JPS60138681U - ウエハ−チヤツクハンド - Google Patents

ウエハ−チヤツクハンド

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Publication number
JPS60138681U
JPS60138681U JP2450684U JP2450684U JPS60138681U JP S60138681 U JPS60138681 U JP S60138681U JP 2450684 U JP2450684 U JP 2450684U JP 2450684 U JP2450684 U JP 2450684U JP S60138681 U JPS60138681 U JP S60138681U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer chuck
chuck hand
wafer
hand
suction cup
Prior art date
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Pending
Application number
JP2450684U
Other languages
English (en)
Inventor
長堀　亘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2450684U priority Critical patent/JPS60138681U/ja
Publication of JPS60138681U publication Critical patent/JPS60138681U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハーチャックハンドの斜視図、第２
図は本考案による実施例を示す部分的平面図、第３図は
第２図の側面図である。 ＝・・ハンド反転部、２・・・バンド固定部、３・・・
吸着−カップ、６・・・軸受、６′・・・側面ガイド、
７・・・軸受、８・・・軸、９．１０・・・マグネット
、１１・・・チューブ、１・２・・・ウェハニ。　　゛

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハーを真空吸引する吸着カップを先端部に設けたウ
    ェハーチャックハンドにおいて、前記ウェハーチャック
    ハンドの先端部を分割し、前記吸着カップと反対へ反転
    可能としたことを特徴とするウェハーチャックハンド。
JP2450684U 1984-02-24 1984-02-24 ウエハ−チヤツクハンド Pending JPS60138681U (ja)

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JP2450684U JPS60138681U (ja) 1984-02-24 1984-02-24 ウエハ−チヤツクハンド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2450684U JPS60138681U (ja) 1984-02-24 1984-02-24 ウエハ−チヤツクハンド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60138681U true JPS60138681U (ja) 1985-09-13

Family

ID=30518715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2450684U Pending JPS60138681U (ja) 1984-02-24 1984-02-24 ウエハ−チヤツクハンド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60138681U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0164387U (ja) * 1987-10-16 1989-04-25

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0164387U (ja) * 1987-10-16 1989-04-25

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