JPS60132336A - 論理集積回路試験装置 - Google Patents
論理集積回路試験装置Info
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- JPS60132336A JPS60132336A JP58240320A JP24032083A JPS60132336A JP S60132336 A JPS60132336 A JP S60132336A JP 58240320 A JP58240320 A JP 58240320A JP 24032083 A JP24032083 A JP 24032083A JP S60132336 A JPS60132336 A JP S60132336A
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、論理集積回路(以後、ICと称すンを試験す
る論理集積回路試験装置に関するものである。
る論理集積回路試験装置に関するものである。
一般的に、ICの機能試験を行う場合、ICの入力端子
に入力バクーンを与え、Cの時の10の出力を期待バグ
ーンと比較判定する。以後、この機能試験に必要な入カ
バターン、出力期待パターンをテストパターンと総称す
る。ICには、内部動作がICの特定の入力端子に印加
されるパルスに同期するもの、及びIC自体がパルスを
発生し。
に入力バクーンを与え、Cの時の10の出力を期待バグ
ーンと比較判定する。以後、この機能試験に必要な入カ
バターン、出力期待パターンをテストパターンと総称す
る。ICには、内部動作がICの特定の入力端子に印加
されるパルスに同期するもの、及びIC自体がパルスを
発生し。
外部から内部動作する為のパルスの供給が必要ないもの
がある。特定端子に入力されるパルスに内部動作が同期
するICを試験装置で試験する場合は、試験装置から任
意に指定されたパルス全発生し、このパルスを被試験I
C(以後DUTと称すうの特定端子に入力するとともに
、このパルスの繰ジ返し周波数に同期して、テストパタ
ーンを発生させることにより試験が可能となる。
がある。特定端子に入力されるパルスに内部動作が同期
するICを試験装置で試験する場合は、試験装置から任
意に指定されたパルス全発生し、このパルスを被試験I
C(以後DUTと称すうの特定端子に入力するとともに
、このパルスの繰ジ返し周波数に同期して、テストパタ
ーンを発生させることにより試験が可能となる。
1)UTからパルスを受け取v1このパルスに同期して
テストパターンを発生させて行う試験を以後、外部同期
試験と呼び、1)UTから試験装置に入力されるパルス
を外部同期パルスと称す。通常、外部同期パルスは、1
)UTの特定の端子から出力される。すなわち、外部同
期パルスにより、試験装置からIC全試験するテストパ
ターンを発生させることになる。近年、ICの集積度が
上り、機能が飛躍的に増大するにつれて、ICの入出力
端子の機能も従来より複雑になってきており、l端子全
時分割で用い、入力、出力が同一端子で行なわれたり、
異なる出力信号が出力されたりする。
テストパターンを発生させて行う試験を以後、外部同期
試験と呼び、1)UTから試験装置に入力されるパルス
を外部同期パルスと称す。通常、外部同期パルスは、1
)UTの特定の端子から出力される。すなわち、外部同
期パルスにより、試験装置からIC全試験するテストパ
ターンを発生させることになる。近年、ICの集積度が
上り、機能が飛躍的に増大するにつれて、ICの入出力
端子の機能も従来より複雑になってきており、l端子全
時分割で用い、入力、出力が同一端子で行なわれたり、
異なる出力信号が出力されたりする。
しかも、ICの端子数が増大する傾向にある。この様な
ICで内部動作に必要なパルス金外部から必要とせず、
