JPS60135120A - 放電加工装置 - Google Patents

放電加工装置

Info

Publication number
JPS60135120A
JPS60135120A JP58242464A JP24246483A JPS60135120A JP S60135120 A JPS60135120 A JP S60135120A JP 58242464 A JP58242464 A JP 58242464A JP 24246483 A JP24246483 A JP 24246483A JP S60135120 A JPS60135120 A JP S60135120A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
machining
electrode
workpiece
electric discharge
processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58242464A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6365460B2 (ja
Inventor
Takeo Sato
佐藤 健夫
Takeshi Mizutani
武 水谷
Hisato Matsushita
松下 久登
Koichi Kawada
耕一 河田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP58242464A priority Critical patent/JPS60135120A/ja
Publication of JPS60135120A publication Critical patent/JPS60135120A/ja
Publication of JPS6365460B2 publication Critical patent/JPS6365460B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は放電加工により微小径のバ加工を行う場合に用
いる放電加工装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来の放電加工装置の概観図を第1図に示す・図におい
て1は加工電極、2は被加工物・3kl、・載物台、4
は回転機構及び送り機構を含んだ摺動スピンドル、5は
加工電源、6は加−i二回路であり、加工電極1はスピ
ンドル4を介して加工電源5に接続されており、加工電
源6の他方は載物台3に接続されている。
このような放電加工機で微小径の穴の加工を行う場合に
は、通常の型彫り加工などと異なり、極端に放電エネル
ギーを減じ、高速のスイッチングにより放電を行わせる
必要がある。そのため放電としては第2図、第3図に示
すようなRC回路あるいはT R−1−1(C回路が用
いられている。
図において、1は加工電極、2は被加工物、5は加工電
源、7は抵抗、8はコンデンサ、9ばトランジスタであ
る。これらの回路において、加工型′rp、6の加圧電
圧をv1コンデンザ8の容量をCとしたとき、放電エネ
ルギーは棒・C■2となる。
従−)で放電エネルギーを低減する/こめには加工電用
V、コンデンサ8の容4g、 Cを減少させば良いので
あるが、印加電圧■の極端な低減は放電の不安定化を招
き、加工不能状態となるので電圧d、低くとれば、現実
の加工においてはコンデンサ8の容M″Cを変化させて
加工を行っている。
しかしながら、コンデンサ8の容量Cを減じていって数
10pF〜数100pFの領域となると回路中に挿入す
るコンデンサ8の他に放電回路中に含まれる第1図に示
すスピンドル4を構成する機構部品あるいFi細線材に
ある浮遊容量1○が存在するため、見かけのキャパシタ
ンスは小さくすることが可能であるが実効的な浮遊容量
を含めたキャパシタンスは小さくならずそのため放電エ
ネルギが比較的大きい捷1の状態で加圧[を行わざるを
得す数10μ+72径の穴加工は、現実には不り]能で
あった。
発明の目的 本発明は以上の問題にかんがみてなされたものであり、
放電回路中に存在する浮lガ容量を低減し嶽小エネルギ
放電を可能とし、数10 //))7の歳小径の穴を加
工可能な放電加工装置を提供することを目的とする。
の間で放電を行う加工電極と、前記加工電極をU字状溝
部て支持するだめの支持手段と、前記加工電極を前記被
加工物に向って移動させるだめの移動手段と、被加工物
をし1定保持する献物台と、前記献物台を支持し加工油
が満たされている加1m、槽とを備え、前記加工電極が
支持手段及び移動手段と電気的に絶縁されてなることを
時機とする放電加工装置を提供するものである。
実施例の説明 以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第4図は、本発明の一実施例における放電加工装置の概
観図である。本実施例では加工回路としてRC回路を採
用している。
図において1は加工電極、2は被加工物、3け1数置台
、6は加工電源、7は抵抗、8はコンデンサ、111−
J、加工電極1を支持する支持手段、12kl、ブ〜リ
ー、13はプーリー12を介して加工型(参1を回転さ
ぜるベルト、14は送りレバー、15はその支点、16
は加工電極1の上下動を行わせる送りネジ、17は加工
電極1と送りレバー14とを電気的に絶縁する絶縁板、
18は加工電極1を加圧「電源5に導通させるプラン、
