JPS60105917A - 共振変換システム、共振力変換システム及び力又は他のパラメ−タ−と温度の決定方法 - Google Patents

共振変換システム、共振力変換システム及び力又は他のパラメ−タ−と温度の決定方法

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JPS60105917A
JPS60105917A JP59206957A JP20695784A JPS60105917A JP S60105917 A JPS60105917 A JP S60105917A JP 59206957 A JP59206957 A JP 59206957A JP 20695784 A JP20695784 A JP 20695784A JP S60105917 A JPS60105917 A JP S60105917A
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crystal
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signal
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エロウル　ピー．イアーニス
ロジヤー　ダブリユ．ウオード
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KUUOOTSUTORONIKUSU Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は力又は気体密度及び温度を同時に測定する共振
変換器に関するものでちる。
圧力、加速度、重量、共振器の表面膜応力等といった各
種力のパラメーターとシステムが設置される媒体の密度
といった他のパラメーターを測定する共振システムにつ
いては良く知られている。
典型的には、こうしたシステムには共振振動数が力のパ
ラメーター若しくは振動素子が露呈される他のパラメー
ターにおける変動と共に変動する振動素子と、振動素子
を共振させる発振器と、振動素子の共振振動数における
変動及び従って振動素子が露呈されるパラメーターの変
動を決定する処理回路が含まれている。
大部分の振動素子の共振振動数は振動素子が露呈される
温度によって影響を受けることが知られている。従って
、温度変動の結果、共振変換システムによって力又は他
のノくラメ−ターの測定に誤差が生じ易い。こうした誤
差は重要であシ、実施される全ゆる測定の正確性に著し
い影響を及ぼす。
力のパラメーター測定を振動素子共振変換器で行なう場
合、温度変動を補償する方法が多数存在している。その
］つの方法は慣用的なアナログ式温度検出器で温度を測
定し次にディジタル温度情報を提供するためアナログ対
ディジタル変換を使用する方法である。例えば、Ｇ、　
Ｒ，クツシーの米国特許第４，３１１，０５３号を参照
。この方法の］つの欠点は振動数とアナログ式の測定及
びアナログ対ディジタルの変換を必要とする点にある。
水晶結晶の振動素子に対する最も普通の方法は２個の水
晶結晶共振器の利用にあると思われ、当該副共振器は動
作環境（温度）に露呈されるが共振器の一方のみが測定
される力のパラメーターに露される。温度にのみ露呈さ
れる共振器の出力は他方の共振器によシ行なわれる力の
パラメーターの測定における温度誘因誤差を訂正するか
又は補償する目的で使用される。例えばＥ、　Ｐ、イー
ルニーセの［水晶共振器の真空適用例」ジャーナル・オ
プ・バキューム・サイエンス・アンド・テクノロジー（
Ｅ、　Ｐ、　ＥｅｒＮｉｓｓｅ、　Ｖａｃｕｕｍ　Ａｐ
ｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ　ｏｆＱｕａｒｔｚ　Ｒｅ５ｏｎ
ａｔｏｒｓ　”　）第］２巻、１号、１月７２月。
１９７５年、５６４−５６８頁；１９７］年２月９日発
行のＨ，Ｅ、カーラーとＪ、ＩＪ−チの米国特許第３，
５６１，８３２号を参照。この解決方法の欠点は２個の
