JPS60111219A - コリメ−ト光学装置 - Google Patents
コリメ−ト光学装置Info
- Publication number
- JPS60111219A JPS60111219A JP58218706A JP21870683A JPS60111219A JP S60111219 A JPS60111219 A JP S60111219A JP 58218706 A JP58218706 A JP 58218706A JP 21870683 A JP21870683 A JP 21870683A JP S60111219 A JPS60111219 A JP S60111219A
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- JP
- Japan
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- light source
- collimating
- light
- lens
- stem
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/30—Collimators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はコリメート光学装置に係り、特に光学的情報読
取装置などに使用して好適なコリメート光学装置に関す
るものである。
取装置などに使用して好適なコリメート光学装置に関す
るものである。
ディジタルオーディオディスク（ＤＡＤ）、ビデオディ
スク（ＶＤ）やコンパクトディスク（ＣＤ）等の光学的
記録媒体上に餉状に記録された情報１対物レンズを介し
て光学的に読取る光学的情報読取装置（光ビックアンプ
装置）は通常第１図に示すような構成を有している。
スク（ＶＤ）やコンパクトディスク（ＣＤ）等の光学的
記録媒体上に餉状に記録された情報１対物レンズを介し
て光学的に読取る光学的情報読取装置（光ビックアンプ
装置）は通常第１図に示すような構成を有している。
即ち、光源（１）より放射された光ビーム（ｌａ）はコ
リメートレンズ（２）、偏光ビームスプリッタ（３１、
１／４波長板（４）を通過し対物レンズ（５）で収束さ
れ、光学的記録媒体（６）の記録面上に微小スポットを
結ぶ。
リメートレンズ（２）、偏光ビームスプリッタ（３１、
１／４波長板（４）を通過し対物レンズ（５）で収束さ
れ、光学的記録媒体（６）の記録面上に微小スポットを
結ぶ。
この記録面上より反射された光束（ｌｂ）は光路な逆行
し対物レンズ（１）を通過後、１／４波長板（４）偏光
ビームスプリッタ（３）、集束レンズ系（７）を透過し
て光検出器（８月二導かれ、光電変換されて電気信号と
なる。この電気信号からはピットの有無の信号と、記録
面と対物レンズ（５）との間の位置情報信号が得られる
ようになっている。
し対物レンズ（１）を通過後、１／４波長板（４）偏光
ビームスプリッタ（３）、集束レンズ系（７）を透過し
て光検出器（８月二導かれ、光電変換されて電気信号と
なる。この電気信号からはピットの有無の信号と、記録
面と対物レンズ（５）との間の位置情報信号が得られる
ようになっている。
この光学的情報読取り装置のうち、光源（１）とコリメ
ートレンズ（２）は同じ鏡胴に装着されてコシメート光
学装置を構成し、特に収束レンズ系（７）に入射させる
波面収差量の少ないコリメート光を得るようになされて
いる。
ートレンズ（２）は同じ鏡胴に装着されてコシメート光
学装置を構成し、特に収束レンズ系（７）に入射させる
波面収差量の少ないコリメート光を得るようになされて
いる。
次に従来例として実開昭５８−７５３４７号公報に示さ
れているコリメート光学装置の概略構成を第２図により
説明する。
れているコリメート光学装置の概略構成を第２図により
説明する。
鏡胴（９）にレーザダイオードなどの発光半導体素子か
らなる光源αυを押え環ａＱ）を用いて固定させる。
らなる光源αυを押え環ａＱ）を用いて固定させる。
更にコリメートレンズ（Ｉりとカバーガラス（１３１を
