JPS6012189U - スピン型乾燥機 - Google Patents
スピン型乾燥機Info
- Publication number
- JPS6012189U JPS6012189U JP10207083U JP10207083U JPS6012189U JP S6012189 U JPS6012189 U JP S6012189U JP 10207083 U JP10207083 U JP 10207083U JP 10207083 U JP10207083 U JP 10207083U JP S6012189 U JPS6012189 U JP S6012189U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin dryer
- rotor
- type dryer
- spin type
- globe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のスピン乾燥機を示す断面図。第２図は本
考案の一実施例を示す断面図。第３図は第２図における
要部の説明断面図。 １・・・キャリアパケット、２・・・ウェファ、３・・
・キャリア、４・・・上蓋、８・・・ローター、９・・
・グローブ、１１・・・排水管、１２・・・供給管、１
３・・・排気管１、θ・・・グローブ傾斜角、Ａ、 Ｂ
、 Ｃ・・・キャリア３の上部、中部及び下部、ａ、
ｂ、 ｃ・・・Ａ； Ｂ、 Ｃから飛び出した水滴
の軌跡、ａ’、ｂ’、Ｃ’・・・Ａ。 Ｂ、 Ｃからの遠心力による風の方向。
考案の一実施例を示す断面図。第３図は第２図における
要部の説明断面図。 １・・・キャリアパケット、２・・・ウェファ、３・・
・キャリア、４・・・上蓋、８・・・ローター、９・・
・グローブ、１１・・・排水管、１２・・・供給管、１
３・・・排気管１、θ・・・グローブ傾斜角、Ａ、 Ｂ
、 Ｃ・・・キャリア３の上部、中部及び下部、ａ、
ｂ、 ｃ・・・Ａ； Ｂ、 Ｃから飛び出した水滴
の軌跡、ａ’、ｂ’、Ｃ’・・・Ａ。 Ｂ、 Ｃからの遠心力による風の方向。
Claims (1)
- グ冶−ブ内にローターと該ローターに固定されたキャリ
アパケットを有するスピン型乾燥機において、前記グロ
ーブの内壁は上部の口径よりも下部の口径が大きく円錐
状に形成されていることを特徴とするスピン型乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207083U JPS6012189U (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | スピン型乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207083U JPS6012189U (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | スピン型乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6012189U true JPS6012189U (ja) | 1985-01-26 |
Family
ID=30240763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10207083U Pending JPS6012189U (ja) | 1983-07-02 | 1983-07-02 | スピン型乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6012189U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5528419A (en) * | 1978-08-16 | 1980-02-29 | Ihara Chikuro Kogyo Kk | Conveyor of matter to be incinerated in incinerator |
-
1983
- 1983-07-02 JP JP10207083U patent/JPS6012189U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5528419A (en) * | 1978-08-16 | 1980-02-29 | Ihara Chikuro Kogyo Kk | Conveyor of matter to be incinerated in incinerator |
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