JPS60106341U - 指標付きウエハキヤリア - Google Patents
指標付きウエハキヤリアInfo
- Publication number
- JPS60106341U JPS60106341U JP19832483U JP19832483U JPS60106341U JP S60106341 U JPS60106341 U JP S60106341U JP 19832483 U JP19832483 U JP 19832483U JP 19832483 U JP19832483 U JP 19832483U JP S60106341 U JPS60106341 U JP S60106341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- index
- abstract
- carrier
- indicators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェハキャリアを説明するための外観図
、第２図は本考案によるウェハキャリアの外観図である
。 １．１′・・・ウェハキャリア、２，２′・・・ウニハ
ス、３′・・・つ′エバキャリアを認識するための穴。
、第２図は本考案によるウェハキャリアの外観図である
。 １．１′・・・ウェハキャリア、２，２′・・・ウニハ
ス、３′・・・つ′エバキャリアを認識するための穴。
Claims (1)
- ウェハキャリアの一部に凸型又は凹型の型状をした指標
を複数個設け、前記指標を組み合わせる事によりキャリ
アを特定するようにしたことを特徴とするウェハキャリ
ア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19832483U JPS60106341U (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 指標付きウエハキヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19832483U JPS60106341U (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 指標付きウエハキヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60106341U true JPS60106341U (ja) | 1985-07-19 |
Family
ID=30757215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19832483U Pending JPS60106341U (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 指標付きウエハキヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60106341U (ja) |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP19832483U patent/JPS60106341U/ja active Pending
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