JPS60103533A - 情報記録媒体 - Google Patents

情報記録媒体

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JPS60103533A
JPS60103533A JP58210379A JP21037983A JPS60103533A JP S60103533 A JPS60103533 A JP S60103533A JP 58210379 A JP58210379 A JP 58210379A JP 21037983 A JP21037983 A JP 21037983A JP S60103533 A JPS60103533 A JP S60103533A
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JP
Japan
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layer
metal
recording
thickness
recording layer
Prior art date
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English (en)
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Masabumi Nakao
中尾 正文
Koichi Mori
晃一 森
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Asahi Kasei Corp
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Asahi Kasei Kogyo KK
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Publication date
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  • Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はヒートモード記録用として適した情報記録媒体
、さらに詳しくいえば、透明な基板側からレーザー光を
照射した場合でも安定性の優れた記録が可能な情報記録
媒体に関するものである。
従来、レーザー光線などの高密度エネルギーをスポット
に集光させて記録媒体に照射し、媒体の一部を融解させ
るか、あるいは蒸発させることによシ、これを変形又は
除去して記録を行う方法は、いわゆるヒートモード記録
法として知られている。
そして、とのヒートモード記録法は、薬品などの処理液
を必要としないドライタイプであること、−リアルタイ
ム記録法であること、高速かつ冒コントラストで大容量
記録が可能なこと及び情報の追加書き込みが可能なこと
など多くの利点を有しているので、例えば文書ファイル
、静止画ファイル、動画ファイル、あるいはコンピュー
ターメモリやデーターベースメモリなど広い用途を有し
ている。
ところで、前記のヒートモード記録法を具体的−に用い
る場合には、円形のガラスや合成樹脂などの基板に記録
材を形成したディスクを高速回転させなからレー、ザー
光を集光し、記録材に短径約1μm程度のだ円孔を形成
することにより情報を記録する方法が採られている。こ
の際の孔の位置及び大きさは、パルス変調したレーザー
光の出力波形に依存し、レーザーに入力した情報に対応
して形成される。記録材に記録された信号の読み出しは
、高速回転させた記録材に記録しきい値を超えない程度
の弱い出力のレーザーを集光し、その反射光の変化を検
出することにより行うことができる。
前記の方法でヒートモード記録を行う相料として、多く
の材料が提案されてきたが、レーザー光に対する感度、
再生信号のS/N比、及び安定性の点で満足できるもの
はなかった。
本発明者らは、このような従来のヒートモード記録材料
のもつ欠点を克服するために種々の研究を重ねて、先に
基板上にアンチモン含有ビスマス金属記録層を設け、こ