所定の位置に配設し、光源Ｕからの光ビームを平行光束
Ｉとして取り出すようになされている。この光源αＤは
ステム（１１１） 、ヒートシンク（ｌｉｔ） 、発光
半導体素子（１１１） 、パッケージシェル（１１４）
と光学的透明体からなる窓（ＩＩｌ＋）から構成されて
いる。
所定の位置に配設し、光源Ｕからの光ビームを平行光束
Ｉとして取り出すようになされている。この光源αＤは
ステム（１１１） 、ヒートシンク（ｌｉｔ） 、発光
半導体素子（１１１） 、パッケージシェル（１１４）
と光学的透明体からなる窓（ＩＩｌ＋）から構成されて
いる。
このうち、パッケージシェル（１１４）と窓（ｌｌｓ）
、及びパッケージシェル（１１，）とステム（１１，）
は溶接、ガラス封止、接着剤により接合されて気密封止
されており、この気密封止の機能としては発光半導体素
子（ＩＩｓ） ’ｌ酸素、炭酸ガス、水分などの影響に
よる寿命劣化を防止するため、例えばＭＸ、アルゴンな
どの不活性ガスを封じ込めておくためである。
、及びパッケージシェル（１１，）とステム（１１，）
は溶接、ガラス封止、接着剤により接合されて気密封止
されており、この気密封止の機能としては発光半導体素
子（ＩＩｓ） ’ｌ酸素、炭酸ガス、水分などの影響に
よる寿命劣化を防止するため、例えばＭＸ、アルゴンな
どの不活性ガスを封じ込めておくためである。
しかるに、このコシメート光学装置においては次の様な
問題点がある。
問題点がある。
即ち、光学的記録媒体の記録向上に微小スポットに絞り
込む場合を考えて見た場合、入射光束パラメータをＫ、
光源波長なλ、収束レンズの開口数を８人、微少スポッ
ト部振幅最大値のｌ／ｅ”の径値なＳとすれば Ｓ撃に、λ／ＮＡ ・・・・・曲（１１で表わされるの
で、記録面上の微小スポットは入射光束パラメータＫに
より影響を受けることになり、入射光束の良否、坤ち波
面収差が大きくなる図の構成では次の４つに分けられる
。
込む場合を考えて見た場合、入射光束パラメータをＫ、
光源波長なλ、収束レンズの開口数を８人、微少スポッ
ト部振幅最大値のｌ／ｅ”の径値なＳとすれば Ｓ撃に、λ／ＮＡ ・・・・・曲（１１で表わされるの
で、記録面上の微小スポットは入射光束パラメータＫに
より影響を受けることになり、入射光束の良否、坤ち波
面収差が大きくなる図の構成では次の４つに分けられる
。
（１）光源（１１４）自身の非点収差・・・・・・・・
値Φ、（２） 窓（ＩＩｓ）による生として球面、非点
収差・・・・・・・・・ΔΦ！ （３） コリメートレンズａａによる球面、コマ、非点
収差・・・・・・・・・ΔΦ。
値Φ、（２） 窓（ＩＩｓ）による生として球面、非点
収差・・・・・・・・・ΔΦ！ （３） コリメートレンズａａによる球面、コマ、非点
収差・・・・・・・・・ΔΦ。
（４） カバーガラスａ迦による収差・・山・・・・Δ
Φ４これらの波面収差ΔΦ１．ΔΦ！、ΔΦ８．ΔΦ４
の実効的値（ＲＭ８（ａ）は例えばＣＤのリコメンデ
ーションスペック（ソニー・フィリップスより８５８゜
４提案）より検討すると、光学系の構成によっても違う
がコリメート光学装置に許容される波面収差量はＲＭａ
値で０．０３５λ以下となる。そこで実用限界値より波
面収差量を分配してみると次のようになる。
Φ４これらの波面収差ΔΦ１．ΔΦ！、ΔΦ８．ΔΦ４
の実効的値（ＲＭ８（ａ）は例えばＣＤのリコメンデ
ーションスペック（ソニー・フィリップスより８５８゜
４提案）より検討すると、光学系の構成によっても違う
がコリメート光学装置に許容される波面収差量はＲＭａ
値で０．０３５λ以下となる。そこで実用限界値より波
面収差量を分配してみると次のようになる。
光源例えばレーデダイオード（ＬＤ）では戻り−Ｗ−１
−？ λ ｂｉＬｇ Ｍ ＆ ｈ＊ Ｍ ｔｈ ｗ −
ｈ−１１Ｍ ＩＪ Ｔ、Ｔｌ ｖ−Ｍ ｙ Ｍに非点隔
差（Δ２）が有り、その値は約８±２μｍ程度と実測さ
れた。波長は絞り込みと収束レンズ系の８人とで略０．
７８μｍとした場合のコリメート光学装置による波面収
差量ΔΦ、は次の第２式で表わされる。
−？ λ ｂｉＬｇ Ｍ ＆ ｈ＊ Ｍ ｔｈ ｗ −
