JPS60105947A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JPS60105947A JPS60105947A JP58214443A JP21444383A JPS60105947A JP S60105947 A JPS60105947 A JP S60105947A JP 58214443 A JP58214443 A JP 58214443A JP 21444383 A JP21444383 A JP 21444383A JP S60105947 A JPS60105947 A JP S60105947A
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- Japan
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- infrared
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は赤外線領域に吸収帯を有する測定ガスの濃度を
赤外線の吸収量により測定する赤外線ガス分析計、特に
煙道中のガス濃度測定などダスト・ミスト及び水分を含
む測定ガスについて直接連続測定する赤外線ガス分析計
に関するものである。
赤外線の吸収量により測定する赤外線ガス分析計、特に
煙道中のガス濃度測定などダスト・ミスト及び水分を含
む測定ガスについて直接連続測定する赤外線ガス分析計
に関するものである。
一般に赤外線ガス分析計は、基本光学系として、シング
ルビーム方式とダブルビーム方式に分類される。両方式
ともに主要部分は光源部、測定セル部および検出部であ
る。
ルビーム方式とダブルビーム方式に分類される。両方式
ともに主要部分は光源部、測定セル部および検出部であ
る。
以下に本発明の理解を容易にするために、第１図を用い
てシングルビーム方式赤外線ガス分析計の動作原理を簡
単に説明する。第１図において、光源部１内の赤外線光
源２より放射された光束ＩＭは、セクター３により断続
された後測定セル４内に入射する。測定セル４は両側面
に赤外線透過窓１０ 、１１を配置し、測定ガスの導入
口１５と排出口１６（ を待った構造へしており、通常測定ガスが導入１１５か
ら連続的に供給される。赤外線光束ＩＭは、測定セル４
内で測定ガス知よりその一部が吸収された伊ガス封入検
出器５に：ａ″ｆる。この検出器５は、赤外線光束ＩＭ
の光路方向に直列に配置されている、測定成分ガスを封
入した第１検出室６と、第２検出室７と、通路とから構
成され、検出器に入射した光束ＩＭｆｉ第１検出室６で
一部吸収さ）１゜た後、第２検出室７でさらに吸収され
る。この第１及び第２検出室６，７内の測定成分ガスに
よる光束ＩＭの吸収により生じた圧力上昇の差が、通路
８に設置された差圧検出素子９により検出され、電気信
号に変換される。
てシングルビーム方式赤外線ガス分析計の動作原理を簡
単に説明する。第１図において、光源部１内の赤外線光
源２より放射された光束ＩＭは、セクター３により断続
された後測定セル４内に入射する。測定セル４は両側面
に赤外線透過窓１０ 、１１を配置し、測定ガスの導入
口１５と排出口１６（ を待った構造へしており、通常測定ガスが導入１１５か
ら連続的に供給される。赤外線光束ＩＭは、測定セル４
内で測定ガス知よりその一部が吸収された伊ガス封入検
出器５に：ａ″ｆる。この検出器５は、赤外線光束ＩＭ
の光路方向に直列に配置されている、測定成分ガスを封
入した第１検出室６と、第２検出室７と、通路とから構
成され、検出器に入射した光束ＩＭｆｉ第１検出室６で
一部吸収さ）１゜た後、第２検出室７でさらに吸収され
る。この第１及び第２検出室６，７内の測定成分ガスに
よる光束ＩＭの吸収により生じた圧力上昇の差が、通路
８に設置された差圧検出素子９により検出され、電気信
号に変換される。
今、燃焼排ガスのようにダスト、ミストおよび水分を含
む測定ガスを測定セル４に導入した場合について考える