共振器を正確に同じ物理的位置にすることが出来ず、そ
のため正確に同じ温度に露されないことにある。又、両
方の共振器が寸法、特性等の点で正確に同じでない場合
には当該共振器は温度変動に対し正確に同じ様式で応答
せず、しかもこうした応答上の正確性は温度変動を正確
に補償するのに必要である。
水晶共振変換器における温度変動を補償し又は少なくと
も決定する他の提案された方法は２つの異なる発振モー
ドで単一の水晶結晶を使用することである。例えば、Ｊ
、Ａ、クスターとＪ、リーチの「温度及び応力の補償結
晶の二重モード動作」。
１９７８年の振動数制御に関するｐｒｏｃ、３２年次シ
ンポジウム（Ｊ、Ａ、　Ｋｕｓｔｅｒｓ　ａｎｄ　Ｊ、
　Ｌｅａｃｈ　、　”ｌ）ｕａｌＭｏｄｅ　０ｐｅｒａ
ｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ａｎｄ　５
ｔｒｅｓｓ　ＣｏｍｐｅｎｓａｔｅｄＣｒｙｓｔａｌｓ
　′＋、　Ｐｒｏｃ、　３２　ｎｄ　Ａｎｎｕａｌ　Ｓ
ｙｍｐ　、　ｏｎ　ＦｒｅｑｕｅｎｃｙＣｏｎｔｒｏｌ
、１９７８）　３８９−３９７頁参照。
この論文ではいわゆる早い剪断モード又はｒＢＪモード
及び遅い剪断モード又は「ｃ」モードにおいても共振す
るよう単一の結晶が発振器により駆動される。Ｃモード
においては結晶の発振振動数は正確に温度依存型であり
、一方、Ｂモードにおいては発振振動数は温度変動と共
に変化する。いわゆる二重モード発振器配列は温度補償
を伴なう力のパラメーターの測定に対しては提案されず
、むしろ温度補償される出力信号の振動数を発生させる
ため提案された。この配列の欠点の中には結晶をＢモー
ドとＣモードの両方で同時に駆動することが困離であシ
、その結果更に複雑な発振駆動装置が必要とされ、Ｂモ
ードとＣモードの振動数の近似性によシ諸問題が生じ、
クロス・トークを無くすため極めて正確なフィルターが
附随的に要求され、いわゆる「動作上のゆるみ」（ある
温度における擬似振動数応答）を有するＢモードの発振
を使用する誤差が生じ易く々る。ＢモードとＣモードの
振動数が近似しているためＢモードが共振している際の
Ｃモード振動数出力に位相ノイズも生ぜしめる。
本発明の目的は共振変換器における温度変動を補償する
新規にして改良された装置及び方法を提供することにあ
る。
本発明の他の目的は共振変換器における温度補正を行な
う簡単で正確な方法及び装置を提供することにある。
本発明の他の目的は単一共振変換器に温度補償を提供す
ることにある。
本発明の目的は又、力若しくは他のパラメーターと温度
の両方を測定し、かくして温度誘因誤差又は力若しくは
他のパラメーターがもたらす誤差のいずれかを補償する
ことが出来る単一共振変換器を提供することにある。
本発明の前掲の目的と他の目的は発振電気信号に応答し
て基本振動数とその上音振動数から選択された少なくと
も２つの振動数ｆ□とｆ２を共振させる結晶の如き振動
素子を含む共振変換システムの特別に例示された実施態
様に於て実現されている。結晶は２つの振動数ｆ□及び
ｆ２が両者共結晶に与えられる力の変動（又は結晶を包
囲している媒体の密度といった他のパラメーター）及び
結晶が露呈される温度の変動と共に変動するよう選択さ
れ、その選択された振動数の一方の振動数に対する変動
の大きさ若しくは目盛係数は他方の選択された振動数に
対するものとは異なっている。結晶を２つの振動数にて
共振させる発振器、結晶の２つの共振振動数を検出し、
２つの選択された振動数を表わす信号Ｖ、及びｖ２　を
発生する検出装置、結晶に与えられる力（又は他のパラ
メーター）を表わす信号Ｆと結晶が露される温度を表わ
す信号Ｔｔ’Ａ生ずるため信号■１及び■２に応答する
処理装置も含まれている。力の測定は結晶内の温度変動
に対して補償され温度測定は結晶に与えられる力の変動
に対して補償される。
結晶は選択された振動数の両方で極めて動作上のゆるみ
がないモードにて共振するよう適合していることが有利
である。これはＳＣカット水晶結晶に対する振動のＣモ
