JPS60131950U - 電子ビ−ム装置用電子銃部昇降機構 - Google Patents
電子ビ−ム装置用電子銃部昇降機構Info
- Publication number
- JPS60131950U JPS60131950U JP1905784U JP1905784U JPS60131950U JP S60131950 U JPS60131950 U JP S60131950U JP 1905784 U JP1905784 U JP 1905784U JP 1905784 U JP1905784 U JP 1905784U JP S60131950 U JPS60131950 U JP S60131950U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electron gun
- valve
- electron beam
- lifting mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す概略図、第
３図及び第４図は他の実施例を説明するための概略図で
ある。 １：電子銃部、２：本体部、３：エアーシリンダー、４
：ピストン、５ニジリンダ−軸、６ａ。 ６ｂ＝流量調整弁、７：電磁弁、８：エアー供給源、９
：盲栓、１０：排出口、１１，１２：電磁弁。
３図及び第４図は他の実施例を説明するための概略図で
ある。 １：電子銃部、２：本体部、３：エアーシリンダー、４
：ピストン、５ニジリンダ−軸、６ａ。 ６ｂ＝流量調整弁、７：電磁弁、８：エアー供給源、９
：盲栓、１０：排出口、１１，１２：電磁弁。
Claims (1)
- 電子線を発生する電子銃部と、該電子銃部と分離可能な
電子光学系が収納された本体部と、該本体部に取り付け
られ前記電子銃部を昇降するピストンを駆動するための
エアーシリンダーを備えた装置において、前記ピストン
によって仕切られたシリンダー内の二つの空間Ｐ、Ｑの
一方Ｐには大気は流入させるが設定した圧力が発生した
ときのみＰ内のエアーを大気に流出させる第１の弁を取
付け、他方Ｑには第１の弁と同様な機能を有する第２の
弁を取付けると共に該第２の弁の一方の接続口を開放状
態又は圧搾空気が供給される状態に切換える手段を設け
たことを特徴とする電子ビーム装置用電子銃部昇降機構
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1905784U JPS60131950U (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 電子ビ−ム装置用電子銃部昇降機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1905784U JPS60131950U (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 電子ビ−ム装置用電子銃部昇降機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131950U true JPS60131950U (ja) | 1985-09-03 |
Family
ID=30508274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1905784U Pending JPS60131950U (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 電子ビ−ム装置用電子銃部昇降機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131950U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218652B1 (ja) * | 1970-11-13 | 1977-05-23 |
-
1984
- 1984-02-13 JP JP1905784U patent/JPS60131950U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218652B1 (ja) * | 1970-11-13 | 1977-05-23 |
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