。第１．笥２検出室の光路長をそれぞれＺｌ 、ｚ２、
体積を”１ ＋ｖ２ 、検出器封入ガス濃度をＣＯ１測
定セル入射光量を■Ｈ１小測定セル長をｔ、測定ガスに
含まれる測定成分ガス鑓度、ダス＋−６度をそれぞれＣ
Ｍ、ＣＤ１ミストおよび水分の露結による赤外線光束の
減衰係数なＫｃとすると、検出器出力はおよそ次式で表
される。
む測定ガスを測定セル４に導入した場合について考える
。第１．笥２検出室の光路長をそれぞれＺｌ 、ｚ２、
体積を”１ ＋ｖ２ 、検出器封入ガス濃度をＣＯ１測
定セル入射光量を■Ｈ１小測定セル長をｔ、測定ガスに
含まれる測定成分ガス鑓度、ダス＋−６度をそれぞれＣ
Ｍ、ＣＤ１ミストおよび水分の露結による赤外線光束の
減衰係数なＫｃとすると、検出器出力はおよそ次式で表
される。
Ｓｏｅ （、ａＰｌ −６Ｐ２ ） ｏｃＫｃ ＩＭ（
λ、 ） ｅ ”ＭＣＭ＋βＭＣＤ）ｔｏｃ ＫＣＩＭ
（λ１）（ｉ−（αＭＣＭ＋βＭ（−ｕ）ｔ）・・・
・・・・・・・（１） （１）式より明らかなように、測定成分ガス濃度とダス
ト濃度あるいはミスト・水分の露結による赤外線残塵の
減衰量に応じた電気信号が得られ、このままでは他の手
段でダスト一度および赤外線強度の減衰量を測定しない
限り正確な測定成分ガスの濃度を測定することができな
い。ここで１Ｍ４λ１）は赤外線光束の中の測定成分ガ
スの吸収帯の中心波長における光強度、αＭ、βＭは中
心波長λ１における測定成分ガス、ダストの吸光係数で
ある。
λ、 ） ｅ ”ＭＣＭ＋βＭＣＤ）ｔｏｃ ＫＣＩＭ
（λ１）（ｉ−（αＭＣＭ＋βＭ（−ｕ）ｔ）・・・
・・・・・・・（１） （１）式より明らかなように、測定成分ガス濃度とダス
ト濃度あるいはミスト・水分の露結による赤外線残塵の
減衰量に応じた電気信号が得られ、このままでは他の手
段でダスト一度および赤外線強度の減衰量を測定しない
限り正確な測定成分ガスの濃度を測定することができな
い。ここで１Ｍ４λ１）は赤外線光束の中の測定成分ガ
スの吸収帯の中心波長における光強度、αＭ、βＭは中
心波長λ１における測定成分ガス、ダストの吸光係数で
ある。
したがって、赤外線ガス分析１１を煙道排ガスのように
多量のダスト、ミストおよび水分を含む測定ガスに適用
する場合には、測定セル４に測定ガスを導入する前処理
として、ダスト、ミストおよび水分を除く処理を含むガ
スサンプリング系を必要とする。第２図は典型的なガス
サンプリング系の系統図を示したものである。図におい
て１測定ガス採集器２１の中には測定ガス中に含まれる
ダストを除去する第１段目の粗フィルタが収容されてお
り、さらにドレインボット２２にょる露結水の除去、フ
ィルタ乙にょるミスト除去などの工程を得て清浄化し、
さらにガス乾燥器２６により測定カス中の水分を除去し
、最終段階として赤外線ガス分析計２９に導入される直
前において第２段目のミクロフィルタ２７により完全に
測定ガス中のダストを除去する。このようなダスト、ミ
ストおよび水分除去をすれば（１）式より明らかなよう
に赤外線ガス分析計の出力信号へのダスト、ミストおよ
び水分の影響は無くなり、正確に測定成分ガス濃度を測
定できる。
多量のダスト、ミストおよび水分を含む測定ガスに適用
する場合には、測定セル４に測定ガスを導入する前処理
として、ダスト、ミストおよび水分を除く処理を含むガ
スサンプリング系を必要とする。第２図は典型的なガス
サンプリング系の系統図を示したものである。図におい
て１測定ガス採集器２１の中には測定ガス中に含まれる
ダストを除去する第１段目の粗フィルタが収容されてお
り、さらにドレインボット２２にょる露結水の除去、フ
ィルタ乙にょるミスト除去などの工程を得て清浄化し、
さらにガス乾燥器２６により測定カス中の水分を除去し
、最終段階として赤外線ガス分析計２９に導入される直
前において第２段目のミクロフィルタ２７により完全に
測定ガス中のダストを除去する。このようなダスト、ミ
ストおよび水分除去をすれば（１）式より明らかなよう
に赤外線ガス分析計の出力信号へのダスト、ミストおよ
び水分の影響は無くなり、正確に測定成分ガス濃度を測