ｈ−１１Ｍ ＩＪ Ｔ、Ｔｌ ｖ−Ｍ ｙ Ｍに非点隔
差（Δ２）が有り、その値は約８±２μｍ程度と実測さ
れた。波長は絞り込みと収束レンズ系の８人とで略０．
７８μｍとした場合のコリメート光学装置による波面収
差量ΔΦ、は次の第２式で表わされる。
ΔΦ＞”ｉ”（Ｎ人コリメート）２ｘΔ２ ・・・・・
・・・・（２）この第２式を変形してコリメートレンズ
のＮムをめると ＮＡ＝（４ＸＡＯｔ／ ΔＺ）Ｖ２ ＝（４Ｘ０．０３
Ｘ０．７＆”−％（６〜７ン）シタ＝Ｏ，１２５〜ｏ、
ｏ９６ｆ″″ となる。
・・・・（２）この第２式を変形してコリメートレンズ
のＮムをめると ＮＡ＝（４ＸＡＯｔ／ ΔＺ）Ｖ２ ＝（４Ｘ０．０３
Ｘ０．７＆”−％（６〜７ン）シタ＝Ｏ，１２５〜ｏ、
ｏ９６ｆ″″ となる。
一方、他の波面収差量は研磨精度と装着時の歪などによ
るところが大きく、試作評価結果からほぼ下記の値がコ
ストを含めた性能で実用限界と考えられる。
るところが大きく、試作評価結果からほぼ下記の値がコ
ストを含めた性能で実用限界と考えられる。
ΔＯｔ＝ ｏ、ｏ ２ Ａ ”Ｓ、Δ０１ ” ０．０
１５ Ａ ＲＭ ８、Δｏ、ｏ、ｏ ｌλ瓶ｓこ忘、′
）の合算波面収差量ΔΦｅ（ΔΦ−＋ΔΦ−十ΔΦｊ＋
會：当とすると、ΔΦ、＝０．０４０３λＲＭＳとなり
、コリメート光学装置の総合性能としては厳しく、更に
波面収差量を低下させなければからかいへ〔発明の目的
〕 本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり波面
収差量を低下させた高性能のコリメート光学装置を提供
することを目的としている。
１５ Ａ ＲＭ ８、Δｏ、ｏ、ｏ ｌλ瓶ｓこ忘、′
）の合算波面収差量ΔΦｅ（ΔΦ−＋ΔΦ−十ΔΦｊ＋
會：当とすると、ΔΦ、＝０．０４０３λＲＭＳとなり
、コリメート光学装置の総合性能としては厳しく、更に
波面収差量を低下させなければからかいへ〔発明の目的
〕 本発明は上述した問題点に鑑みなされたものであり波面
収差量を低下させた高性能のコリメート光学装置を提供
することを目的としている。
即ち本発明は発光半導体素子からなる光源と、この光源
からの光ビームを平行な光束とするコリメートレンズと
、光源及びコリメートレンズを装着する鏡胴とを少くと
も具備するコリメート光学９ｋにおいて、光源からコリ
メートレンズに至る光ｔ°−ムの光路に光学的透明体が
装着されてないことを特徴とするコリメート光学装置で
あり、光源が少くともステム、ヒートシンク及びレーザ
ダイオードチップの構成部品からなり、ステムと鏡胴と
が気密封止されていること、コリメートレンズが１枚の
レンズからなり、かつカバーガラスが装着されていない
こと、鏡胴がプラスチックの成形物からなることを実施
態様としている。
からの光ビームを平行な光束とするコリメートレンズと
、光源及びコリメートレンズを装着する鏡胴とを少くと
も具備するコリメート光学９ｋにおいて、光源からコリ
メートレンズに至る光ｔ°−ムの光路に光学的透明体が
装着されてないことを特徴とするコリメート光学装置で
あり、光源が少くともステム、ヒートシンク及びレーザ
ダイオードチップの構成部品からなり、ステムと鏡胴と
が気密封止されていること、コリメートレンズが１枚の
レンズからなり、かつカバーガラスが装着されていない
こと、鏡胴がプラスチックの成形物からなることを実施
態様としている。
次に本発明のコリメート光学装置の一実施例を第３図に
より説明する。。
より説明する。。
即ち、ｍ ｆＩＩｌ（１’Ｊにレーザダイオードなどの
発光半導体素子からなる光源ｃ！Ｄを押え環翰を用いて
固定させる。更にコリメートレンズ四を所定の位置に配
設し、光源ｃ！Ｄからの光ビームを平行光束し士として
取り出すようになっている。この光源０１１はステム（
２１１）、ヒートシンク（２１Ｊ 、発光半導体素子（
２１３）からなり、パッケージシェルと光学的透明体か
らなる窓はない。またステＡ （２１１）にはモニタの
為のフォトダイオード（２１４）が設けられており、こ
れら発光半導体素子＜ＺＸＳ）のドライブ及びフォトダ