ICから外部同期パルスが発生され、次の外部同期パル
スが発生する間、すなわち外部同期パルスの1サイクル
内で、ICの1端子から異なる2種類の信号が出力され
る場合がある。たとえば、ICがCPUの場合には、同
一端子に外部メモリーをアクセスする為のアドレス信号
が出力され、その直後に外部メモリーに書込むデータ信
号が出力される様な場合がある。従来の試験装置では、
DUTの1端子に対してアトシス信号判定用に1ビン、
データ信号判定用に1ビン割当てこれら2ピンをDUT
のl端子に接続し試験を可能としてきた。しかし、IC
に上記の様な端子が多数になるとDUTの端子数の倍近
くのビン数が試験装置に要求され、試験装置の高価格化
を生ずる。及び、DUTt端子に対し試験装置では、2
ビン使用する為、1)UTの端子番号と試験装置のピン
番号があわなくなる為、テストパターンの作成が繁雑に
なる。
ICで内部動作に必要なパルス金外部から必要とせず、
ICから外部同期パルスが発生され、次の外部同期パル
スが発生する間、すなわち外部同期パルスの1サイクル
内で、ICの1端子から異なる2種類の信号が出力され
る場合がある。たとえば、ICがCPUの場合には、同
一端子に外部メモリーをアクセスする為のアドレス信号
が出力され、その直後に外部メモリーに書込むデータ信
号が出力される様な場合がある。従来の試験装置では、
DUTの1端子に対してアトシス信号判定用に1ビン、
データ信号判定用に1ビン割当てこれら2ピンをDUT
のl端子に接続し試験を可能としてきた。しかし、IC
に上記の様な端子が多数になるとDUTの端子数の倍近
くのビン数が試験装置に要求され、試験装置の高価格化
を生ずる。及び、DUTt端子に対し試験装置では、2
ビン使用する為、1)UTの端子番号と試験装置のピン
番号があわなくなる為、テストパターンの作成が繁雑に
なる。
本発明の目的は、この様な欠点を是正し、外部同期試験
における外部同期パルスの1サイクル内でICの1端子
から複数の情報が出力される場合においても、DUTz
端子に試験装置の2ピンを接続するCとなく、L)UT
I端子に試験装置の1ビンを接続することにより試験可
能とする論理集積回路試験装置を提供することにある。
における外部同期パルスの1サイクル内でICの1端子
から複数の情報が出力される場合においても、DUTz
端子に試験装置の2ピンを接続するCとなく、L)UT
I端子に試験装置の1ビンを接続することにより試験可
能とする論理集積回路試験装置を提供することにある。
本発明の論理集積回路試験装置は、被試験論理集積回路
に印加するテストパターンを記憶するメモリ部、このメ
モリ部に記憶するテストパターンの発生順序を示すアド
レス信号を発生するアドレス発生部を有するパターン発
生器と、前記アドレス発生部から発生されるアドレス信
号の発生タイミングを示す同期信号を発生するレート信
号発生器、前記アドレス発生部への同期信号として前記
レート信号発生器から出力されるレイト信号および前記
被試験論理集積回路の特定端子から出力される出力信号
の一方を前記記憶部に記憶されるテストパターンに応じ
て選択する選択部を有するタイミング発生器とを具備す
ることを特徴とする。
に印加するテストパターンを記憶するメモリ部、このメ
モリ部に記憶するテストパターンの発生順序を示すアド
レス信号を発生するアドレス発生部を有するパターン発
生器と、前記アドレス発生部から発生されるアドレス信
号の発生タイミングを示す同期信号を発生するレート信
号発生器、前記アドレス発生部への同期信号として前記
レート信号発生器から出力されるレイト信号および前記
被試験論理集積回路の特定端子から出力される出力信号
の一方を前記記憶部に記憶されるテストパターンに応じ
て選択する選択部を有するタイミング発生器とを具備す
ることを特徴とする。
−〔従来例〕