定できる。
しかし近年赤外線ガス分析計を単なるガス成分モニタに
用いるのみでなく、燃焼制御のように赤外線ガス分析計
の信号をシステムの制御信号として用いることが色々な
分野で進められている。このような場合には、赤外線ガ
ス分析計の信号の精度が要求されるのみでなく、高速応
答性が大きな要求特性となる。赤外線ガス分析側本体は
制御に適用する釦十分な早い応答性を持っているが、前
記のとおりダスト、ミストおよび水分を含む測定ガスに
対してはガスサンプリング系を絶対に必要とするので、
測定系全体としての応答速度は数１０秒から分のオーダ
となり、制御のような早い応答性が要求される用途に対
しては通用が困ｔ１ξであるという欠点を持っている。
用いるのみでなく、燃焼制御のように赤外線ガス分析計
の信号をシステムの制御信号として用いることが色々な
分野で進められている。このような場合には、赤外線ガ
ス分析計の信号の精度が要求されるのみでなく、高速応
答性が大きな要求特性となる。赤外線ガス分析側本体は
制御に適用する釦十分な早い応答性を持っているが、前
記のとおりダスト、ミストおよび水分を含む測定ガスに
対してはガスサンプリング系を絶対に必要とするので、
測定系全体としての応答速度は数１０秒から分のオーダ
となり、制御のような早い応答性が要求される用途に対
しては通用が困ｔ１ξであるという欠点を持っている。
本発明の目的は、律速のダスト、ミストおよび水分除去
などのサンプリング処理系を含む赤外線ガス分析計の持
っている次点を除き、直接ダスト、ミストおよび水分を
含む測定ガスを赤外線ガス分析計に導入し℃、ダスト、
ミストおよび水分の影響を受けない高精度の測定を可能
とし、しかも高速応答性を可能にした赤外線ガス分析計
を提供することである。
などのサンプリング処理系を含む赤外線ガス分析計の持
っている次点を除き、直接ダスト、ミストおよび水分を
含む測定ガスを赤外線ガス分析計に導入し℃、ダスト、
ミストおよび水分の影響を受けない高精度の測定を可能
とし、しかも高速応答性を可能にした赤外線ガス分析計
を提供することである。
本発明は、赤外線光源部、測定セル部および赤外検出部
より構成される赤外線ガス分析計において、測定セルを
基本的には筒状ガスフィルタと、これを加熱するヒータ
および両側面に赤外線透過窓を持ち、前記フィルタと内
面が同軸の筒状外筐体とで構成し、ヒータで所定の温度
に加熱されたガスフィルタと前記外筐体の間隙に測定ガ
スを流すことによりダストを除去し、測定セルにおける
ミストおよび水分の露結を防止して測定セル内ガスの拡
散、対流による置換速度を早くして高速応答を可能にし
たダスト、ミストおよび水分除去などの前処理を必要と
しない赤外線ガス分析側を提供するものである。
より構成される赤外線ガス分析計において、測定セルを
基本的には筒状ガスフィルタと、これを加熱するヒータ
および両側面に赤外線透過窓を持ち、前記フィルタと内
面が同軸の筒状外筐体とで構成し、ヒータで所定の温度
に加熱されたガスフィルタと前記外筐体の間隙に測定ガ
スを流すことによりダストを除去し、測定セルにおける
ミストおよび水分の露結を防止して測定セル内ガスの拡
散、対流による置換速度を早くして高速応答を可能にし
たダスト、ミストおよび水分除去などの前処理を必要と
しない赤外線ガス分析側を提供するものである。
第Δ図ｆａｌＫ本づら明を実施した測定セルの具体例の
一つを示す。この測定でルは、基本的には赤外線光源部
加、３１、円筒状ガスフ・ｒルタ３３、加熱ヒータ３７
、円筒状外筐体あから成る。図において、ガスフィルタ
材、例えば石英繊維あるいはセラミック多孔性焼結体か
ら成る円筒状フィルタ３３は、外部筺体３４に、取りは
ずし可能に、しかもフィルタ部を通じてのみ測定ガスが
入るように固定されている。赤外線透過窓部１．３１は
赤外線透過性の窓材、例えば単結晶弗化カルシウム次そ
の固定Ｊ（から成り、ガスシール可能な構造で外部筐体
讃に固定されている。外部筐体３４は、例えば金属４合
金あるいはセラミックから成り、対向して配置された測