ードに対する場合であり、僅かの程度ではＡＴカット水
晶結晶のＣモードとＢＴカット水晶結晶のＢモードに対
する場合であることが判明した。２つの所望の振動数ｆ
１とｆ２を発生するのに適していることが判明した他の
結晶構造は撓みモードで共振する二重棒、両頭型配列（
米国特許第４，３７２，１７３号参照）及び周わシの媒
体の流体密度を測定する撓みモードにてこれも共振する
二重棒、不平衡型配列である。
本発明の一局面によれば、一対のフィルターが結晶と発
振器の間で相互に並列に接続され、一方のフィルターは
全体的に中心値が振動数ｆ１　附近にある帯域の振動数
を有する信号を通過させるよう設計され、他方のフィル
ターは中心値が振動数ｆ２　附近の帯域の振動数を有す
る信号を通過させるよう設計しである。同様のフィルタ
ーの対が発振器と振動数検出装置の間で相互に並列に接
続されることが有利である。
単一結晶が使用されるので使用される２つの発振モード
即ち振動数ｆ□と振動数ｆ２は同じ状況下に露呈され、
かくして２つの結晶を使用するととによりもたらされる
ような誤差を全て除去する。
又、結晶を２つの振動数モードで共振させる発振駆動装
置は構造が簡単であシ、２つの共振モードは見かけの読
み取り値を生ぜしめるような著しい動作上のゆるみがな
い。
図面中、本発明の前掲の目的と他の目的、特徴及び利点
については添附図面に関連して提供されるμ下の詳細な
説明を考察することから明らかとなろう。
ここで図面を参照する。
第１図を参照すると、当該図には本発明による力のパラ
メーター（以後単に「力」と称する）と温度を測定出来
る共振変換システムが示しである。
本７ステムには著しい動作上のゆるみがない状態で共振
するよう適合した振動素子４が含まれている。振動の厚
み剪断モードに対しＳＣカット、ＡＴカット及びＢＴカ
ットの水晶の結晶はこの条件に適合し、更に、ＳＣカッ
トの水晶の結晶は一時的々温度状況下で一層安定し且つ
周期が充分短かい振動数の安定性を有していることから
好オしいものである。その上、二重棒、両頭型共振構造
（米国特許第４，３７２，１７３号診照）及び二重棒、
不平衡型構造の両者における振動の撓みモードはと９わ
けこの条件に合致することが判明している。
発振器８は相互に並列に配列されている一対のフィルタ
ー１２及び］６を介して結晶たる振動素子４に接続され
ている。発振器８は発振信号を発生し、当該発振信号は
フィルター１２及び］６を介して結晶たる振動素子４に
供給され、当該結晶を基本振動数とその上音振動数から
選択された２個（又はそれ以上の）振動数ｆ□とｆ２で
共振させる。フィルター１２は中心値が第１選択振動数
ｆ□附近の振動数の帯域内にある発振信号を通過させ、
一方、フィルター］６は中心値が第２選択振動数ｆ２　
附近の帯域内の振動数を有する発振信号を通過させる。
結晶たる振動素子４が共振する振動数は当該結晶が受け
る（圧力の如き）力と当該結晶が露呈される温度の両方
に依存している。当該結晶は第１選択振動数における変
動が温度における変動と共に第２選択振動数が温度変動
と共に変動する際の目盛係数とは異なる目盛係数によシ
表わされるよう選択され且つ形成される。例えばＡ、　
Ｒ。
チャイ、ｒＡＴカント水晶共振器の温度性状」。
振動数制御に関するｐｒｏｃ、第１０回年次ンンボジウ
ム、１９５６年（Ａ、　Ｒ，Ｃｈｉ　、　”　Ｔｅｍｐ
ｅｒａｔｕｒｅ　１３ｅｈａｖｉｏｒｏｆ　ＡＴ＋−ｃ
ｕｔ　Ｑｕａｒｔｚ　Ｒｅ５ｏｎａｔｏｒｓ”、　ｐｒ
ｏｃ　、　］　Ｑ　ｔｈ　ＡｎｎｕａｌＳｙｍｐ、　ｏ
ｎ　ｐｒｅｑｕｅｎｃｙｃｏｎｔｒｏｌ　、　］　９５
６　）　４７−５９頁を参照。これは結晶たる振動素子
４に適用される力の変動に対しても適用される。単一の
結晶共振変換器を使って力（又は他のパラメーター）と
温度の測定値を発生し又は代替的に温度補正される力の
測定値若しくは力補正される温度測定値を発生するよう
特異のしかも簡易な様式で利用されるのはこの現象であ
る。
発振器８は結晶たる振動素子４の発振振動数に従い、当
該結晶と同じ２つの選択された振動数を有する信号を発