第1図は、一般的なコンピュータ制御によるIC試験方
式のブロック図である。1iicPU、2は制御部、3
はタイミング発生器、4はパターン発生器、5はレベル
設定部、6は試験用電源部、7はピンエレクトロニクス
、8はDUTを実装するテストボード、9は周辺装置で
ある。CPU’1は、設定された試験項目11に試験デ
ータ金制御部2に転送した9制御部2から試験結果・デ
ータの収集・処理を行ったり、さらに上記の収集・処理
・結果を周辺装置9に出力したジする。制御部2は、C
PUIからのデータを各都電に振り分けて転送したり、
各部から試験結果t−読み出したりする。タイミング発
生器3は、制御部2から転送されてきたテストパターン
1t)UTへ印加する周期を示すレートのデータ、1)
UTからの出カバターンとテストパターンの期待値を比
較判定する位置を示すストローブの遅れ、幅のデータ等
に従い、レート信号、ストローブ信号等のタイミング全
発生シ、ピンエレクトロニクス71 パターン発生器4
に送り出す。パターン発生器4は、制御部27.l−ら
転送されてきたテストパターンを一時蓄え、試験開始時
にタイミング発生部3から送られてくるV−)信号また
は、I)UTからの外部同期パルスに同期して、蓄えて
ありたテストパターン全発生し、各ピン毎に指定された
パターンモジ−V−ションを行b1ピンエレクトロニク
ス7へ送り出す。
式のブロック図である。1iicPU、2は制御部、3
はタイミング発生器、4はパターン発生器、5はレベル
設定部、6は試験用電源部、7はピンエレクトロニクス
、8はDUTを実装するテストボード、9は周辺装置で
ある。CPU’1は、設定された試験項目11に試験デ
ータ金制御部2に転送した9制御部2から試験結果・デ
ータの収集・処理を行ったり、さらに上記の収集・処理
・結果を周辺装置9に出力したジする。制御部2は、C
PUIからのデータを各都電に振り分けて転送したり、
各部から試験結果t−読み出したりする。タイミング発
生器3は、制御部2から転送されてきたテストパターン
1t)UTへ印加する周期を示すレートのデータ、1)
UTからの出カバターンとテストパターンの期待値を比
較判定する位置を示すストローブの遅れ、幅のデータ等
に従い、レート信号、ストローブ信号等のタイミング全
発生シ、ピンエレクトロニクス71 パターン発生器4
に送り出す。パターン発生器4は、制御部27.l−ら
転送されてきたテストパターンを一時蓄え、試験開始時
にタイミング発生部3から送られてくるV−)信号また
は、I)UTからの外部同期パルスに同期して、蓄えて
ありたテストパターン全発生し、各ピン毎に指定された
パターンモジ−V−ションを行b1ピンエレクトロニク
ス7へ送り出す。
レベル設定部5は、制御部2から転送されて@たデータ
に従って1)UTへ印加される入力バク−/の論理″l
“、“0”のレベル及び1)UTの出カバターンの論理
“1“、“0“の判定レベルを発生シ、ピンエレクトロ
ニクス7へ送り出す。電源部6は、DUTに使用される
電源の電圧レベルを制御部2から転送されて@たデータ
に従って発生1、、LIUTへ供給する。ピンエレクト
ロニクス7ハ、パターン発生器4からのテストパターン
に従い、タイミング発生器3から送られてくるタイミン
グでレベル設定部5からのレベルを制御し、てDUTへ
印加する。さらにピンエレクトロニクス7は、1)UT
からの出力音、バグーン発生器4からのテストパターン
に従って論理“1“、“0“6各のレベル設定部5から
送られてきた判定レベルとタイミング発生器3から送ら
れてくるストローブ信号の位置で比較判定し、結果をパ
ターン発生器4へ戻す。8は、DUT’i実装する為の
テストボードであり、crtを介して1)UTと試験装
置が接続される。周辺装置9は、’CI’Ulへのテス
トプログラム等の必要情報の入力及び、CPUIでのデ