の記録層上層に金属化合物安定化層を、そして該金属記
録層と前記基板との間にクロム層を設けることによシ、
記録材料を形成したディスクを回転数450 rpmで
回転させ、発1μm1長径1.6μmはどの孔を形成し
て信号を記録した場合の再生信号品質としてC/N比5
2dEを達成した。
しかしながら、よ)高密度に記録を行うために、例えば
ディスク回転数900 rpm、半導体レーザーの記録
変調周波数3.1MH2,パルス幅160 n sec
で記録を行ったところ、(1)ディスク最内周部におい
て、記録に要する最小パワーで書き込みを行っても大き
めの孔が開孔されて、実用再生信号に値する160 n
 secのパルス幅が得られない、(2)書き込み後の
ノイズ上昇を生じ、CZN比の低下を生じる、などの問
題が生じた。
本発明者らは、前記(1)及び(2)の問題を解決すべ
く鋭意研究を重ねた結果、記録ピットの短径が約1μm
で、長径が約1.5μm程度以下になるように記録する
場合は、金属記録層が膜厚にして100〜220″Aの
範囲の薄い領域で良好なピットを形成しうろこと、及び
ビスマスを主体とする該金属記録層がアンチモンを換算
厚にして30〜70Aの範囲で含むことが記録特性上好
ましいことを見出し、この知見に基づいて本発明をなす
に至った。
すなわち、本発明は、エネルギービームの照射によりピ
ットを形成させて情報を記録する情報記録媒体の構造が
、基板上にビスマスを主体とする金属記録層及び金属化
合物安定化層を積層したG’/7造を有し、かつ前記基
板と前記金属記録層との間にクロム層を介在させた構造
である情報記録媒体において、該金属記録層が膜厚にし
て100〜220Xの範囲であシ、かつ換算厚で30〜
70′Aの範囲(密度6.69y/adとして換算)の
アンチモンを含有することを特徴とする情報記録媒体を
提供するものである。
従来、ビスマスを記録用金属として用いることは知られ
ているが、本発明においては、アンチモ/を30〜70
久の範囲の換算厚で含み、かつ膜厚にして100〜22
0大の範囲(バルク密度を仮定して)のビスマスを主体
とする金属記録層を用い、最上層に金属化合物安定化層
を設け、かつ該金属記録層と基板との間にクロム層を介
在させることが特徴である。
本発明でいうアンチモンの換算厚とは、アンチモンを含
む金属記録層中の単位面積当りのアンチモ/重量をアン
チモンの密度で除した値である。
本発明において、ビスマスを主体とする金属記録層を膜
厚にして100〜220″Aの範囲に設け、かつ換算厚
で30〜70久の範囲のアンチモンを存在させた場合に
、開孔径を小さくでき、C/N比の向上を達成しうる理
由は必ずしも明らかでないが、ヒートモードの開孔過程
に関与する要因すなわち(1)金属溶融時の粘度、(2
)金属溶融分散時に生じる表面張力及び濡れ特性、(3
)金属の溶融変形に影響する金属に接する層の物理的剛
性、(4)金属の固化時に作用する周囲への熱の逸散、
(5)金属の結晶サイズと粒界の酸化状態、(6)孔形
成後局辺部に生じる結晶サイズなどにおいて、前記(2
)の要因が該金属記録層を、従来のものよシ薄い100
〜220Aの膜厚範囲に形成することによって低下し、
長径1.5μm以下の記録孔まで安定に形成することが
可能になるため、及びアンチモンを30〜70Aの換算
厚範囲に含有させることにより、前記(1)、(2)、
(5)及び(6)の要因の相乗作用をもたらし、エツジ
の乱れの少ない良好な記録孔が形成されるものと考えら
れる。
前記金属記録層の膜厚が100Aよシも薄い場合は、レ
ーザー光の透過光lが増すだめに、開孔のための有効々
エネルギー吸収ができず感度が低下し、またC/N比も
低下する。一方膜厚が220人よpも厚くなると、孔の
最小径が大きくな9、最内周部において実用パルス−幅
160 n secの再生信号が得られず、さらにc 
/ N比の低下も生じる。
本発明における金属記録層のよシ好ましい膜厚範囲は1
30〜180Aである。
さらに、該金属記録層中のアンチモンの換算厚が30A
よシ薄い場合は、記録孔形状の乱れによるC/N比の低
下を生じ、また70′Aよシ厚い場合は、孔形状の乱れ
によるC/N比の低下とともに、記録感度の低下を生じ
