JPS60140032A - クリ−ンル−ム用調温調湿装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルーム用調温調湿装置に関し、詳し
くは、クリーンル−ムの清浄度を維持するだめのフィル
ターを介して室内に供給する気体の加熱、及び、加湿構
造に関する。

従来、上記加熱及び加湿構造を構成するに、第８図ＶＣ
示すようＶＣ１取入口（３）から調和器（８′）内に取
入れた外気等の処理気体を、予熱コイル（２）、蒸気噴
霧型加湿器（国、及び、再熱コイル吻にその順に通過さ
せたり、あるいは、第４図に示すように、取入れた処理
気体を温水循環型気体ワッシャ（１９１、及び、加熱コ
イル（１７）にその順に通過させたりしていたび）であ
るが、いずれの構造にしても、処理気体に対する蒸気や
温水の直接噴霧であるために、大容量加湿を行なおうと
すると調オロ器（８りからの吐出気体中に蒸気噴霧型加
湿器ｔ１１１）からの蒸気ミストや、温水循環型気体ワ
ッシャ（１９）からの温水ミストが残存するために、残
存ミストがフィルター（５）で捕捉され、それに伴ない
ミストがドレン化して室内側に飛散する問題があった。

そこで、残存ミス］・を自然気化ないしドレン化させる
だめの延長風路を調和器（８勺に設けることも考えられ
るが、自然気化ないしドレン化を十分に行なわせるには
、かなりの距離の風路が必要であるためｅ（、調和器（
８′）が大巾に大型化する問題が派生した。

本発明の目的は、合理的な改良により、残存ミストを発
生させることなく処理気体を十分に加湿できるようにす
る点にある。

本発明によるクリーンルーム用調温調湿装置の特徴構成
は、一端側を処理気体取入口に、かつ、他端側を送風機
及びフィルターを介して調温調湿対象室に接続した混合
室を設け、前記取入口からの処理気体を加熱及び加湿す
るだめの高湿熱！虱を、前記混合室内に設けたノズルに
供給する高温熱風発ｊ生装置を設けであることにあり、
その作用・効果は次の通りである。

つまり、高湿熱風発生装置において熱風に加湿を施こす
から、加湿水分量が大であっても、処理気体を蒸気噴霧
や温水噴霧で直接的に加湿するに比して極めて効率の良
い加湿を行なうことができる。

したがって、ノズルから混合室に供給する高温熱風中に
は、加湿水分のミストをほとんど皆無にして訃くことが
できるから、その高湿熱風との混合により処理気体を、
残存ミストの発生を伴なうこと無く十分に加湿、並びに
加熱することができる。

その結果、残存ミストがフィルターに捕捉されることに
よるトラブルを回遊できると共に、残存ミストの気化ヤ
ドレン化のために調和器に設ける延長ｊ風路をも省くこ
とができ、全体として、コンパクトで、しかも、加湿性
に極めて優れたクリーンルーム用調温調湿装置にできだ
。

次に実施例を図面に基づいて説明する。

第１図に示すように、一端側をプレフィルタ−ｏｌ　、
及び、予熱コイル（２）を介して外気取入口１３）に、
かつ、他端側を送風機（４）及び高性能フィルター（５
）を介して空調対象室（６）の天井吹出装置（７）に接
続した混合室（８）を設け、空調対象室（６）のメ排気
口（９）から排風機（１０）により強制排出された排気
の一部を予熱後の外気に混合供給する流路（ｌりを設け
ると共に、混合室（８）内に通過空気を設定温湿間状態
に調温調湿する装置を設け、もって、クリーンルーム用
調温調湿装置を構成しである。

前記混合室（８）内の調温調湿構造を構成するに、プレ
フィルタ−１ｌ１通過後の外気の一部を分流して取出す
送風機０′４を介装したバイパス流路（１鴫を設け、そ
のバイパス流路０４から外気供給を受けるケーシング（
１４Ａ）内に、供給外気を７０″Ｃ〜８０：Ｃ程度の高
温にまで加熱するヒータ（１４Ｂ）、及び、力ｎ熱後の
高温熱風に対して水を噴霧する加湿ノズル（１４Ｇ）を
内装し、もって、高湿熱風発生装置０４１を構成すると
共に、その発生装置（１４）からの高湿熱風を噴出する
ノズル１１５）を混合室（８）内に設けである。