定ガスの導入口１５と排出口１６を持ち・さらに円筒状
フィルタ３３の長さ方向に同フィルタとの間に拡散空間
３２を持つ構造となっている。フィルタ部はヒータ３７
、例えばコイル状ヒータにより表面部から加熱される構
造となっており、電力は外部より端子ア、３９より供給
される。フィルタ部の温度が大巾に変動すると測定精度
に影響が生ずるので、測温体４０がフィルタ：（３０表
面あるいは内部に設置してあり、その出力を端子４１
、４２でとり出すことによって、外部の温度訓節器でフ
ィルタ部温度を一定に保持したり、赤外線ガス分析計の
出力に対する温度補正をしたりすることが出来る。
一つを示す。この測定でルは、基本的には赤外線光源部
加、３１、円筒状ガスフ・ｒルタ３３、加熱ヒータ３７
、円筒状外筐体あから成る。図において、ガスフィルタ
材、例えば石英繊維あるいはセラミック多孔性焼結体か
ら成る円筒状フィルタ３３は、外部筺体３４に、取りは
ずし可能に、しかもフィルタ部を通じてのみ測定ガスが
入るように固定されている。赤外線透過窓部１．３１は
赤外線透過性の窓材、例えば単結晶弗化カルシウム次そ
の固定Ｊ（から成り、ガスシール可能な構造で外部筐体
讃に固定されている。外部筐体３４は、例えば金属４合
金あるいはセラミックから成り、対向して配置された測
定ガスの導入口１５と排出口１６を持ち・さらに円筒状
フィルタ３３の長さ方向に同フィルタとの間に拡散空間
３２を持つ構造となっている。フィルタ部はヒータ３７
、例えばコイル状ヒータにより表面部から加熱される構
造となっており、電力は外部より端子ア、３９より供給
される。フィルタ部の温度が大巾に変動すると測定精度
に影響が生ずるので、測温体４０がフィルタ：（３０表
面あるいは内部に設置してあり、その出力を端子４１
、４２でとり出すことによって、外部の温度訓節器でフ
ィルタ部温度を一定に保持したり、赤外線ガス分析計の
出力に対する温度補正をしたりすることが出来る。
第３図（１））は測定セル断面方向の測定ガスの流れを
示したもので、測定ガス流は本実施例の場合には主に導
入口１５において２つに分割され、加熱された円筒状ガ
スフィルタ３３０円周方向にそって流れた後排出口１６
で再び一体となって排出される。
示したもので、測定ガス流は本実施例の場合には主に導
入口１５において２つに分割され、加熱された円筒状ガ
スフィルタ３３０円周方向にそって流れた後排出口１６
で再び一体となって排出される。
この構造は測定セル長が短い場合に特に有効である。
第４図＋ａ＋は第２の実施例に基づく測定セルの外形を
示したもので、基本的には第３図の具体例と構成は同じ
であるが、本実施例では測定ガスの導入口１５と排出口
１６が測定セルの長さ方向に位置を異にして配置されて
いる。第４図（ｂｌは測定セル断面方向のガス流を示す
。この場合には導入０２５がら導入された測定ガスは、
加熱された円筒状フィルタ３３０円周方向にそってしか
も長さ方向に流れるので測定セルか長い場合特如有効で
ある。
示したもので、基本的には第３図の具体例と構成は同じ
であるが、本実施例では測定ガスの導入口１５と排出口
１６が測定セルの長さ方向に位置を異にして配置されて
いる。第４図（ｂｌは測定セル断面方向のガス流を示す
。この場合には導入０２５がら導入された測定ガスは、
加熱された円筒状フィルタ３３０円周方向にそってしか
も長さ方向に流れるので測定セルか長い場合特如有効で
ある。
第５図（ａｉは第３の実施例に基づく測定セル断面を示
したもので、基本構成は第３図の具体例と同じであるが
、本実施例では測定カスの尋人口１５と排出口１６が一
体化された構造となっている。したがって、この実施例
の場合には第５図ｆｂｌに示したように、測定ガスは加
熱された円筒状ガスフィルタ３３０円周を一回転するこ
とになり、測定ガス流に対して導入方向と排出方向を明
確に区分し、より応答性の改良をほどこすためにしきり
板３５が挿入されている。この実施例に示した測定セル
構成を持つ赤外線ガス分析計は、有害ガス、例えば−酸
化炭素を測定成分ガスとするときのように、測定ガスを