る。本発明における金属記録層中に含有するアンチモン
の換算厚のより好ましい範囲は40〜50久である。
なお、前記の膜厚範囲は、すべて密度を原子が密に詰っ
た状態のバルク値とした場合の値の範囲であシ、低真空
下における蒸着のようにガスの巻き込みなどによって、
密度が低下する場合は、金属記録層のバルク密度、実際
の薄膜の密度及び膜厚をそれぞれDBXDA及びT1ま
たアンチモノのバルク、密度、実際の薄膜の密度及び膜
厚をそれぞチモ/の換算厚範囲は30 ’p、 x a
B/aA≦tくハ0AXdB/dAで表わされる範囲と
なる。
本発明においては、前記金属記録層には、ビスマス及び
アンチモンの他に、必要に応じ安定性改良及び記録特性
向上を目的として、他の第三元素を添加してもよい。こ
のような第三元素としては、5eXTeXAsX[)e
、 5nXPb、 InXTlXCd及びZnの中から
選ばれた少なくとも1種の金属又は半金属が好適である
。また、ビスマス、アンチモン及び前記第三元素の割合
は、それぞれの原子数比をX、y及び2とし、第三元素
をAとした場合、該記録層の1jl成が (Bi)X(Sb)y(A)z の形で表わされ、式 %式% を71:4足するような範囲が好適である。原子数比が
これらの範囲を逸脱すると、安定性及び記録特性−に好
−走しい結果が得られない。より好ましい原子数比の範
囲は、 0.50 (x < 0.70.0.30 (y< 0
.40、O<Z<0.20である。
また、該金属記録層には、本発明の目的を損わない限り
、用いた金属の酸化物、特に低級酸化物を少量含ませる
ことができる。
この金属記録層は、他の層と同様に真空蒸着、スパッタ
リング、イオンブレーティング、電気メっき、無電解め
っき、プラズマ蒸着などの薄膜形成技術によって形成し
うる。
これらの金属記録層の形成方法のうち、真空蒸着法が簡
単でかつ再現性がよいので好ましいが、金属記録層の高
温高湿下での安定性及び感度の点から、高真空下、特に
10”−5Torr以下での蒸着がよシ好ましい。
該金属記録層は、前記方法によって形成されるが、その
全体の膜厚が100〜220Aの範囲であシ、かつ含有
されるアンチモンの換算厚が30〜70Aの範囲内であ
シさえすれば、一様な単一層であってもよいし、複数層
であってもよい。また、2種以上の合金から成る単一層
であっても、数種類の単一金属層が積層され合金化した
ものであってもよいし、合金層と単一金属層が積層され
合金化したもので、あってもよく、特に再現性の点から
は、数種類の単一金属層を積層した構造のものが有利で
ある。
マタ、前記ビスマスの含有原子数比、アンチモンの含有
原子数比及び第三元素の含有原子数比が、それぞれ該金
属記録層全体に対して前記の好ましい範囲内にあれば、
構造については特に制限されない。
本発明においては、金属記録層と基板との間にクロム層
を介在させるが、該クロム層は記録特性、特にc / 
N比の向上に対して効果があり、その好ましい膜厚は1
0〜220 A % より好ましくは20〜60Aの範
囲である。この膜厚がtoX未満ではクロム特有のc 
/ N比を向上させる。記録後に生じるノイズの低減効
果が得られず、また200 Nを超えるとクロムが連続
層を形成して、レーザー記録光を遮断し感度の低下を引
き起す。
前記クロム層は安定性の点において、クロムの酸化物や
低級酸化物を少量含むことができる。このクロム層は、
真空蒸着、−スパッタリング、イオンブレーティング、
電気めっき、無電解めっき、プラズマ蒸着などの薄膜形
成技術によって形成することができ、そのうちでも真空
蒸着法が簡単でかつ再現性がよいので好ましい。
また、本発明においては、金属記録層と基板との間に、
高感度化及び長期保存性の向上の目的で、金属化合物層
を前記クロム層と組み合わせて複合層として介在させる
ことが好ましい。この場合、該金属化合物層は金属記録
層とクロム層との間若しくはクロム層と基板との間、い
ずれでも介在させてよいが、特にクロム層と積層構造と
し、かつ該クロム層を基板に接するように設けることが
有利である。
前記金属化合物層としては、例えばBe、 Li。
Br Mg+ A11Sit Ca+ Set ’ri