ータ処理1編果り結果等金出力及び記はする、第2図は
、従来のIC試験装置のブロック図である。lOは、制
御部2から送られてさたテストパターン全一時蓄えてお
くメモリ部、IIは、E歌詩タイミング発生器3の出力
端子−13に出力されるTo信号に同期して連続的にメ
モ!JfflStoへアドレス信号を与えるアドレス発
生部、12は、テストパターン’zDUTへ印加する周
期金示すTo信号のもとになる、あらかじめきめられた
繰返し周波数を示すレイト信号を発生する7一ト信号発
生器であり1出力端子18に出力される起動信号により
、レート信号全発生したり1発生を停止したすする。1
5は、TO信号選択器であり、印加端子16に印加され
る外部同ル」パルス選択イ百号により外部同期パルスが
選択された場合には、端子18を介してレート信号発生
器12のレート信号の発生を停止させ、出刃端子17に
印加端子14に印加される外部同期パルスを出力し、o
it回路19t−弁じてTo信号としてアドレス発生部
1■へ印加する。内部同期が選択された場合には、選択
器15は、端子17への外部同期ノくルスの出力を禁屯
し、v−卜発生器12に起動信号を与え、レート信号を
発生させ、0ハ回路19を弁してTo信号として、アド
レス発生部11ヘレート信号を印加する。
に従って1)UTへ印加される入力バク−/の論理″l
“、“0”のレベル及び1)UTの出カバターンの論理
“1“、“0“の判定レベルを発生シ、ピンエレクトロ
ニクス7へ送り出す。電源部6は、DUTに使用される
電源の電圧レベルを制御部2から転送されて@たデータ
に従って発生1、、LIUTへ供給する。ピンエレクト
ロニクス7ハ、パターン発生器4からのテストパターン
に従い、タイミング発生器3から送られてくるタイミン
グでレベル設定部5からのレベルを制御し、てDUTへ
印加する。さらにピンエレクトロニクス7は、1)UT
からの出力音、バグーン発生器4からのテストパターン
に従って論理“1“、“0“6各のレベル設定部5から
送られてきた判定レベルとタイミング発生器3から送ら
れてくるストローブ信号の位置で比較判定し、結果をパ
ターン発生器4へ戻す。8は、DUT’i実装する為の
テストボードであり、crtを介して1)UTと試験装
置が接続される。周辺装置9は、’CI’Ulへのテス
トプログラム等の必要情報の入力及び、CPUIでのデ
ータ処理1編果り結果等金出力及び記はする、第2図は
、従来のIC試験装置のブロック図である。lOは、制
御部2から送られてさたテストパターン全一時蓄えてお
くメモリ部、IIは、E歌詩タイミング発生器3の出力
端子−13に出力されるTo信号に同期して連続的にメ
モ!JfflStoへアドレス信号を与えるアドレス発
生部、12は、テストパターン’zDUTへ印加する周
期金示すTo信号のもとになる、あらかじめきめられた
繰返し周波数を示すレイト信号を発生する7一ト信号発
生器であり1出力端子18に出力される起動信号により
、レート信号全発生したり1発生を停止したすする。1
5は、TO信号選択器であり、印加端子16に印加され
る外部同ル」パルス選択イ百号により外部同期パルスが
選択された場合には、端子18を介してレート信号発生
器12のレート信号の発生を停止させ、出刃端子17に
印加端子14に印加される外部同期パルスを出力し、o
it回路19t−弁じてTo信号としてアドレス発生部
1■へ印加する。内部同期が選択された場合には、選択
器15は、端子17への外部同期ノくルスの出力を禁屯
し、v−卜発生器12に起動信号を与え、レート信号を
発生させ、0ハ回路19を弁してTo信号として、アド
レス発生部11ヘレート信号を印加する。
端子16に印加される外部同期パルス選択信号によF)
、To信号としてあらかじめノート信号か。
、To信号としてあらかじめノート信号か。
外部同期パルスかが選択され、CのTo信号がノ(ター