19はスペーサ、2Oは加工油で満たされた加工槽であ
る。
ここで加エフに極1は受圧部をV字状溝に構成したセラ
ミック製軸受などの支持手段11によって支持されでい
る。力1月二電極1側のプーリー12よりモータ(図示
せず)側のプーリー(図示せず)を1−フイに4rr置
−t′乙ように西−置しているため一加T雷極1はベル
ト13の張力により支持手段11に押しつけられながら
さらに上向きの張力を受け送りレバー14に常に接しな
がら回転を行う。送りレバー14は支点15をはさんで
テコとなっており加工電極1と反対側に位置する送りネ
ジ16の上下動が加工電極1へ伝えられ、回転しながら
加工電極1が被加工物2側へ送り込丑れる。送りレバー
14と加−[両極1との接触部には青板ガラスの小片な
どの絶縁板17が設けらi+ており、加工型(参1は送
りレバー14とは電気的に絶縁されている。
被加工物2 ’rJ1111i物台3−にに置台3−さ
れ、11戊物台3はセラミック製のスヘーザ19を介し
て加工槽2oに固定される。
加工回路は加工用DC電源ら、コンデンサ8、抵抗7か
らなるRC回路構成であり、加工電極1はブラシ18に
よって加工電源6と接続され、11戊物台3−1路であ
り、加工電極2はプラン2Oによ−2て加工用電源3と
接続され、載物台12はiG接加工電源6と接続されて
いる。
本構成においては支持手段11を絶縁材料のセラミック
にし、捷だ送りレバー14の加工電極1との接触部にn
板ガラスなどの絶縁板17を用い−1:/ξ被加工物2
を固定保持する載物台3が絶縁材料から成るセラミック
環のスペーサ19を介して加工槽20 K同定されてい
るため、80回路中に存在する浮遊容量の源となる金属
部分が加工電極1、ブラシ18.1・V物台3のみとな
るため、浮遊6 tB−を極端に減少することが可能と
なっている。
第6図は、受圧面をV字状に構成した本実施例で用いた
支持手段11を示している。本実施例で&J:支劫手段
11全体をセラミックで構成して加工電極1と電気的に
絶縁している。支持手段11に適用国−能な材料として
はセラミックのfikルビー。
−リファイア等がある。
第6図及び第7図に支持手段の他の実施例を示す。
第6図は支持手段本体部分11aは導電性材料で構成し
、合計4個の絶縁材から成る突出部11bを設け、加工
電極を支持している2本突出部11bの材料としては、
セラミック、ルビー、ザファイア、ダイヤモンド等が考
えられる。
第7図はやはり支持手段本体部分11[は導電性材料で
構成しV字状溝部のみを絶縁相で成るV溝片11Cて構
成した例てあ2・。■溝片110の材料としては、ルビ
ー 、ザノアイア、タイヤモンド等が考えられる。
第8図は本実施例における送りレバー周辺の構造を示し
ている。本実施例においては、送りレバー14の加工電
極1との接触部AJcNf板カラスからなる絶縁板17
をはりつけ加工電極1と7[1,急曲に絶縁している。
この低給縁板17として適用用能な材料としては、ルビ
ー、サファイア、タイヤ等考えられる。
1だ第9図、第10図に送りレバーの他の実施例を示す
第9図は、送りレバ−14全体を絶縁+4l−4J旧で
構成した例である。材料としては、セラミック、あるい
は絶縁皮膜処理をした金属が考えられる。
この場合は送りレバー14の一端に直接加工市、極1全
取りつけてあり、送りネジ16の調整により支点15を
中1uとして加工電極1が被加工物(図示せず)方向に
移動する3 第10図は、送りレバー14は導電性材料で構成し加]
−電極1を絶縁椙料から成るボール21を介して送りレ
バー14と接触させた例である。ボール21の拐質とし
ては、ルビー、ガラス、サファイア、り′イヤモンド等
が考えられる。
第11図は本実施例における加工槽周辺の構造を示して
いる。加工槽20内の載物台3は、セラミックから成る
スペーサ19により加工槽20と711気的に絶縁され
ている。このため載物台3は神加工物2を固定保肴する
に足る最小限の大きさにととめることが可能となり浮遊
容量の大rb低減となる。
発明の効果 本発明は以上のように放電回路中に存在する金属部分を
極力低減するために加工電極を支持手段や送りレバーか
ら電気的に絶縁した構成を取るこLWPI/l+ノr 
Tj’: li’+l cl rb の痺:Wi 困m
l−<−イ4 硅1 湯、l、丁−+−ルギー放電をp
l能とし、南小作の人力11土を11」能とするもので
その工業的価値は人なるものがちへ)3.
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の放電加工装置の概観図、第2図は放電加
工装置に用いられるRC放電回路図、第3図は放電加工
装置に用いら′JLるT R,1−RG h’を電回路
図、第4図は本発明の一実施例における放電加工装置の
概観図、第5図乃至第7図は不発1Jjの支持手段の実
施例を示す概観図、第8図及び第9図は本発明の送りレ
バーの実施例を示す概観図、第10図は本発明の送りレ
バーの実施例を示ず1・′面図、第11図は本発明の加
工に槽の一実施例の断面図である。 1・・・・・加工電極、2 ・ ・被加工物、3・ 1
1、k吻合、6・・・・・加]二電源、了・・・・抵抗
、8・・・コンプンサ、11・・・・気持手段、12 
・電極illノー リ一、13・・・・・ベルl−11
4・ ・・、LX リレハ、’ 5・−・・・支点、1
6 ・・・送りネジ、1了・・絶縁板、18 ・・・・
プラノ、19 ・・スペーサ、2O・・・・・1J11
]二槽。 第1図 第2図 @3図 第4図 第5図 1 第 6 図 第7図 第10図 5