l L Cr、 Mn+Fe、 C!o、 Ni+ C
u、 Zn、 Ga、 Ge、 As、 Sr、 Zr
Nb、 Tc、 Ru、 Rh、 Ag、■n、Sn+
 Sb+ Ba1If。
Ta、I(e、工r、TI、Pb’、Bit Y+ L
a、Ce、Pr+罰+ Pm、 Sm、 C)d、 E
ut Tb+ Dy+ Hot Err Tm。
Yb、及びLuなどの酸化物、窒化物及びフッ化物など
が好1しく用いられる。本発明においては。
特に高感度化を達成するためには、記録媒体におけるレ
ーザー光入射側の反射率を下げることが有効であって、
透明基板側よシレーブー光を入射させる場合は、介在さ
せる層の構造をクロムと希土類酸化物との積層構造とす
ることにょシ、ビスマスを主体とした金属記録層の透明
基板側の反射率を効果的に低下させ、大幅に記録感度を
向上させることができる。この希土類酸化物としては、
Y。
La+ Ca+ Pr+ Nd+’ Pm、 Sm、 
Ca+ Eu、 ’rb、 Dy+Ho+ Er、 T
m、 yb及び猟などの酸化物が挙げられ、丑だ、これ
らの酸化物は高C/N比化の点でも有利である。
前記金属化合物はそれぞれ単独で用いてもよいし、2種
以上組み合わせて用いてもJ:<、また複数種を多層構
造、あるいは混合構造としてもよいが、出現性及び蒸着
工程の簡便さの点から、それぞれ単独で用いることが有
利である。
前記金属化合物の好ましい膜厚は使用する該化合物の種
類によって異なるが、厚すぎるとクランクを生じやすく
なったシ、特に希土類酸化物を用いる場合は極度の反射
率の低下を招いたシするので、lO〜20oAの範囲、
特に20〜80′Aの範囲内にあることが望ましい。
また、希土類酸化物はクロムとの相乗効果によって、媒
体の反射率の低減効果があり、該クロムと希土類酸化物
の膜厚を調節することにょシ、反射率を10〜60%の
範囲で任意に選定することが可能である。
また、積層構造における金属化合物の層を形成する方法
としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレ
ーティング法、プラズマ蒸着法などの薄膜形成技術を適
用することができる。特に真空蒸着法を用いる場合はお
いては、金属化合物をそのまま蒸着源として、抵抗加熱
法やエレクトロンビーム蒸着法を用いて蒸着させてもよ
いし、金属化合物そのものを蒸着源として用いて、ペル
/ヤー内の閃′囲気と反応させながら前記方/去により
金属化合物層を形成することもできる。この薄膜の形成
において、金属化合物が酸化物の場合例えば高真空下で
の電子ビーム蒸着法では、還ノヒや不冗全酸化が生じ、
金属酸化物に、低級酸化物が含まれる場合があるが、そ
れらの混入(ri本発明の目的を妨げない範囲において
差し支えない。
本発明の記録媒体において、金属記録層の上層に設ける
金属化合物安定化層としては、例えばBet L]、*
 B、 Mg、Al+ Sit Ca、 Set Ti
n LCr+ Mn+ Far’ Co+ Ni+ C
tt+ Zn+ Get Get AgISr、 Zr
+ Nb、 Tar Rut Rh+ AgI 工n、
 Sn、 Sb。
Ba、1if+ Ta、Rez 工r+ Tl、Pb、
Bit Y+ La。
Co、 Pr、 Nd、 Pm、 Sm、 Gd、 E
u、 Tb、 Dy、 Ho。
Er、Tm+ yb及びLuなどの酸化物、窒化物、フ
ッ化物などが挙げられ、これらの中で特にSi。
A1+ Get Zr、 Tar Bit Lit M
g、 ’ri、 La+ Ce+Y、 Dy、 Er、
 Gd+ Hf、 Sm、 Or+ Nctl Pr+
 Pm。
ICu+ Tb+ Ho、 Tm+ Tb+ Luなど
の金属の酸化物が好適である。
前記金属化合物安定化層は、これらの金属化合物の2種
類以上を用いて、異種金属化合物の2層構造にすること
が情報記録と−して形成される孔の形状を整え、その安
定性を図る上で好ましい。
この金属化合物安定化層を形成する方法としては、真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、
プラズマ蒸着法などの薄膜形成技術を適用することがで
きる。また、異なる単一金属から成るターゲットの複数