外気に放出しないで発生掠に戻す必要があるようなとき
に有効である。
したもので、基本構成は第３図の具体例と同じであるが
、本実施例では測定カスの尋人口１５と排出口１６が一
体化された構造となっている。したがって、この実施例
の場合には第５図ｆｂｌに示したように、測定ガスは加
熱された円筒状ガスフィルタ３３０円周を一回転するこ
とになり、測定ガス流に対して導入方向と排出方向を明
確に区分し、より応答性の改良をほどこすためにしきり
板３５が挿入されている。この実施例に示した測定セル
構成を持つ赤外線ガス分析計は、有害ガス、例えば−酸
化炭素を測定成分ガスとするときのように、測定ガスを
外気に放出しないで発生掠に戻す必要があるようなとき
に有効である。
曾
第６図ｉａｌに第４の実施例に基づい懺測定セルの断面
構造を示す。本実施例においては、第１層フィルタとし
ての繊維あるいは焼結体から成る円筒フィルタ３３の外
側表面に、第２層フィルタとして金網あるいは第１層フ
ィルタよりも目の粗いフィルタ、例えばセラミック焼結
体から成る円筒フィルタ３６を積層した構造になってお
り、その表面部にヒータ３７を配置してフィルタ部全体
を加熱している。この構成により測定ガス中に含まれる
色々な粒径めダストに対してフィルタ層が分級作用な持
りているので、フィルタ部の目づまりの性能但下を防止
し、長寿命化をはかることができる。なお導入口１５、
排出口１６の取付位置については、第３図と同じ構成を
示したが、第４，５図の配置も当然可Ｈじである。
構造を示す。本実施例においては、第１層フィルタとし
ての繊維あるいは焼結体から成る円筒フィルタ３３の外
側表面に、第２層フィルタとして金網あるいは第１層フ
ィルタよりも目の粗いフィルタ、例えばセラミック焼結
体から成る円筒フィルタ３６を積層した構造になってお
り、その表面部にヒータ３７を配置してフィルタ部全体
を加熱している。この構成により測定ガス中に含まれる
色々な粒径めダストに対してフィルタ層が分級作用な持
りているので、フィルタ部の目づまりの性能但下を防止
し、長寿命化をはかることができる。なお導入口１５、
排出口１６の取付位置については、第３図と同じ構成を
示したが、第４，５図の配置も当然可Ｈじである。
以上各種の本発明に基づいた実施例を示したが、本発明
の内容は実施例に限定されるものではなく。
の内容は実施例に限定されるものではなく。
発明の精神の範囲で多くの他の改良をなしえるものであ
り、例えばフィルタ層を３層以上に積層したり、セラミ
ックフィルタの代りに焼結金属フィルタを使用したり、
ヒータを円筒状フィルタの内側に配置しあるいは円筒以
外の形状にしたりすることも可能であり、またシングル
ビーム方式のみでなくダブルビーム方式の赤外線ガス分
析計にも本発明に基づく測定セルは適用可能である。
り、例えばフィルタ層を３層以上に積層したり、セラミ
ックフィルタの代りに焼結金属フィルタを使用したり、
ヒータを円筒状フィルタの内側に配置しあるいは円筒以
外の形状にしたりすることも可能であり、またシングル
ビーム方式のみでなくダブルビーム方式の赤外線ガス分
析計にも本発明に基づく測定セルは適用可能である。
（発明の効果〕
本発明によれば光源部、測定セル部、検出部から成る赤
外線ガス分析計において、測定セルとして基本的には筒
状ガスフィルタ、加熱ヒータ、外部筐体、赤外線透過窓
で構成し、筒状ガスフィルタと内面が同軸な筒状外部筐
体との空間にガスフィルタの円周にそってダストを含む
測定ガスを流すことにより、測定ガス中に含まれるダス
トを効果的に除去し、測定セル内部におけるミストおよ
び水分の露結を防止して、従来の赤外線ガス分析計を利
用するに際して必要とした、ダスト除去、ミスト、水分
除去を含むサンプリング系な必要としないで直接測定を
可能にした赤外線ガス分析計を提供するもので、高精度
、高速応答性を要求する分野への適用に際してトータル
コストとじて低価格の赤外線分析計となる。
外線ガス分析計において、測定セルとして基本的には筒
状ガスフィルタ、加熱ヒータ、外部筐体、赤外線透過窓