イオード（２１４）によるモニタ信号のためにはステム
（２１１）に絶縁物を介して貫通植設されたステムピン
（２１ｇ）に嵌合されるコネクタ（ハ）を介して電気回
路と結合されている。
発光半導体素子からなる光源ｃ！Ｄを押え環翰を用いて
固定させる。更にコリメートレンズ四を所定の位置に配
設し、光源ｃ！Ｄからの光ビームを平行光束し士として
取り出すようになっている。この光源０１１はステム（
２１１）、ヒートシンク（２１Ｊ 、発光半導体素子（
２１３）からなり、パッケージシェルと光学的透明体か
らなる窓はない。またステＡ （２１１）にはモニタの
為のフォトダイオード（２１４）が設けられており、こ
れら発光半導体素子＜ＺＸＳ）のドライブ及びフォトダ
イオード（２１４）によるモニタ信号のためにはステム
（２１１）に絶縁物を介して貫通植設されたステムピン
（２１ｇ）に嵌合されるコネクタ（ハ）を介して電気回
路と結合されている。
叩ち、本実施例に通用するコリメート光学装置の構成は
従来のコシメート光学装置からパッケージシェル、光学
的透明体からなる窓、及びカバーガラスを除去したこと
である。
従来のコシメート光学装置からパッケージシェル、光学
的透明体からなる窓、及びカバーガラスを除去したこと
である。
このうち、窓をなくシ１発光半導体素子（２１０の気密
封止をステム（２１，） Ｍ胴四、コリメートレンズＣ
２４によって形成する技術は発明者らの実験により、発
光半導体素子（２１ｓ）の寿命劣化防止策としてのパッ
ケージシェル、窓を除去し、突気中においても寿命、そ
の他の特性に劣化が見られなく、実用レベルに耐えるこ
とが確認された遅出によるものである。
封止をステム（２１，） Ｍ胴四、コリメートレンズＣ
２４によって形成する技術は発明者らの実験により、発
光半導体素子（２１ｓ）の寿命劣化防止策としてのパッ
ケージシェル、窓を除去し、突気中においても寿命、そ
の他の特性に劣化が見られなく、実用レベルに耐えるこ
とが確認された遅出によるものである。
この結果、＄３図のコリメート光学装置においては窓が
なくなったため波面収差量ΔΦ！は零となり、またカバ
ーガラスがないためΔΦ４も０となる。
なくなったため波面収差量ΔΦ！は零となり、またカバ
ーガラスがないためΔΦ４も０となる。
更に重要なことは、発光半導体素子（２１−の遠視野像
（ＦＦＰ）（装置分布特性）が第２図のコシメート光学
装置のラジアル方向位！（Ｌ）で第４図（ａｌの曲線（
ハ）であったものが第３図のコリメート光学装置のラジ
アル方向位置（ＹＪで第４図（ｂ）の曲線翰に変化した
点であり、ｔａ）図のＦＦＰには大きな３〜３０％程度
のリップルが発生しやす＜ 、（ｂ）図（ＤＦＦＰには
全くリップルがなくなったことである。このリップルは
窓の表裏面による光の干渉による本のが士ｌ＊ｌ〒本−
３−ｆｉ１ｍ空の書面に細躍す入反射防止膜のつき方、
製作工程における取り扱いによる汚染によるものであり
窓を除去することによりＦＦＰを極めて良好にすること
ができた。またコリメートレンズを複合レンズより１枚
のレンズにすることも効果がある。
（ＦＦＰ）（装置分布特性）が第２図のコシメート光学
装置のラジアル方向位！（Ｌ）で第４図（ａｌの曲線（
ハ）であったものが第３図のコリメート光学装置のラジ
アル方向位置（ＹＪで第４図（ｂ）の曲線翰に変化した
点であり、ｔａ）図のＦＦＰには大きな３〜３０％程度
のリップルが発生しやす＜ 、（ｂ）図（ＤＦＦＰには
全くリップルがなくなったことである。このリップルは
窓の表裏面による光の干渉による本のが士ｌ＊ｌ〒本−
３−ｆｉ１ｍ空の書面に細躍す入反射防止膜のつき方、
製作工程における取り扱いによる汚染によるものであり
窓を除去することによりＦＦＰを極めて良好にすること
ができた。またコリメートレンズを複合レンズより１枚
のレンズにすることも効果がある。
次に本発明のコリメート光学装置の変形例を第５図によ
り説明する。図中第３図と同一符号は同一部を示し、特
に説明しない。
り説明する。図中第３図と同一符号は同一部を示し、特
に説明しない。
即ち、発光半導体素子（２１ｓ）からの光ビームを反射