個や、2種以上の金属を含むターゲットを用い、空気、
酸素、酸素−アルゴンなどの気体による反応性スパッタ
リングによっても形成することができる。
これらの薄膜の形成方法において、特に金属化合物が酸
化物の場合、例えば高真空下での電子ビーム蒸着などに
おいて、1tOx(ただしMは金属元素、Xは1又は2
である)のような低級酸化物が金属化合物安定化層に含
まれる場合があるが、本発明の目的を妨げない範囲にお
いて差し支えない。
このような低級酸化物の生成を防止するためには、例え
ば酸素、空気、酸素−アルゴンなどの気体をリークして
低真空下で蒸着する方法などが好ましく用いられる。
該金属化合物安定化層の膜厚は、用いる化合物の種類に
もよるが、厚すぎるとクランクを生じたりすルノテ、1
0〜10000 A、特に20〜30oAの範囲が好ま
しい。
本発明の記録媒体において、記録材料を支持する役割を
果す基板としては、レーザー光を基板側より入射させる
意味では透明であることが必要である0 一般Vこ、物質の透明性は入射光線の波長によって相違
することが知られているが、本発明の記録媒体に情報全
記録する場合には、半導体レーザーやアルゴンガスレー
ザー、He−NGレーザー、その他の可視領域あるいは
近赤外領域に発振波長をもつ各種のレーザーやキセノン
フラッシュランプなど光波特性を異にする多棟類の光源
を用いることかできる。(7かし、特定の光源の使用を
所望する場合i/Cは、その光源がもつ)°a波4も性
に適した透明−1/l:4−イi’−4−:A、↓、t
7iノF+7’+d、θ)スーツ;l:JFrJ−−)
Z、7L−A:Ph感度の向上をはかるうえで好ましい
。そして、透明性については、入射光の約90%以上の
透過率を示すことを一応の目安とすることができる。
前記の光源のいずれに対しても、十分な透過率をもつ基
板としては、ガラスなどの無機材料又はポリエステル、
ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、
ポリアミド、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート
などのポリマー、あるいはこれらの変性ポリマー、コポ
リマー、ブレンド物などの有機材料から成るフィルム又
はシートを挙げることができる。ビデオディスクなどの
ように基板自体の表面平滑性が信号のS/N比に大きな
影響を与える場合には、別の基板上に前記の材料をスピ
ンコードなどで均一に塗布した基板を用いることが好ま
しい。
特に好ましく用いられる基板としては、ポリエステル又
はポリメチルメタクリレートから成るフィルム及びシー
トを挙げることができる。
1だ、ランダムアクセス読み取シ及びランダムアクセス
書き込みを行う場合、一般に基板にあらかじめレーサー
光をガイドする案内溝及びアドレスを基板表面にしIJ
 −フ状に設ける方法がとられる。これらは通常射出成
形法や2・P法(phOtO−po:tymer法)な
どにより形成されるが、量産性の点においては射出成形
法が好ましく用いられる。
この射出成形に適した基板材料としては、ポリメチルメ
タクリレートやポリカーボネート及びポリメチルメタク
リレートとスチレンとの共重合物などがある。
本発明の記録媒体は、その最上層部に、安定性の向上、
物体との接触による損傷防止、汚染防止などのために保
護層を形成させることもできる。
この保護層は、有機高分子化合物全主体とした層で形成
され、用いられる有機高分子化合物としては、例えばポ
リ塩化ビニリデン、塩化ビニリデンとアクリロニトリル
との共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリイミド、ポリビニ
ルシンナメート、ポリインプレン、ポリブタジェン、ポ
リスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリウレタン
、ポリビニルブチラール、フッ素ゴム、フッ素系ポリマ
ー、ハリレン、ポリアミド、ポリエステル、エポキシ樹
脂、酢酸セルロースなどのポリマー、これらの変成ポリ
マー、コ梁すマーなどを挙げることができ、これらは単