で構成し、筒状ガスフィルタと内面が同軸な筒状外部筐
体との空間にガスフィルタの円周にそってダストを含む
測定ガスを流すことにより、測定ガス中に含まれるダス
トを効果的に除去し、測定セル内部におけるミストおよ
び水分の露結を防止して、従来の赤外線ガス分析計を利
用するに際して必要とした、ダスト除去、ミスト、水分
除去を含むサンプリング系な必要としないで直接測定を
可能にした赤外線ガス分析計を提供するもので、高精度
、高速応答性を要求する分野への適用に際してトータル
コストとじて低価格の赤外線分析計となる。
第１図は従来のシングルビーム方式赤外線ガス分析計の
構成図、第２図は従来の赤外線ガス分析計に１４ｉいら
れるサンプリング系の系統図、第３図（ａ）。 ：第Δ図ｔｂｔ Ｖｉ本発明に基づく赤外線ガス分析計
に適用される測定セルの一実施例を示す断面図、第４図
（ａ）、第４図ｆｂｌ、第５図（ａ）、第５図ｆｂｌお
よび第６図（ａ）、第６図（ｂｌは本発明に基づく赤外
線ガス分析計に適用されろ測定セルの他の実施例を示す
断面図もしくは正面図である。 １・・赤外線光源部、２・・・赤外線光源、４・・・測
定セル、５・・・検出部、３０ 、 ：３１・・・赤外
線透過窓部、３３・・・円筒状ガスフィルタ、３４・・
・円筒状外筐体、あ・・・仕切板、３６・・・金網状フ
ィルタ、３７・・・ヒータ、羽、３９・・・ヒータ端子
、４０・・・測温体、４１．４２・・・測温体端子。 ７３ 図 ＜（１） ７ ３ ｍ （ｂ） じｒ ４ 図 （ａ） ７４ 圓 （ｂ） ＴＳ＠（をン□ン ？５ 図 （ｂ） 才 乙 ｇ （ａ） ７ ６ １回 （ｂ）
構成図、第２図は従来の赤外線ガス分析計に１４ｉいら
れるサンプリング系の系統図、第３図（ａ）。 ：第Δ図ｔｂｔ Ｖｉ本発明に基づく赤外線ガス分析計
に適用される測定セルの一実施例を示す断面図、第４図
（ａ）、第４図ｆｂｌ、第５図（ａ）、第５図ｆｂｌお
よび第６図（ａ）、第６図（ｂｌは本発明に基づく赤外
線ガス分析計に適用されろ測定セルの他の実施例を示す
断面図もしくは正面図である。 １・・赤外線光源部、２・・・赤外線光源、４・・・測
定セル、５・・・検出部、３０ 、 ：３１・・・赤外
線透過窓部、３３・・・円筒状ガスフィルタ、３４・・
・円筒状外筐体、あ・・・仕切板、３６・・・金網状フ
ィルタ、３７・・・ヒータ、羽、３９・・・ヒータ端子
、４０・・・測温体、４１．４２・・・測温体端子。 ７３ 図 ＜（１） ７ ３ ｍ （ｂ） じｒ ４ 図 （ａ） ７４ 圓 （ｂ） ＴＳ＠（をン□ン ？５ 図 （ｂ） 才 乙 ｇ （ａ） ７ ６ １回 （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）赤外線光源部、測定セル部および赤外線検出部より
構成され、測定ガスによる赤外線吸収量から測定成分ガ
スの濃度を測定する赤外線ガス分析針において、測定セ
ル部をヒータにより所定の温らに前記外筐体の両側面に
赤外線透過窓を配置するとともに、前記筒状フィルタと
外筐体の間隙に筒状フィルタの外周にそって測定ガスを
流すことを特徴とする赤外線ガス分析計。 ２、特許請求の範囲第１項記載の赤外線ガス分析計にお
いて、測定セルのフィルタは筒状の繊維質あるいは多孔
質焼結体からなる第１層と、その外表面を覆う筒状の金
網あるいは第１層よりも目の粗い焼結体からなる第２層
との積層構造を持ち、その表面にヒータを巻回してなる
ことを特徴とする赤外線ガス分析計。 ３）特許請求の範囲第１またＦｉ第第２記記記載赤外線
ガス分析計において、前記加熱ヒータによりフィルタ部
温度が一定に制御されることを特徴とする赤外線ガス分
析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214443A JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58214443A JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60105947A true JPS60105947A (ja) | 1985-06-11 |