ン発生器4のアドレス発生部11へ印加され。
ン発生器4のアドレス発生部11へ印加され。
メモリ部10より蓄えてあったテストパターンがアドレ
ス信号に従い各ピン毎に出力端子20に出力され、ピン
エレクトロニクス7vc印加され、DUTへの入カバク
ーン及び期待パターンとして取扱われる。すなわち、L
)UTへの入カバグーン及び期待パターンは、タイミン
グ発生器3からのTo信号に同期して出力される為に、
7一ト信号もしくは、外部同期パルス1個で、lアドレ
ス分しか発生されないことになる。DUTの1端子かう
外部同期パルスのl+jイクル内に時分割で2つの情報
が出力される様な場合には、期待ノ(ターンを複数発生
させることかで@な^ので試験は不i丁能になる。
ス信号に従い各ピン毎に出力端子20に出力され、ピン
エレクトロニクス7vc印加され、DUTへの入カバク
ーン及び期待パターンとして取扱われる。すなわち、L
)UTへの入カバグーン及び期待パターンは、タイミン
グ発生器3からのTo信号に同期して出力される為に、
7一ト信号もしくは、外部同期パルス1個で、lアドレ
ス分しか発生されないことになる。DUTの1端子かう
外部同期パルスのl+jイクル内に時分割で2つの情報
が出力される様な場合には、期待ノ(ターンを複数発生
させることかで@な^ので試験は不i丁能になる。
よって、試験装置のピンエレクトロニクス2ビンをDU
Tの1端子に接続して測定することになる。Cのこと全
第3図を用いて説明する。21は、1)UTからの外部
同期パルスであ!ll、22は、 IJUTからの出力
であり、2つの情報が外部同期・くルスの時間Tl後と
時間T2後に出力される。(但し、TlくT2)、23
は、DU、Tからの時間Tl後の出力の期待パターンで
あり、24は、DUTからの時間T2後の出力の期待パ
ターンである。25は、出力22と期待パターン23を
比較判定する位置を示すストローブ信号であり、26は
、出力22と期待パターン24全比較判定する位置を示
すス)o−プ信号である。
Tの1端子に接続して測定することになる。Cのこと全
第3図を用いて説明する。21は、1)UTからの外部
同期パルスであ!ll、22は、 IJUTからの出力
であり、2つの情報が外部同期・くルスの時間Tl後と
時間T2後に出力される。(但し、TlくT2)、23
は、DU、Tからの時間Tl後の出力の期待パターンで
あり、24は、DUTからの時間T2後の出力の期待パ
ターンである。25は、出力22と期待パターン23を
比較判定する位置を示すストローブ信号であり、26は
、出力22と期待パターン24全比較判定する位置を示
すス)o−プ信号である。
すなわち、1)UTからの出力22の時間T1後に出力
される情報は、試験装置のピンエレクトロニクス7にて
期待パターン23とストローグm号25の位置で比較さ
れ、1)UTからの出力22の時間T2後に出力される
情報はピンエレクトロニクス7にて期待パターン24と
、ストロ−11百号26の位置で比較されることになる
。この様に、IJUTのl端子に対して試験装置の2ピ
ンを接続することにより、従来は測定可能となった。但
し、上記の様な外部同期試@が必要なIJUTが、外部
同期パルスの1サイクル内で複数の情報が出力される様
な端子全多数含んでいると、その端子数の分だけ、DU
Tの端子数より余分に試験装置はビン数を持たなくては
ならない。1)UTの端子数が増大した場合には、試@
装置のビン数不足等が生じる。さらに、IJUTの単一
端子に対して試験装置の2ピン分のピンエレクトロニク
スを接続する為、負荷容量の増大及r・DUTの端子と
試験装置のビンエレクトロニ、々スフのビン番号との対
応が複雑になる欠点がある。
される情報は、試験装置のピンエレクトロニクス7にて
期待パターン23とストローグm号25の位置で比較さ
