にして固体微粒子を含んだ無機薬品または有機薬品を
前述のキャップ23の注入口40より導入し、端室、ろ
通管11、端室33を排出口41より排出し、清浄薬液
はろ渦管内部と中央室31との液圧の差により内管12
、ろ過膜13、外管14を通って中央室にろ過され、外
筒22のろ過液取出口38又は39より排出される。な
お、排出口41より原液を導入し、注入口40より排出
するようにしてもよい。
様にして固体微粒子を含んだ無機薬品または有機薬品を
前述のキャップ23の注入口40より導入し、端室、ろ
通管11、端室33を排出口41より排出し、清浄薬液
はろ渦管内部と中央室31との液圧の差により内管12
、ろ過膜13、外管14を通って中央室にろ過され、外
筒22のろ過液取出口38又は39より排出される。な
お、排出口41より原液を導入し、注入口40より排出
するようにしてもよい。
この発明はすべてフッ素樹脂からなり、Oリングもフッ
素系ゴム単独あるいはフッ素系樹脂でカバーリングして
いるので、塩酸、硫酸、フッ酸等の強腐食性薬品ばかり
でなく、メチレ〕ノクロライト、トリクロルエチレン、
アセ1〜ン等の有機薬品のろ過にも充分耐えることがで
きる。
素系ゴム単独あるいはフッ素系樹脂でカバーリングして
いるので、塩酸、硫酸、フッ酸等の強腐食性薬品ばかり
でなく、メチレ〕ノクロライト、トリクロルエチレン、
アセ1〜ン等の有機薬品のろ過にも充分耐えることがで
きる。
またろ通管を固定板にフッ素樹脂を用いて溶接固定し、
カートリッジ化されているため、膜交換作業は単時間か
つ容易に行うことができ、さらに該固定板の製作もネジ
部不要のため簡略化される。
カートリッジ化されているため、膜交換作業は単時間か
つ容易に行うことができ、さらに該固定板の製作もネジ
部不要のため簡略化される。
ざらにま/j、固定仮締f」リナットを使用していない
ので、ナツトに関する割れ、ゆるみ等の危険性は皆無で
ある。
ので、ナツトに関する割れ、ゆるみ等の危険性は皆無で
ある。
第1図は従来例の断面図、第2図は本実施例の断面図、
第3図(環部分拡大図である。 11・・・ろ通管 17.18・・・固定板22・・・
外筒 23.2141・・・キ1?ツブ31・・・中央
室 32.33・・・端室38.39・・・ろ過液取出
口 40・・・注入口41・・・排出口 特許■願人 自敷紡績株式会社 代 理 人 安 延 賭 彦
第3図(環部分拡大図である。 11・・・ろ通管 17.18・・・固定板22・・・
外筒 23.2141・・・キ1?ツブ31・・・中央
室 32.33・・・端室38.39・・・ろ過液取出
口 40・・・注入口41・・・排出口 特許■願人 自敷紡績株式会社 代 理 人 安 延 賭 彦
Claims (1)
- 1) I数本のろ過器の両端を2つの固定板にそれぞれ
貫通固定され、かつ上記複数本のろ通管と固定板をハウ
ジング外筒に収納したろ過器において、ろ通管が有孔内
管、ろ過膜および有孔外管よりなり、ろ過膜およびイ1
孔外管が収縮チューブによりそれぞれ内管に固定され、
かつ上記複数本のろ通管が2つの固定板に溶接固定され
ろ通管と固定板とが一体化したカートリッジとなり、該
カートリッジの一方の固定板のみがハウジング外筒に挿
入可能であり、他方の固定板が外筒端部にはめ込み、そ
れぞれを0リングにより液密状に固定されていることを
特徴とするフッ素樹脂製チューブラ−形ろ過器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58212259A JPS60102904A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ろ過器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58212259A JPS60102904A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ろ過器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60102904A true JPS60102904A (ja) | 1985-06-07 |
| JPH0464728B2 JPH0464728B2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=16619608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58212259A Granted JPS60102904A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | ろ過器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60102904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63156511A (ja) * | 1986-09-06 | 1988-06-29 | Shinsozai Sogo Kenkyusho:Kk | 濾過素子及びその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55111815A (en) * | 1979-02-21 | 1980-08-28 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Manufacture of separating device |
| JPS5756021A (en) * | 1980-09-24 | 1982-04-03 | Nippon Sanso Kk | Gas separator by permeable membrane |
| JPS57136404U (ja) * | 1981-02-17 | 1982-08-25 | ||
| JPS58119804U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-15 | 日東電工株式会社 | 管状膜分離モジユ−ル |
-
1983
- 1983-11-10 JP JP58212259A patent/JPS60102904A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55111815A (en) * | 1979-02-21 | 1980-08-28 | Nitto Electric Ind Co Ltd | Manufacture of separating device |
| JPS5756021A (en) * | 1980-09-24 | 1982-04-03 | Nippon Sanso Kk | Gas separator by permeable membrane |
| JPS57136404U (ja) * | 1981-02-17 | 1982-08-25 | ||
| JPS58119804U (ja) * | 1982-02-04 | 1983-08-15 | 日東電工株式会社 | 管状膜分離モジユ−ル |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63156511A (ja) * | 1986-09-06 | 1988-06-29 | Shinsozai Sogo Kenkyusho:Kk | 濾過素子及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0464728B2 (ja) | 1992-10-15 |
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