JPS6013735U - レジスト塗布装置 - Google Patents

レジスト塗布装置

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Publication number
JPS6013735U
JPS6013735U JP10605283U JP10605283U JPS6013735U JP S6013735 U JPS6013735 U JP S6013735U JP 10605283 U JP10605283 U JP 10605283U JP 10605283 U JP10605283 U JP 10605283U JP S6013735 U JPS6013735 U JP S6013735U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resist coating
coating equipment
resist
coating device
cylindrical member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10605283U
Other languages
English (en)
Inventor
淳 須藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP10605283U priority Critical patent/JPS6013735U/ja
Publication of JPS6013735U publication Critical patent/JPS6013735U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
□　第１図は従来のレジスト塗布装置、第２図は本考案
による一実施例のレジスト塗布装置を説明するための模
式的構成図、第３図は同装置の要部拡大断面図である。 図において４はレジスト液滴下用ノズル、２１は多孔質
からなる筒状の部材、２１−１は内壁、２２はレジスト
溶剤供給管、２３はレジスト溶剤供給調整器を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レジスト液滴下用ノズルを有するレジスト塗布装置であ
    って、該滴下用ノズルの先端部に、多孔質からなる筒状
    の部材を装着し、該多孔質の筒状の部材の内壁よりレジ
    スト溶剤が滲出するようにしたことを特徴とするレジス
    ト塗布装置。
JP10605283U 1983-07-07 1983-07-07 レジスト塗布装置 Pending JPS6013735U (ja)

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JP10605283U JPS6013735U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 レジスト塗布装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP10605283U JPS6013735U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 レジスト塗布装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6013735U true JPS6013735U (ja) 1985-01-30

Family

ID=30248339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10605283U Pending JPS6013735U (ja) 1983-07-07 1983-07-07 レジスト塗布装置

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JP (1) JPS6013735U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56168421U (ja) * 1980-05-16 1981-12-12

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56168421U (ja) * 1980-05-16 1981-12-12

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