鏡（ハ）で波面分割し工左右２方向に光路女史し、コリ
メートレンズ（２２ｘ）、（２２ｚ）によって平行な光
束として投射するものである。
鏡（ハ）で波面分割し工左右２方向に光路女史し、コリ
メートレンズ（２２ｘ）、（２２ｚ）によって平行な光
束として投射するものである。
このコリメート光学装置は高精度位置決めを必要とする
光学系を組立てる場合に従来のコリメータのように１８
０°回転をする必要もなく簡更に光軸調整ができる特徴
があるし、また同一波長で左右２系統の光学評価系が組
めることも特徴の一つである。
光学系を組立てる場合に従来のコリメータのように１８
０°回転をする必要もなく簡更に光軸調整ができる特徴
があるし、また同一波長で左右２系統の光学評価系が組
めることも特徴の一つである。
前記実施例及び変形例では鏡胴の材質については特に説
明しなかったが、金属は加工などのためコスト高になる
のでプラスチックの成形物にすることにより安価にする
ことができる。
明しなかったが、金属は加工などのためコスト高になる
のでプラスチックの成形物にすることにより安価にする
ことができる。
本発明のコリメート光学装置は次のような効果がある。
第１図に波面収差量を０．０３５λＲＭ８以下に押える
ことができる。第２にコリメート出射光束の光量分布が
均一になり、リップル等の雑音成分を低減させることが
できる。第３にパツクージシェル、窓の製作工程の省力
化及び低価格化ができる。第４に小型軽量で取り扱い性
が良い。
ことができる。第２にコリメート出射光束の光量分布が
均一になり、リップル等の雑音成分を低減させることが
できる。第３にパツクージシェル、窓の製作工程の省力
化及び低価格化ができる。第４に小型軽量で取り扱い性
が良い。
第１図は光学的情報読取装置の概略説明内、第２図は従
来のコリメート光学装置の断面図、第３図は本発明のコ
リメート光学装置の一実施例の断面図、第４図は従来と
実施例の光量分布特性を対比して示す図であり、第４図
（ａ）は従来の光量分布特性を示す曲線図、第４図（ｂ
ｌは実施例の光量分布特性を示す曲線図、第５図は本発
明のコリメート光学装置の敦形例の１ＩＩ１１ｉＩ図で
ある。 １ 、１１．２１・・・光源、 ２．１２，２２．２１１．２２ｚ・−・コリメートレン
ズ９．１９・・・鏡胴、 ｔｌ５．２１．・・・発光半
導体素子、 １３・−・カバーガラス、 １４．２４−２４１ 、２４ｔ・・−平行光束、２５・
−・反射鏡 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 ／１ 第 ３ 図 １ 第 ４ 図 （１２） （ｂ） 第５図
来のコリメート光学装置の断面図、第３図は本発明のコ
リメート光学装置の一実施例の断面図、第４図は従来と
実施例の光量分布特性を対比して示す図であり、第４図
（ａ）は従来の光量分布特性を示す曲線図、第４図（ｂ
ｌは実施例の光量分布特性を示す曲線図、第５図は本発
明のコリメート光学装置の敦形例の１ＩＩ１１ｉＩ図で
ある。 １ 、１１．２１・・・光源、 ２．１２，２２．２１１．２２ｚ・−・コリメートレン
ズ９．１９・・・鏡胴、 ｔｌ５．２１．・・・発光半
導体素子、 １３・−・カバーガラス、 １４．２４−２４１ 、２４ｔ・・−平行光束、２５・
−・反射鏡 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 ／１ 第 ３ 図 １ 第 ４ 図 （１２） （ｂ） 第５図
Claims (4)
- （１） 発光半尊体素子からなる光源と、前記光源から
の光ビームを平行な光束とするコリメートレンズと、前
記光源及びコリメートレンズを装着する鏡）胸とを少な
くとも具備するコリメート光学装置において、前記光源
からコリメートレンズに至る光ビームの光路に光学的透
明体が装着されていないことを特徴とするコリメート光
学装置。 - （２） 光源が少くともステム、ヒートシンク及びレー
ザダイオードチップの構成部品からなり、前記ステＡと
鏡胴とが気密封止されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のコリメート光学装置。 - （３） コリメートレンズが１枚のレンズからなり、か
