JPS6010905U - サ−ボバルブ - Google Patents

サ−ボバルブ

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JPS6010905U
JPS6010905U JP1983103161U JP10316183U JPS6010905U JP S6010905 U JPS6010905 U JP S6010905U JP 1983103161 U JP1983103161 U JP 1983103161U JP 10316183 U JP10316183 U JP 10316183U JP S6010905 U JPS6010905 U JP S6010905U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
servo valve
fluid
valve
pressure
introducing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1983103161U
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English (en)
Inventor
英文 斎藤
三郎 佐々木
末藤　敏一
中務　栄治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6010905U publication Critical patent/JPS6010905U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示す概略断面図である。 ４・・・・・・サーボバルブ、１４・・・・・・供給流
路、１５・・・・・・排出流路、１６・・・・・・弁体
（スプール）、１７゜１８・・・・・・コントロール室
、２４．　２５−−−−−−コントロール圧導入路、２
６．２７・・・・・・連通路、２８゜２９・・・・・・
流量制御弁、３１．３２・・・・・・圧電セラミック。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. コントロール室に流体を導入しその圧により弁体を偏位
    させてアクチュエータ等に供給すべき作動流体の流量あ
    るいは圧力を制御するようにしたサーボバルブにおいて
    、前記コントロール室に流体を導入するための導入路に
    、流体を排出するための連通路を接続するとともに、こ
    の連通路に圧電セラミックの変形を利用して開閉する流
    量制御弁を介設したことを特徴とするサーボバルブ。
JP1983103161U 1983-06-30 1983-06-30 サ−ボバルブ Pending JPS6010905U (ja)

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JP1983103161U JPS6010905U (ja) 1983-06-30 1983-06-30 サ−ボバルブ

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JP1983103161U JPS6010905U (ja) 1983-06-30 1983-06-30 サ−ボバルブ

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JPS6010905U true JPS6010905U (ja) 1985-01-25

Family

ID=30242826

Family Applications (1)

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JP1983103161U Pending JPS6010905U (ja) 1983-06-30 1983-06-30 サ−ボバルブ

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JP (1) JPS6010905U (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS496043A (ja) * 1971-06-04 1974-01-19
JPS49111226A (ja) * 1973-02-06 1974-10-23
JPS5794176A (en) * 1980-10-01 1982-06-11 Daimler Benz Ag Electrically driven operation device
JPS57173604A (en) * 1981-04-17 1982-10-26 Kayaba Ind Co Ltd Proportional control solenoid valve

Patent Citations (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS57173604A (en) * 1981-04-17 1982-10-26 Kayaba Ind Co Ltd Proportional control solenoid valve

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