生し、当該信号は第２の対のフィルター２０及び２４に
供給される。フィルター２０は全体的に中心値が第２選
択振動数ｆ□　附近の帯域に振動数を有する信号を通過
させ、フィルター２４は全体的に中心値が第２選択振動
数ｆ２　附近の帯域に振動数を有する信号を通過させる
。フィルター２０はその振動数信号をカウンター２８に
供給し、フィルター２４はその信号をカウンター３０に
供給する。カウンター２８は受信信号の第１選択振動数
を表わすディジタル出力信号を発生し、カウンター３２
は受信信号の第１選択振動数を表わすディジタル出力信
号を発生する。これらのディジタル出力は結晶たる振動
素子４に与えられる力の大きさ及び当該結晶が露呈され
る温度を決定する信号を処理するマイクロ・プロセンサ
ー３６に供給される。力と温度の測定値は表示ユニット
４０に供給され、そこで測定値は可視的に表示される。
発振器８、フィルター１２　、　］　６，２０及び２４
、カウンター２８及び３２、マイクロ−プロセンサー３
６及び表示ユニット４０は全て慣用的なユニットである
。
２つの選択された振動数（好適には基本振動数と第３上
音振動数又は基本振動数と第５上音振動数）の力と温度
における変動は以下の如き代数式で特徴付けることが出
来る。
”］＝ｆｌ−ｆｏ１＝ＡＩＴ＋ＢＩＴ２＋ＣＩＴ３＋０
１ ＤＩＦ十Ｅ１ｐ”　＋ＰＩＦＴ＋−。
及び ５２＝ｆ２−ｆｏ２−Ａ２Ｔ＋Ｂ２Ｔ２＋ｃ２Ｔ３十ｏ
２ Ｄ２Ｆ十Ｅ２Ｆ２＋Ｆ２ＦＴ＋・・・。
ここでｆ。□とｆ。２は所定の基準温度Ｔ。と基準力Ｆ
ｏ　における第】及び第２選択振動数である。又、Ｔは
基準温度からの温度変化であシ、Ｆは結晶が露される基
準力からの力（又は他のパラメーター）−の変化である
。これらの代数式の逆は以下の通シである。
Ｆ＝　ａｐｓ１＋ｂＦｓ１”＋ｃｐｓ□”＋ｄｐｓ２＋
ｅＦＳ２２＋ｆＦＳ２３＋ｇＦＳＩＳ２＋・・・。
及び Ｔ　＝　ａＴｓｌ　＋１）Ｔ８１２＋ｅＴ８１３＋ｄ７
Ｓ２４’ｅＴ８２”　＋　ｆｔ８２３＋ｇＴ８１８２　
＋　−。
ここでａＦ　＋　ｂＦ　＋　ＣＦ　＋　ｄＦ　＋　ｅＦ
　＋　ｆＦ及びｇｐは所定の一定力係数であシ、１１Ｔ
ｌ　ｂＴＩ　ＣＴ＋　ｄＴ　＋　”Ｔ＋　ｆＴ及びｇＴ
は所定の一定温度係数である。
式（３）及び＋４）内の係数は既知の力と温度を結晶に
適用し当該式の既知データに曲線のあてはめをすること
によシ式内の定数係数を決定することによシ容易に決定
される。係数が決定され且つ式２つと２つの未知の数が
ある場合、この２つの未知数は慣用的な処理技法によっ
て容易に決定出来る。
実際、式（３）及び（４）は自己補償される力Ｆと温度
Ｔの測定値を発生するためマイクロ・プロセンサー３６
によシ解かれる。流体密度といった他のパラメーターは
温度と共に同様の様式で決定出来る。
第２図は２つの選択された振動数ｆ１及びｆ２にて共振
する２つの発振器５８及び６２により駆動される単一結
晶５４を含む本発明の他の実施態゛様を示す。信号振動
数ｆ□及びｆ２を単一結晶５４に通過させ、かくして当
該結晶をこれらの振動数で共振させるようフィルター６
６及び７０が各々発振器５８及び６２に直列に接続され
ている。
発振器５８及び６２は各々振動数ｆ□及びｆ２を有する
発振信号を発生してカウンター７４及び７８に供給する
よう単一結晶５４の発振振動数ｆ１　及びｆ２　に各々
追随する。一方、カウンター７４及び７８は各々振動数
ｆ□及びｆ２を表わすディソタル出力信号を発生し、こ
れらの信号はマイクロ・フロセンサー８２に供給される
。マイクロ・プロセンサー８２は表示ユニット８６上に
可視表示する力（又は測定されている他のパラメーター
）と温度を決定するため第１図の実施態様の如く信号を
処理する。その処理は第１図の実施態様に対して説明し
たのと同じ様式で実行される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の原理に従って作成され単一の発振駆動
装置を利用する共振変換システムの概略図。 第２図は２個の発振駆動装置を利用する本発明の他の実
