JPS60122841U - 光計測装置 - Google Patents

光計測装置

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JPS60122841U
JPS60122841U JP934084U JP934084U JPS60122841U JP S60122841 U JPS60122841 U JP S60122841U JP 934084 U JP934084 U JP 934084U JP 934084 U JP934084 U JP 934084U JP S60122841 U JPS60122841 U JP S60122841U
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JP
Japan
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light
measurement device
optical measurement
light receiving
photoelectric conversion
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JP934084U
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船引　健介
井上　十九男
幹彦 志村
加藤　充孝
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の光学系統図、第２図は本考案装置の
一実施例を示す光学系統図、第３図は光電変換部の具体
的な構造を示す側面図である。 １・・・白色光源、２・・・集光レンズ、３・・・フィ
ールドフラトナレンズ、４・・・試料、５・・・レンズ
、８・・・レンズ、１０・・・ｌ［’換部、１５・・・
ベース、１６．１７，１８・・・光電変換素子、１９・
・・半導体レーザ素子。 補正　昭５９．３．６ −　図面の簡単な説明を次のように補正する。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光軸調整可能に支持され、かつ試料上の微小スポットか
    らの光を収束して光電変換部へと導く受光光学系を備え
    た光計測装置であって；前記光電変換部は、受光素子と
    可視発光素子とを近接配置してなり、かつ前記可視発光
    素子は方向性の良好なビーム光を発光するとともに、そ
    の発光方向は前記受光素子の入射方向と一致しているこ
    とを特徴とする光計測装置。
JP934084U 1984-01-26 1984-01-26 光計測装置 Pending JPS60122841U (ja)

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JP934084U JPS60122841U (ja) 1984-01-26 1984-01-26 光計測装置

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JP934084U JPS60122841U (ja) 1984-01-26 1984-01-26 光計測装置

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JPS60122841U true JPS60122841U (ja) 1985-08-19

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