れ、1)UTからの出力22の時間T2後に出力される
情報はピンエレクトロニクス7にて期待パターン24と
、ストロ−11百号26の位置で比較されることになる
。この様に、IJUTのl端子に対して試験装置の2ピ
ンを接続することにより、従来は測定可能となった。但
し、上記の様な外部同期試@が必要なIJUTが、外部
同期パルスの1サイクル内で複数の情報が出力される様
な端子全多数含んでいると、その端子数の分だけ、DU
Tの端子数より余分に試験装置はビン数を持たなくては
ならない。1)UTの端子数が増大した場合には、試@
装置のビン数不足等が生じる。さらに、IJUTの単一
端子に対して試験装置の2ピン分のピンエレクトロニク
スを接続する為、負荷容量の増大及r・DUTの端子と
試験装置のビンエレクトロニ、々スフのビン番号との対
応が複雑になる欠点がある。
〔発明の実施例]
第4図は、本発明の一実施例全示し、27は、第2図に
おけるメモリ部101Cグイミング発生部の外部同期パ
ルス選択のコントロールと7 F ’)n+1を追加し
たメモリ部である。28は、従来のT。
おけるメモリ部101Cグイミング発生部の外部同期パ
ルス選択のコントロールと7 F ’)n+1を追加し
たメモリ部である。28は、従来のT。
信号選択器15に、メモリ部27のビットb、、+1で
も、外部同期信号か、または内部動Jυ]信号かの選択
が可能となる機能が追加されたTo信号選択器である。
も、外部同期信号か、または内部動Jυ]信号かの選択
が可能となる機能が追加されたTo信号選択器である。
第5図は、第4図全説明する為のグイムチヤードである
。21.22は、第3図と同様であり、29はグイミン
ク発生器3′からのTo信号であり、30はピンエレク
トロニクス7へ印加される期待パターンを示し、Cの時
の1)UTからの出力と期待バク−yを比較判定する位
置を示すストローブ信号を31に示す。メモリ部27の
ビットbyが第5図22の出力信号を出力するLOUT
端子に接続されており、アドレスAx+1 + Ax+
7 + Ax+8 +Ax+41 ” Ax+13 番
地に“I −+ Az−1、AX、 AX−1−2〜A
x+6 、Ax+9 、 Ax+10番地に“0“及び
v−卜倍号発生器12を制御するビットbfi+1 に
はAx、。
。21.22は、第3図と同様であり、29はグイミン
ク発生器3′からのTo信号であり、30はピンエレク
トロニクス7へ印加される期待パターンを示し、Cの時
の1)UTからの出力と期待バク−yを比較判定する位
置を示すストローブ信号を31に示す。メモリ部27の
ビットbyが第5図22の出力信号を出力するLOUT
端子に接続されており、アドレスAx+1 + Ax+
7 + Ax+8 +Ax+41 ” Ax+13 番
地に“I −+ Az−1、AX、 AX−1−2〜A
x+6 、Ax+9 、 Ax+10番地に“0“及び
v−卜倍号発生器12を制御するビットbfi+1 に
はAx、。
八〇+4 + Ax+’1番地に°“l“、その他の番
地には“0”があらかじめ格納されているものとする。
地には“0”があらかじめ格納されているものとする。
メモリ部27のアドレス信号がAx−1番地に到達する
とビットb、、+1に“1.−が入っている為、タイミ
ング発生器3′ではレート信号発生器12が停市され、
端子14に印加される外部同期バ・シスが選択され、外
部同期パルスが端子14に印加されるまで、To信号は
発生されず、アドレス発生部11は、Ax−1番地を保
持し続ける。端子14に。
とビットb、、+1に“1.−が入っている為、タイミ
ング発生器3′ではレート信号発生器12が停市され、
端子14に印加される外部同期バ・シスが選択され、外
部同期パルスが端子14に印加されるまで、To信号は
発生されず、アドレス発生部11は、Ax−1番地を保