施態様の概略図。 主要部分の符号の説明 ４・・・振動素子　８・・・発振器 １２．１６．’２０．２４・・・フィルター２８．３２
・・・カウンター　３６・・・マイクロ・プロセンサー
４０・・・表示ユニット　５８．６２・・・発振器８２
・・・マイクロプロセンサー

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 」）振動素子の基本振動数と上音振動数から選択され、
    振動素子に与えられる力又は他のパラメーターの変動に
    よると共に振動素子が露呈している温度の変動により、
    振動数ｆ２　に対する温度変化に起因する変動とは異な
    っている振動数ｆ□　に対する温度変化に起因するその
    振動の大きさを伴って変化する２つの振動数ｆ□及びｆ
    ２において共振するだめ発振電気信号に応答する振動素
    子と、振動素子を共振させるため発振信号を振動素子に
    力えると共に、各々振動素子の選択された振動数ｆ□及
    びｆ２に続く振動数ｆ１及ヒｆ２ヲ有する振動信号を発
    生する装置と、 振動素子に馬えられる力又は他のパラメーターを表わす
    第］信号と振動素子が露される温度を表る振動信号の振
    動数ｆ□及ヒｆ２に応答する処理装置から成る共振変換
    ／ステム。 ２）前記振動素子が実質的に動作上のゆるみのないモー
    ドで共振するようにされる特許請求の範囲第１）項に記
    載の共振変換システム。 ３）振動素子が水晶の結晶になっている特許請求の範囲
    第１）項に記載の共振変換システム。 ４）前記結晶が厚み剪断モードで共振するようにされる
    特許請求の範囲第３）項に記載の共振変換システム。 ５）前記結晶がＳＣカット水晶の結晶になっている特許
    請求の範囲第４）項に記載の共振変換システム。 ６）前記結晶がＡＴカット水晶の結晶に々っている特許
    請求の範囲第４）項に記載の共振変換システム。 ７）前記結晶がＢＴカット水晶の結晶になっている特許
    請求の範囲第４）項に記載の共振変換システム。 只）前卯枯晶づ１みモードで振動する二重棒、両頭型共
    振器である特許請求の範囲第３）項に記載の共振変換シ
    ステム。 ９）前記結晶が撓みモードで振動する二重棒、不平衡型
    共振器である特許請求の範囲第３）項に記載の共振変換
    システム。 一］Ｏ）振動素子と発振装置の間で相互に並列に接続さ
    れ、全体的に中心値が振動数ｆ□　附近の帯域の振動数
    を有する発振信号を通過させるよう適合した第１フイル
    ター装置と、全体的に中心値が振動数ｆ２　附近の帯域
    に振動数を有する発振信号を通過させるよう適合した第
    ２フイルター装置を更に含むようにした特許請求の範囲
    第１）項に記載の共振変換システム。 月）前記振動数ｆ□　が振動素子の基本振動数であり、
    前記振動数ｆ２　が基本振動数の第３上音であるように
    した特許請求の範囲第１０）項に記載の共振変換システ
    ム。 】２）前記振動数ｆ□　が振動素子の基本振動数であり
    、前記振動数ｆ２　が基本振動数の第５上音であるよう
    にした特許請求の範囲第１０）項に記載の共振変換シス
    テム。 １３）前記振動数ｆ０　が振動素子の振動の基本振動数
    の第３上音であシ、前記振動数ｆ２　が基本振動数の第
    ５上音である特許請求の範囲第］０）項に記載の共振変
    換７ステム。 ］４）更に、発振装置と処理装置の間で相互に並列に接
    続され、全体的に中心値が振動数ｆよ　の附近にある帯
    域に振動数を有する発振信号を通過させるよう適合した
    第３フイルター装置と、全体的に中心値を振動数ｆ２　
    附近とする帯域に振動数を有する発振信号を通過させる
    よう適合した第４フイルター装置を含むようにした特許
    請求の範囲第１０）項に記載の共振変換システム。 １５）前記処理装置が、 第３フイルター装置から受信された発振信号の基本振動