独で又は混合物として用いられる。
特ニ、ポリエステル、フッ素ゴノ4、ポリ酢酸ビニル−
ポリビニルブチラール−ポリビニルアルコールの三元コ
ポリマーが好ましく用いられる。
このような有機高分子化合物にシリコーンオイル、帯電
防止剤、架橋剤などを添加することは、膜強度、帯電防
止性能の改良の点で好ましい。
また、保護層として、このような有機高分子化合物を主
体とする層f:2層以層重上て用いてもよい0 該保護層は、例えは有機化合物を主体とする成分を適当
な溶媒に溶解して塗布する方法、真空蒸着法、スパッタ
リング法、プラズマ真空重合法、あるいは薄いフィルム
としてラミネートする方法などにより形成される。その
膜厚は0.01〜10μmの範囲が適当である。
次に本発明の・ti’iル記録媒体を添伺図面により。
さらに基体的に説明する。第1図〜第3図は、いずれも
本発明の記録媒体のそれぞれ異なった構造例を示す断面
図である・ 本発明の情報記録媒体の基本構造は、第1図に示すよう
VC,基板1の上にクロム層3を設け、その上に順次ビ
スマスを主体とする金属記録層2及び金属化合物安定化
層4を設けた構造である。
クロム層の構造としては、第1図に示すように、クロム
単独層3のみから成るものの外、第2図及び第3図に示
すように、クロム単独層:うと他の金属あるいは金属化
合物の層5との積層構造をとるものがある。
以上の第1図〜第3図“!トでの構造の中で、本発明の
目的を達成する上で最も好ましいもの(・ま第3図に示
す構造のものであり、特にクロム層と積層する金属化合
物として布上−fA酸化物を用いた場合である。
第4図は本発明の記録媒1本に、レーザー光など内ニス
、ルキービームのl[(44;jにより〕杉1jνにた
記録層の断面図である。最上層に設けた金属fじ合物安
定1ヒ層4は残存することが好1しく、さらに図のよう
に一様に膨出状に残存することが好ましい。
本発明の情報記録媒体においては、ディスク回転数90
0 rpm、記録周波数3.1MHz(パルス幅160
 n sec )で記録を行った場合、ディスク最内周
部において、記録ビットの太きさとして短径約1μm、
長径約1μm以下の記録が容易で、チューティ比50%
に対応する160 n seeのパルス幅を得ることが
できる。また、書き込み後のノイズ上昇も少なく、ディ
スク最内周部においても、C7N比にして54dB以上
の記録が可能である。
次に実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、
本発明はこれらの例に何ら限定されるものではない。
実施例1 キャスト法によシ作成した表向平滑性のよい厚さ1.2
mi、直径30cmのポリメチルメククリレ−1・板を
基板として用い、真空蒸着機槽内にセットする。
ディスクは、装置内において回転できるようになってお
り、装置内には回転中心軸を中心にして複数の加熱蒸着
ボートと複数めるつぼをもつ電子ビーム装置を複数備え
ている。
膜厚のモニターは水晶振動子法で行い、順次自動的にプ
ログラムされた順序でコントロールを行う。基板の意図
的加熱は行わず、また蒸着による基板温度の上昇はほと
んどなかった。
蒸着槽内を10−5Torr 以下に真空引きしたのち
、基板上にまずOr層、次に金属化合物層としてSm2
01.層を設け、さらに金属記録層としてsb及びB1
 を、最上層に金属化合物安定化層としてSm2O3層
を順次積層したサンプルを作成した。
Or 、 Sm2O3は電子ビーム蒸着法により、また
sb 及びB1は抵抗加熱法により蒸着を行った。
アンチモア(7)換算厚を40X(密度6.6997c
m5として換算)と固定して、ビスマスの膜厚を80X
〜t’s oX (密度9.80 y/ctn3− ト
I、−c換N ) (7)範囲で変化させ、金属記録層
の全体膜厚ff:120^〜220Aの範囲で変化させ
たサンプルA 、 B。
0、Dを作成した。比較サンプルとして、ビスマスの膜
厚を50に、及び22oXとして金属記録層の全体膜厚
を90X、260AとしたサンプルA′及びB′を作成
した。
それぞれのサンプルの最下層クロムの膜厚は301、最
上層Sm2O3の膜厚は120Xと固定した。