持し続ける。端子14に。
L)UTからの外部同期パルスが入力されるとタイミン
グ発生器3′の出力端子13にTo信号があられれ、ア
ドレス発生部11からは、Ax番地を示すアドレス信号
が出力される。メモリ部27からは、アドレスAI番地
のb工〜b0までが1.端子20に出力されピンエレク
トロニクス7に印加され、ビットb。+、の“0“がタ
イミング発生器3′のTo信号選択器28に印加され、
レート信号発生器12が起動され、端子14に印加され
る外部同期信号が禁止され、To信号としてレート発生
器12からのレート信号が出力される。これ以降、メモ
リ部27のビットb、、+1が“l“になるまで。
グ発生器3′の出力端子13にTo信号があられれ、ア
ドレス発生部11からは、Ax番地を示すアドレス信号
が出力される。メモリ部27からは、アドレスAI番地
のb工〜b0までが1.端子20に出力されピンエレク
トロニクス7に印加され、ビットb。+、の“0“がタ
イミング発生器3′のTo信号選択器28に印加され、
レート信号発生器12が起動され、端子14に印加され
る外部同期信号が禁止され、To信号としてレート発生
器12からのレート信号が出力される。これ以降、メモ
リ部27のビットb、、+1が“l“になるまで。
1)UTからの外部同期パルスの有無にかかわらずv−
卜信号発生器12に設定された操り返し周波数で発生さ
れるレート信号がTo信号として出力され、アドレス発
生部11から、順にアドレスがひとつずつインクリメン
トされメモリ部27からb1〜b、、が端子20に出力
される。アドレスが1’Lx+4に到達するとビットb
n+1にビが設定されているので、グイミンク発生器3
′では、v−ト信号発生器12が停止Eされ、IJUT
からの外部同期パルスが選択され、次に外部同期パルス
が端子14に印加されるまでアドレス発生部11は、A
x+4番地を示すアドレス信号全メモリ部27へ印加し
続ける。以上の動作音ビットt)n+1の“l−“0“
によジ繰り返しながらアドレスAX+13番地葦で順に
メモリ部27のビットb1〜”)nk端子20VC出力
する。
卜信号発生器12に設定された操り返し周波数で発生さ
れるレート信号がTo信号として出力され、アドレス発
生部11から、順にアドレスがひとつずつインクリメン
トされメモリ部27からb1〜b、、が端子20に出力
される。アドレスが1’Lx+4に到達するとビットb
n+1にビが設定されているので、グイミンク発生器3
′では、v−ト信号発生器12が停止Eされ、IJUT
からの外部同期パルスが選択され、次に外部同期パルス
が端子14に印加されるまでアドレス発生部11は、A
x+4番地を示すアドレス信号全メモリ部27へ印加し
続ける。以上の動作音ビットt)n+1の“l−“0“
によジ繰り返しながらアドレスAX+13番地葦で順に
メモリ部27のビットb1〜”)nk端子20VC出力
する。
本発明により、外部同期信号の1サイクル内に複数の情
報が出力される様なlC’、試験することが可能となる
ばかジでなく、試験装置のピンエレクトロニクス番号と
I)UTの端子番号が一致する為、テストプログラムの
デバッグ時間の短縮による。lCの開発時間の短縮等の
効果がある。
報が出力される様なlC’、試験することが可能となる
ばかジでなく、試験装置のピンエレクトロニクス番号と
I)UTの端子番号が一致する為、テストプログラムの
デバッグ時間の短縮による。lCの開発時間の短縮等の
効果がある。
第1図は一般的なコンピー−ター制御によるIC試験方
式のブロック図である。第2図は、第1図の従来のIC
試験装置のブロック図であV、第3図は第2図の動作を
説明するタイムチャートである。第4図は本発明の一実
施例のブロック図。 第5図は第4図の動作全説明するタイムチャートである
。 1・・・・−・CPU% 2・・・・・・制御部、3.