    数に対する振動数変化を示す第１信号ｆ□を発生する第
    ３フイルター装置に接続された第１計数装置と、 第４フイルター装置から受信される発振信号の基本振動
    数に対する振動数変化を示す第２信号Ｓ２を発生する第
    ４フイルター装置に接続された第２計数装置と、 信号 ３ Ｆ−ａＦ８１＋ｂＦ８１　＋ｃＦｓ１　＋ｄＦｓ２＋ｅ
    Ｆ　２　Ｆ　２３＋ｇＦｓ１８２＋°”及び ３ ｃＴ８２　”　ｆ　Ｔ　８２　”　ｇＴ８１８２　”　
    ’　”　＋（ここで、ａＦ、ｂＦ、ＣＦ、ｄＦｌｅＦ、
    ｆＦ、及びｇＦは所定の一定の力又は他のパラメーター
    係数であシ、Ｔ　Ｔ　ｃＴ、ｄＴ、ｅＴ、ｆＴ及びｇＴ
    は所定の一定の温度係数である）を発生させる装置を含
    むようにした特許請求の範囲第１４　）項に記載の共振
    変換システム、。 １６）振動素子の基本振動数と上音振動数から選択され
    、振動素子に与えられる力の変動によると共に振動素子
    が露呈している温度の変動によシ、振動数ｆ２に対する
    力変化に起因する変動はけ異なっている振動数１１に対
    する力変化に起因するその振動の大きさを伴って変化す
    る２つの振動数ｆ□及びｆ２　において共振するため発
    振電気信号に応答する振動素子と、 振動素子を共振させるため発振信号を振動素子に与える
    と共に、各々振動素子の選択された振動数ｆ□及びｆ２
    に続く振動数ｆ１及びｆ２を有する振動信号を発生する
    装置と、 振動素子に与えられる力を表わす第１信号と振動素子が
    露される温度を表わす第２信号を発生する発振装置によ
    り発生される振動信号の振動数ｆ１及びｆ２　に応答す
    る処理装置から成る共振変換システム。 １７）振動素子が°水晶の結晶になっている特許請求の
    範囲第１６）項に記載の共振変換システム。 １８）発振電気信号に応答し、振動素子に適用される力
    の変動と振動素子が露呈される温度の変動で異なる目盛
    係数により変動する第１選択振朦１数ｆ０　と第２選択
    振動数ｆ２　にて共振する振動素子と、 前記振動素子を振動数ｆ□とｆ２にて共振させる装置と
    、 振動素子の共振の振動数ｆ□と振動数ｆ２を検出し、信
    号ｓ１　＝ｆｌ−ｆ０１と信号８２　＝　ｆｚ　ｆｏ２
    （ここでｆｏ□は所定の参照の力Ｆ。と参照温度Ｔ。に
    おける振動素子の振動の第１選択振動数であシ、ｆ０２
    は参照の力と参照温度における振動素子の振動の第２選
    択数である）を発生させる装置と、温度変動に対して修
    正され、振動素子に与えられる力における参照の力から
    の変化を表わす信号Ｆを発生するため信号Ｓ□と８２　
    に応答する処理装置から成る温度自己補償の共振力変換
    システム。 ］９）振動素子が水晶の結晶になっている特許請求の範
    囲第１８）項に記載の共振力変換システム。 ２０）前記共振発生装置が発振器を含む特許請求の範囲
    第１９）項に記載の共振力変換システム。 ２］）　結晶と発振器の間で相互に並列に接続され、全
    体的に中心値が振動数ｆ□　附近の帯域の振動数を有す
    る発振信号を通過させるよう適合した第１フイルター装
    置と、全体的に中心値が振動数ｆ２附近の帯域の振動数
    を有する発振信号を通過させるよう適合した第２フイル
    ター装置を含むようにした特許請求の範囲第１９）項に
    記載の共振力変換システム。 ２２）−前記処理装置が信号 ：Ｆ　＝　ａＦ８１　＋　ｂｐｓｌ”　＋　ＣｐＳ１３
    ＋ｄＦｓ２　＋ｅＦ、ｓ２２＋　ｆＦ８２３＋ｇＢｒ　
    ８１８２　＋　−。 及び ’ｌ：’　＝　ａ７３１＋ｂＴＳ１２＋ｅＴ８１３＋ｄ
    ＴＳ２＋ｅＴｓ２”＋　ｆＴ８２”＋ｇＴ８１　ｓ２＋
    　＋＋＋　。 （ここでａＦ、　ｔ）ｐ　＋　ＣＦ　＋　ｄＦ　ｒ　ｅ
    Ｆ　＋　ｆＦ　及びｇＦ　は所定の一定力の係数であり
