JPS60117858U - 真空シ−ル - Google Patents
真空シ−ルInfo
- Publication number
- JPS60117858U JPS60117858U JP250084U JP250084U JPS60117858U JP S60117858 U JPS60117858 U JP S60117858U JP 250084 U JP250084 U JP 250084U JP 250084 U JP250084 U JP 250084U JP S60117858 U JPS60117858 U JP S60117858U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum seal
- seal
- sealing material
- tough
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の連続真空装置の断面図、第２図および第
３図はそれぞれ第１図の連続真空装置のシールに用いる
パレットの斜視図、第４図はこの゛考案の真空シールの
一実施例の斜視図、第５図はこの考案の真空シールのシ
ール材の部分の拡大断面図である。 １・・・・・・パレット、１ｄ・・・・・・シール材。
３図はそれぞれ第１図の連続真空装置のシールに用いる
パレットの斜視図、第４図はこの゛考案の真空シールの
一実施例の斜視図、第５図はこの考案の真空シールのシ
ール材の部分の拡大断面図である。 １・・・・・・パレット、１ｄ・・・・・・シール材。
Claims (1)
- バルブを用いない真空槽を使用する連続真空装置におい
て、真空を形成する壁に対して垂直に薄い板のシール材
を５靭パレットに植設してなることを特徴とする真空シ
ール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP250084U JPS60117858U (ja) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | 真空シ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP250084U JPS60117858U (ja) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | 真空シ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117858U true JPS60117858U (ja) | 1985-08-09 |
| JPH0322272Y2 JPH0322272Y2 (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=30476235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP250084U Granted JPS60117858U (ja) | 1984-01-12 | 1984-01-12 | 真空シ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60117858U (ja) |
-
1984
- 1984-01-12 JP JP250084U patent/JPS60117858U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322272Y2 (ja) | 1991-05-15 |
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