3’・・・・・・タイミング発生器、4. 4’・・
・・・・パターン発生器、5・・・・・・レベル設定部
、6・・・・・・試験電源部、7・・・・・・ピンエレ
クトロニクス、8・・・・−・テストボード、9・・・
・・・周辺装置、10・・・・・・メモリ部、11・・
・・・・アドレス発生部、12・・・・・−V−卜信号
発生器、13・・・・・・To@号の出力端子、14・
・・・・・外部同期パルスの印加端子、15・・・・・
・To信号選択器、16・−・・・・外部同期パルス選
択(ij号の印加端子、17・・・・・・外部同期パル
スの出力端子、18・・・・・・レイト信号発生器の起
動信号の出力端子、19・・・・・・Oル回路、20・
・・・・・メモリ部からの出力端子、21・・・・・・
1)UTからの外部同期パルス、22・・・・・・1)
UTからの出力、23.24・・・・・・期待パターン
、25. 26・・・・・・ストローブ信号、27・・
・・・・メモリ部、28・・・・・・TO信号選択器、
29・・・・・・端子13の出力信号530・・・・・
・期待パターン、31・・・・・・ストローブ1g号。 N 代理A 弁1士 内 原 皆5.3 °)を1個 半′2図 VS2 回
式のブロック図である。第2図は、第1図の従来のIC
試験装置のブロック図であV、第3図は第2図の動作を
説明するタイムチャートである。第4図は本発明の一実
施例のブロック図。 第5図は第4図の動作全説明するタイムチャートである
。 1・・・・−・CPU% 2・・・・・・制御部、3.
3’・・・・・・タイミング発生器、4. 4’・・
・・・・パターン発生器、5・・・・・・レベル設定部
、6・・・・・・試験電源部、7・・・・・・ピンエレ
クトロニクス、8・・・・−・テストボード、9・・・
・・・周辺装置、10・・・・・・メモリ部、11・・
・・・・アドレス発生部、12・・・・・−V−卜信号
発生器、13・・・・・・To@号の出力端子、14・
・・・・・外部同期パルスの印加端子、15・・・・・
・To信号選択器、16・−・・・・外部同期パルス選
択(ij号の印加端子、17・・・・・・外部同期パル
スの出力端子、18・・・・・・レイト信号発生器の起
動信号の出力端子、19・・・・・・Oル回路、20・
・・・・・メモリ部からの出力端子、21・・・・・・
1)UTからの外部同期パルス、22・・・・・・1)
UTからの出力、23.24・・・・・・期待パターン
、25. 26・・・・・・ストローブ信号、27・・
・・・・メモリ部、28・・・・・・TO信号選択器、
29・・・・・・端子13の出力信号530・・・・・
・期待パターン、31・・・・・・ストローブ1g号。 N 代理A 弁1士 内 原 皆5.3 °)を1個 半′2図 VS2 回
Claims (1)
- 被試験論理集積回路に印加するテストバター/を記憶す
るメモリ部、このメモリ部に記憶するテストパターンの
発生順序を示すアドレス信号を発生するアドレス発生部
を有するパターン発生器と、前記アドレス発生部から発
生されるアドレス信号の発生タイミングを示す同期信号
を発生するレート信号発生器、前記アドレス発生部への
同期信号として前記レート信号発生器から出力されるン
イト信号および前記被試験論理集積回路の特定端子から
出力される出力信号の一方を前記記憶部に記憶されるテ
ストパターンに応じて選択する選択部を有するタイミン
グ発生器とを具備することを特徴とする論理集積回路試
験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58240320A JPS60132336A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 論理集積回路試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58240320A JPS60132336A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 論理集積回路試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132336A true JPS60132336A (ja) | 1985-07-15 |
Family
ID=17057710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58240320A Pending JPS60132336A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | 論理集積回路試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132336A (ja) |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP58240320A patent/JPS60132336A/ja active Pending
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