    、ａＴ　ｒ　ｂＴＩ　ＣＴ＋　ｄＴ　ｒ　ｅＴ　＋ｆＴ
    及びｇＴは所定の一定温度係数である）を発生する装置
    を含む特許請求の範囲第２１）項に記載の共振力変換シ
    ステム。 ２３）前記共振発生装置が結晶を振動数ｆ□　で共振さ
    せるだめ結晶に接続された第１発振器と、結晶を振動数
    ｆ２　で共振させるだめ結晶に接続された第２発振器か
    ら成る特許請求の範囲第１９）項に記載の共振力変換シ
    ステム。 ２４）更に、第１発振器と結晶の間に接続され全体的に
    中心値が振動数ｆ□附近の帯域に振動数を有する発振信
    号を通過させるよう適合した第１フイルター装置と、第
    ２５＃、振器と結晶の間に接続され全体的に中心値が振
    動数ｆ２　附近の帯域の振動数を有する発振信号を通過
    させるよう適合した第２フイルター装置を含む特許請求
    の範囲第２３）項に記載の共振力変換システム。 ２５）前記第１及び第２発振器が前記結晶を厚み剪断モ
    ードで発振させるようにした特許請求の範囲第２４）項
    に記載の発振力変換システム。 ２６）前記結晶がＳＣカット、ＡＴカント及びＢＴカン
    トの水晶の結晶から成るグループよシ選択される特許請
    求の範囲第２５）項に記載の共振力変換システム。 ２７）前記処理装置が信号 Ｆ−ａＦＳ１＋ｂＦＳ１２＋ＣＦＳ１３＋ｄＦＳ２十ｅ
    ＦＳ２２＋ｆＦＳ２３＋ｇＦＳＩＳ２＋・・・。 及び Ｔ　”　ａＴ”ｌ＋ｂＴＳ１２＋ＣＴＳ１３＋ｄＴＳ２
    十ｅＴ８２２＋ｆＴｓ２３＋ｇＴｓＩＳ２＋＝。 （ここでａＦ、ｂＦ＋ＣＦ＋ｄＦ＋ｅＦ＋ｆＦ＋及びｇ
    Ｆは所定の一定力係数であシ、ａＴ、　ｂ７　、　ｃ７
    　、　ｄＴ、　ｅＴ。 ｆＴ及びｇＴは所定の一定温度係数である）を発生せし
    める装置を含む特許請求の範囲第２６）項に記載の共振
    力変換システム。 ２８）前記結晶が二重棒、両頭型共振構造であシ、前記
    第１及び第２発振器が前記結晶を撓みモードで発振させ
    るようにした特許請求の範囲第２４）項に記載の共振力
    変換システム。 ２９）前記結晶が二重棒、不平衡型共振構造であり、前
    記第１及び第２発振器が前記結晶を撓みモードで発振さ
    せるようにした特許請求の範囲第２４）項に記載の共振
    力変換システム。 ３０）振動素子に適用される力又は他のパラメーターの
    変動により、また振動素子が露呈される温度の変動によ
    シ変化し、振動素子の基本振動数と上音振動数から成る
    振動数のグループより選択され、且つ力又は他のパラメ
    ーターの変動若しくは温度の変動に起因する振動数ｆ□
    　の変動の大きさが振動数ｆ２　に対する大きさとは異
    なっている振動数ｆ、及びｆ２にて振動素子を共振させ
    ることと、振動素子の共振振動数に続く振動数ｆ１　及
    びｆ２を有する振動信号を発生すること、 振動素子に与えられる力又は他のパラメーターを表わす
    第１信号、振動素子が露呈される温度を表わす第２信号
    を発生するだめ振動信号を処理することから成る力又は
    他のパラメーターと温度を決定する方法。 ３］）振動素子が実質的に作用上のゆるみがないモード
    で共振するようにされる特許請求の範囲第３０）項に記
    載の方法。 ３２）振動素子が水晶の結晶になっている特許請求の範
    囲第３１）項に記載の方法。 ３３）結晶が厚み剪断モードで共振するようにされ、結
    晶がＳＣカット、ＡＴカット及びＢＴカントの結晶から
    成る結晶のグループより選択されるようにした特許請求
    の範囲第３２）項に記載の方法。 ３４）結晶が二重棒、両頭型共振構造又は二重棒、不平
    衡型構造から成るグループより選択され、結晶が撓みモ
    ードで共振するようにされた特許請求の範囲第３２）項
    に記載の方法。
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