下層Sm205の膜厚は、金属膜厚が変わると反射率が
変化するので、レーザー光入射側の反射率をほぼ一定の
35%〜4of2の範囲内に調節するために、金属層膜
厚に応じて、30〜80Aの範囲で形成した。
以上のサンプルの記録特性の評価は、以下の手順で行っ
た。
まず、発振波長830nmの半導体レーザー光を厚さ1
.2關の透明基板越しに、記録膜上にN、A、 = 0
.6のレンズでビーム杼約1 /1m程度まで集光、オ
ートフォーカスをかけて照射する。
その時のディスクの回転数は90 Orpm で、1、
レーザー光は周波数3.1MHz (パルス幅 160
nSec )でon−off変調し、記録面上にディス
ク半径方向に記録hθadを移動させながら記録ピット
を形成する。レーザー光がonの時の発光出力は記録膜
上で0〜11mWまで可変である。
以」二の操作でスパイラル状の記録ピット列が形成され
るが、そのピット列に1mW程度の新たに孔を形成しな
い程度の出力で連続発光している再生用半導体レーザー
光を、オートフォーカス及びオートトラッキング サンプル面上からの反射光を光検出器により検出し再生
信号を得る。
その再生信号をスペクトルアナライザーに人力し、ノイ
ズレベルとキャリアピークレベルを読み取りClN比を
得た。また、同時に記録レーザー光f:変調しているパ
ルスrl]( 1 6 0 nsec)と同じパルス1
]が再生信号について得られる時のレーザー記録pow
erを実用記録値pvとして測定した。OlN 比につ
いて実用記録値で記録した際の再生信号についてのOl
N 比を(OlN lvとして、記録パワーを変え最高
のcZN 比が得られた時のOlN 比を(C!/N)
MAXとして評価した。
サンプルA〜D,及び比較サンプルA’,B’の結果を
第1表に示す。
また、金属記録層の膜厚が厚くなるに従い、最小記録パ
ワーで開孔する際の孔径が太きくなる傾向があり、最も
厚い比較サンプルDにおいては、記録しきい値で開孔し
た孔の大きさはすでに再生パルス巾160nsecに近
いパルス巾が得られるほどの孔径で1.160nsec
以下の再生パルス巾は得られないが、一方金属記録層の
膜厚が薄くなるほど小さな孔が得られやすくなる傾向が
あり、実施サンプルAについては、150nsecのパ
ルス巾の再生信号も安定して得られた。
以上のことから、実用記録powerで記録した際のC
/N 比=(0/N)■、及び小さな開孔を得るという
特性面からは実施サンプルA、B、O。
D、が優れていることが明らかである。
実施例2 実施例1と同基板、同蒸着装置を用いて、sb有量の効
果を見るだめのサンプルを作成した。
記録材料の構成も実施例1と同様であり、基板上にまず
Or層、次に金属化合物層とじて511205層を設け
、さらに金属記録層としてsb及びBi 11う2.最
上層に金属化合物層として5rrQOs1+/iを順次
積層した構造である。
記録材の膜厚組成は、実施例1の実施サンプルBを基本
組成とし、sb含有膜厚f:80’z。
5oX、6oX、、7oX、と変化させたサンプルE 
、 F 、 G 、H+ k作成した。さらに比較例と
してsb含有膜厚を2oo、soXとした比較−リーン
プルcJ、 D′を作成した。
以上のサンプルの評価は、実施例1と同様な方法で行い
、第2表に示すような結果を得だ。
以」二の結果より、C/N 特性の面から見て、サンプ
ルE、B、F、G、H,について好ましい結果が得られ
、特にサンプルB、Fが好ましい結果であった。
実施例3 実施例1と同基板、同蒸着装置を用いて、sb含有量の
効果を見るだめのサンプルを作成した。
記録材の構成も実施例1と同様であり、膜厚組成は実施
サンプルCを基本組成とし、sb含有膜厚f:80A、
50A、60A、70Xと変化させたザングルエ、J 
、に、Lを作成した。さらに比較サンプルE/ 、 F
L としてsb換算厚を201、及び80Xとしたもの
を作成した。
サンプルの評価は実施例1と同様な方法で行い、第3表
に示すような結果を得た。
以上より、C/N 特性の面から見て、サンプルI、J
、に、L、について好捷しい結果が得られ、特にサンプ
ル0.Jが良い結果であった。
実施例2及び3よりsb含有量の最適範囲1′riao