| JPS649569B2 JPS649569B2 (ja) | 1989-02-17 |
Family
ID=16655855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58214443A Granted JPS60105947A (ja) | 1983-11-15 | 1983-11-15 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60105947A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0414446A3 (en) * | 1989-08-19 | 1991-09-25 | Engine Test Technique Limited | Gas analysis |
| US5163332A (en) * | 1990-04-02 | 1992-11-17 | Gaztech International Corporation | Gas sample chamber |
| US5222389A (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-29 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| CN103245616A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 利得仪器股份有限公司 | 环境监测的光径量测反射装置 |
-
1983
- 1983-11-15 JP JP58214443A patent/JPS60105947A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0414446A3 (en) * | 1989-08-19 | 1991-09-25 | Engine Test Technique Limited | Gas analysis |
| US5163332A (en) * | 1990-04-02 | 1992-11-17 | Gaztech International Corporation | Gas sample chamber |
| WO1993011418A1 (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-10 | Gaztech International Corporation | Improved gas sample chamber |
| US5222389A (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-29 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| AU658855B2 (en) * | 1990-04-02 | 1995-05-04 | Gaztech International Corporation | Improved gas sample chamber |
| WO1993013401A1 (en) * | 1991-12-31 | 1993-07-08 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| CN103245616A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 利得仪器股份有限公司 | 环境监测的光径量测反射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS649569B2 (ja) | 1989-02-17 |
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