JPS60111047U - ウエハ加熱用ホルダ - Google Patents
ウエハ加熱用ホルダInfo
- Publication number
- JPS60111047U JPS60111047U JP20190283U JP20190283U JPS60111047U JP S60111047 U JPS60111047 U JP S60111047U JP 20190283 U JP20190283 U JP 20190283U JP 20190283 U JP20190283 U JP 20190283U JP S60111047 U JPS60111047 U JP S60111047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer heating
- heating holder
- holder
- wafer
- resistance wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ断面図を示す。 １・・・ホルダ、２・・・加熱ヒータ、３・・・ウェハ
、４・・・抵抗線、７・・・電源、８・・・電流計。
Ａ−Ａ断面図を示す。 １・・・ホルダ、２・・・加熱ヒータ、３・・・ウェハ
、４・・・抵抗線、７・・・電源、８・・・電流計。
Claims (1)
- 被加熱ウェハを保持し、加熱手段が設けられているホル
ダに抵抗線を固定し、該抵抗線に流れる電流値を測定す
る手段を設けたウェハ加熱用ホルダの温度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20190283U JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20190283U JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60111047U true JPS60111047U (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=30764118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20190283U Pending JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60111047U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04101381A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱装置 |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20190283U patent/JPS60111047U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04101381A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱装置 |
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