Z 〜roXで1>す、%に40X 〜5oAの範囲が
好ましいことが明らかとなった。
実施例4 実施例1と同基板、同蒸着装置を用い、金属化合物とし
てLa2O3を用いたサンプルを作成した0 蒸着槽内を1O−5Torr以下に真空引きしたのち、
基鈑上にまずOr層、次に金属化合物層としてLa2O
5層を設け、さらに金属記録層としてsb及びBi層、
最上層に金属化合物安屋化層としてLa2O3層を順次
積層したサンプルに、Lを作成した。Or r La2
0s +は電子ビーム蒸着法により蒸着を行い、sb及
びBiは抵抗加熱法により蒸着を行った。
サンプルの評価は、実施例1と同様な方法で行った。そ
の結果を第4表に示す。
この表より分るように、金属化合物としてLa2O5を
用いても金属記録層の組成を前記の値に設定することに
より、余裕をもって160 n5ecのパルス[IJの
μ1生信号が得られ、C/N モ高<て良い結果を1(
Iることかできた。
実施例5 実施例1と同基板、同蒸着装置を用い、金属化合物とし
てY2O6を用いたザンプルを作成し。
た。
蒸/+’l槽内金10’Torr以下に真空引きしたの
ち、基4反上にまずCr層、次に金属化合物層としてY
2O5層を設け、さらに金属記録層としてsb及びBi
層、最上層に金属化合物安定化層としてY2O5層を順
次積層したザンプルM、Nを作成した。Or、 Y2O
3は電子ビーム蒸着法により蒸着を行い、sb及びBi
は抵抗加熱法により蒸着を行った。
ザンプル評価は、実施例1と同様な方法で行つ/ζ。そ
の結果を第5表に示す。
この表から分るように、金Aく化合物K Y203を用
いても金属記録層の組成を前記の値に設定することによ
り、余裕をもって160nsecのパルスrl」の再生
信号が得られ、C/N も高く良い結果を14すること
ができた。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、及び第3図は本発明記録媒体のそれぞ
れ異った構造例を示す断面図である。 図中1は基板、2は金属記録層、3はクロム層、4は上
層に形成する金属化合物安定化層、5は■層に形成する
金属化合物層を示す。 第4図は、レーザーにより記録したのちに形成a;lす
る孔の断面図である。 肪許出願人 旭化成工業株式会社 代理人 阿 形 明 第1図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 エネルギービームの照射によシビットを形成させて
    情報を記録するだめの、基板上にビスマスを主体とする
    金属記録層及び金属化合物安定化層を積層し、かつ前記
    基板と前記金属記録層との間にクロム層を介在させた構
    造を南する情報記録媒体において、該金属記録層が膜厚
    にして100〜220 Aの範囲であシ、かつj奥算厚
    30〜70Aの範囲(密度6.695’ /’c+ti
    として換算)のアンチモンを含有することを特徴とする
    情報記録媒体。 2 情報記録媒体の構造が、金属記録層とクロム層との
    間若しくはクロム層と基板との間に金属化合物層を介在
    させた構造である特許請求の範囲第1項記載の情報記録
    媒体。 3 金属記録層を構成する金属が(Bi )x(Sb)
    y(A)zの形で表わされ、かつAはS e XT e
    、As、 Ge、 Sn、 Pb、工n、 TlXCd
    及びZnの中から選ばれた少なくとも1種の金属又は半
    金属であって、x、y及び2はそれぞれ原子数比にして
    、式 %式% を満足する値である特許請求の範囲第1項又は第2項記
    載の情報記録媒体。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6242157B1 (en) * 1996-08-09 2001-06-05 Tdk Corporation Optical recording medium and method for making

Cited By (1)

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