そして、混合室（８）内において高湿熱風噴出ノズル（
１荀よりも下流側に、高湿熱風との混合により加熱及び
加湿された通過空気を設定温度の水蒸気飽和状ａνこま
で冷却して露点制御する冷却コイル（１呻、及び、露点
制御された通過空気を設定吹出温度にまで加熱する再熱
コイルｆ１？）を設けである。

つまり、発生装置−からの高湿熱風との混合で通過空気
を加湿することｔこより、残存ミストの発生を伴なわな
い良好な加湿を行なえるように、又、加湿後の通過空気
を露点制御することにより、空調対象室（６）内の湿度
を設定湿度に精度良く維持できるようにしてああ。

前述調温調湿過程を第２図に２けるＴ−Ｘ線図で説明す
ると、予熱コイル（２）により■状態から（秒状態に加
熱された外気が■状態の家門からの排気との混合により
■状態となる。　そして、発生装置１１４）において■
状態にまで加熱、加湿された高湿熱風と上記、■状態の
通過空気との混合により通過空気が（の状態にまで加熱
、加湿され、その後に、冷却コイル四の通過に伴ない設
定温度の飽和状態■にまで冷却減湿されると共に、再熱
コイル（１７）で■状態から■状態にまで加熱されて、
その（り状態で室内に吹出供給されるのである。

次に別実施例を説明する。

高湿熱風発生装ｆｆｉ　（！（１）に備えるヒータ（＋
４ｕ）は、バーナや高温蒸気コイル等、各種型式のもの
を適用でき、又、発生装置（１４）内の加湿器（１４Ｃ
）も水噴きノズルに代えて蒸気噴霧ノズルを用いる等、
種々の型式の加湿器を適用できる。

発生装置（１４１からの高湿熱風と混合室（８）円通過
空気との一比率は、両省の設定温浸度、及び、室内供給
空気の設定温湿度に応じて適宜変更Ｊ能である。

昆円からの排気の一部と外気とを混合させるに代えて、
外気のみを混合室（８）に増大れるようにしても良い。

　又、冷却コイル１１６）による露点制御、及び、再熱
コイル同による再熱処理を省いて、発生装置０４）から
の高湿熱風との混合のみにより通過空気を室内供給温湿
度に１で加湿、加熱するようにしても良＜、ｖｈこ、予
熱コイル（２）も省略が可能である。

混合室鬼８）に通過空気冷却用エアワッシャーを組込ん
序゛す、又、露点制御用冷却コイル髪１φを利用（〜て
、冷房空調可能に構成しても良い。

更に、調温調湿の対象となる気体は、空気の他に、クリ
ーンルームの用途に応じて棹々の気体を適用でき、それ
ら気体を総称して処理気体と称する。

本発明による調温調湿装置は檀々の用途のクリーンルー
ムに適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は不発明の実施例を示し、第１図は、
全体系統図、第２図は、調温調湿過程を示すＴ−Ｘ線図
、第３図、及び第４図は、夫々従来構造を示す系統図で
ある。 （２）・・・・・・予熱器、（３）・・・・・・処理気
体取入口、（４）・・・・・・送風機、１５１・・・・
・・フィルター、ｔ６）・・・・・・対象室、（８）・
・・・・・混合室、（ｌＯ）・・・・・・還気装置、（
！４）・・・・・・高湿熱風発生装置、ｇ５）・・・・
・・ノズル。 代理人　弁理士　北　村　修

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ０）一端側を処理気体取入口（３）に、かつ、他端側を
   送風機（４）及びフィルター（５）を介して調温調湿対
   象室（６）に接続した混合室（８）を設け、前記取入口
   （３）からの処理気体を加熱及び加湿するための高湿熱
   風を、前記混合室（８）内に設けたノズル（１５）に供
   給する高湿熱風発生装置（１４）を設けであるクリーン
   ルーム用調温調湿装置。 （リ　前記処理気体取入口（３）と前記ノズル１１５）
   との間に予熱器（２）を設けである特許請求の範囲第（
   り項に記載のクリーンルーム用調温調湿装置。 ■　前記調温調湿対象室（６）からの排気の一部を前記
   ノズル（１５）よりも上流側において前記取入口（３）
   からの処理気体に供給する還気装置（ｌＯ）を設けであ
   る特許請求の範囲第０）項又は第（り項に記載のクリー
   ンルーム用調温調湿装置。