つカバーガラスが装置されていないことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のコリメート光学装ｈ０ - （４）鏡胴がプラスチックの成形物からなることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のコリメート光学装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58218706A JPS60111219A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | コリメ−ト光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58218706A JPS60111219A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | コリメ−ト光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60111219A true JPS60111219A (ja) | 1985-06-17 |
Family
ID=16724142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58218706A Pending JPS60111219A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | コリメ−ト光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60111219A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010069268A (ko) * | 2001-02-24 | 2001-07-25 | 최원하 | 개선된 레이저 무선 광통신 시스템의 송수신 장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56144411A (en) * | 1980-04-14 | 1981-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | Collimating optical system |
| JPS5717165B1 (ja) * | 1970-11-30 | 1982-04-09 | ||
| JPS5828886A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レ−ザ光束の偏向装置 |
-
1983
- 1983-11-22 JP JP58218706A patent/JPS60111219A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5717165B1 (ja) * | 1970-11-30 | 1982-04-09 | ||
| JPS56144411A (en) * | 1980-04-14 | 1981-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | Collimating optical system |
| JPS5828886A (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レ−ザ光束の偏向装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010069268A (ko) * | 2001-02-24 | 2001-07-25 | 최원하 | 개선된 레이저 무선 광통신 시스템의 송수신 장치 |
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