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被加工物との間で放電を行う加工電極と、前記加
    工電極を支持する支持手段と、前記加工電極を被加工物
    に対し相対的に移動させる移動手段と、前記被加工物を
    保持する載物台と、前記載物台を支持し加工液が満たさ
    れる加工槽とを備え、前記加工電極が支持手段及び移動
    手段とj(i、気菌に絶縁されてなることを特徴とする
    放電加工装置。
  2. (2)加工槽と載物台とが電気的に絶縁されてなること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の放電加工装置
  3. (3)支持手段が絶縁材料で構成されてなることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の放電加工装置。
  4. (4)移動手段の加工電極との接触部が少なくとも絶縁
    材料で構成されてなることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の放電加工装置。
  5. (5)加工槽と載物台とが電気的絶縁旧制のスヘーザを
    介して絶縁されていることを特徴とする特許許請求の範
    囲第2項記載の放電加工装置。
JP58242464A 1983-12-21 1983-12-21 放電加工装置 Granted JPS60135120A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58242464A JPS60135120A (ja) 1983-12-21 1983-12-21 放電加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58242464A JPS60135120A (ja) 1983-12-21 1983-12-21 放電加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60135120A true JPS60135120A (ja) 1985-07-18
JPS6365460B2 JPS6365460B2 (ja) 1988-12-15

Family

ID=17089469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58242464A Granted JPS60135120A (ja) 1983-12-21 1983-12-21 放電加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60135120A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109249103A (zh) * 2018-11-14 2019-01-22 中国航发动力股份有限公司 避免电火花加工工艺孔出口烧蚀的夹具及方法
JP2019177448A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 三井精機工業株式会社 工作機械

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019177448A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 三井精機工業株式会社 工作機械
CN109249103A (zh) * 2018-11-14 2019-01-22 中国航发动力股份有限公司 避免电火花加工工艺孔出口烧蚀的夹具及方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6365460B2 (ja) 1988-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3165818A (en) Method for mounting and bonding semiconductor wafers
US3263057A (en) Thermocompression bonder
JPS60135120A (ja) 放電加工装置
US7303599B2 (en) Manufacture of lapping board
JPH091354A (ja) パラレルシーム接合装置
JPS62194401A (ja) 載置型表面粗さ測定機
JPS61257720A (ja) 電気加工装置用被加工体取付装置
JPS62889Y2 (ja)
JPS57188840A (en) Load variable mechanism in wire bonder
JPS6482342A (en) Objective lens driving device
JPH0693472B2 (ja) ワイヤボンデイング装置
JPH046489B2 (ja)
KR880000243B1 (ko) 와이어 방전 가공 장치
CN218534234U (zh) 一种金属桶电动调头器
JPS6310540A (ja) 回転試料台
JPS60255322A (ja) 放電加工装置における棒状電極保持装置
US2788431A (en) Welding apparatus for semiconductor translating device
JPH0140196Y2 (ja)
JPS5733922A (en) Electric discharge machining device for fine hole
SU1291318A1 (ru) Устройство дл электроэрозионного легировани
SU622612A1 (ru) Устройство дл электрофизической обработки криволинейных поверхностей
JPS6343915B2 (ja)
JPS6192412A (ja) 薄膜磁気ヘツド製造装置
JPS5630274A (en) Connecting terminal
GB1369041A (en) Apparatus for connecting terminal leads of a semicoanductor device to electrical conductors of a substrate

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term