JPS60150734A - 反響検査プロ−ブおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、新しい種類のスタチック反響検査プローブと
、そのプローブの製造方法に関するものである。本発明
はまたそのようなプローブを組込んだ反響検査装置にも
関するものである。

〔発明の従来技術〕

現在量も広く用いられている反響検査プローブは、区分
掃引プローブ、すなわち、振動可動組立体、またはホイ
ールに装着されて放！）＝１窓を通過する際切り換えら
れるいくつかの１−ランスデコーーサを備えたもので４
うる。それらのブ［１−ブの性能は動作速度が高く、基
本的に簡ｑ１な構造のために比較的簡単で、安価な信号
処即装ＦＪ　ｈ′Ｘ得られる。結合表面が比較的小さい
から、プ［１−ブを心臓検査を行う患者の２本の肋骨の
間にプローブを配置できる。一方、それらのプローブの
１．７命は短い。

１−ランスデューサ素子を直線状に配置しＩζ装置はプ
ローブが大きいために、はとんど腹部の検査に用いられ
る。それらの装置においては、素子列に対して重信な方
向に掃引を行うようにトランスデユーサ素子（またはト
ランスデユーザ素子群）は順次切り換えられる。直線ア
レイプローブの技術が、プローブの結合表面を小さくし
、アレイのトランスデユーサ素子の間の遅れ（送波およ
び受波の）を分布させ、区分掃引をｉ′］′Ｉ構成し、
す／ｉわち、掃引範囲内に描かれている収束方向に送波
および受波づることどにより胸郭の検査に用いられてき
た。フェーズドアレイの名で知られているこの技術によ
り、結合表面の辺の長さが２０ｍｍをこえないスタチッ
クプローブが得られる。しかし、処］！Ｉ！電子装置は
非常に高価である。実際に、（少くとも受波側において
遅延線により）与えるべき遅延時間は１０マイクロ秒に
達し、それらの遅延時間が１０ナノ秒の誤差で与えられ
た場合のみ指向）りの制御が許容できるものとなる。し
かし、現在のところ、ぞのような精度はせいぜい２〜３
マイクロ秒の遅延時間でのみ得られるだけである。

この問題を解決するために、送波周波数を変化させ、受
番ノだ信号をデジタル情報に変換して、そのデジタル情
報に所定の遅延法則を適用することができる。この場合
周波数を変化させるための電子回路は装置の価格のかな
りの部分を占めることとなる。

更に、ある種の環状トランスデユーサプローブが知られ
ている。そのトランスデコーサブローブにおいては同心
の環状のトランスデユーサ素子群によりビームが発生さ
れる。この装置はベッセル関数「アンテナ図」　（主ロ
ーブに対して第二次ローブが１８ｄＢ減衰する）の利点
を有する。それらの環を動かして、所定の向きに超音波
放射掃引を行うように、平らなトランスデユーサ素子ア
レイからそれらの環を再構成するための提案がいくつか
行われている。しかし、そのような構成のプローブは高
価で、取り扱いが面倒なものになる（直線アレイのよう
に）ことが欠点である。更に、結合があまり良くない。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、全ての状況の下において患者の身体と
トランスデユー１ノ晃子との結合が優れており、結合面
積が小さく、例えば〈肋骨の間に通すことにより）胸郭
の内部の検査のために用いることができ、環を動かすこ
とにより少くとも部分的に区分掃引し得るスタチックプ
ローブ構造を得ることである。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本発明は凸状結合表面の少
くとも一部を覆うトランスデユー号素子をモザイク状に
配置して成る反響検査プ［１−ブを提供するものである
。

フェーズドアレイ（Ｐｈａｓｅｄ　ａｒｒｅｙ）とイウ
名称で知られている上記の装置に関して、本発明のプロ
ーブ（ま遅延法則のみにはよらずに、基本的には１ヘラ
ンスデユーサ素子を切り換えることにより、区分掃引を
行うという利点を有する。結合がはるかに良くなり、環
状プローブを用いた場合第二次ローブ１８ｄＢたり減衰
する。更にわかるであろうように、限られた数のマイク
ロアンギュレーション（１ｃｒｏａｎｏｕｌａＮｏｎ　
）を形成し環の素子の間に適切な遅延法則を用いること
により、環の各位置に対していくつかの送−受波動作を
も本発明は行うものである。しかし、この場合には、も
たらされる遅延時間ははるかに短いから、その遅延時間
を所要の粘度で遅延線にＪ：り達成することははるかに
容易である。

本発明は、凸状外面を有する圧電体ブロックの内面に絶
縁支持体をモールドする工程と、前記圧電体ブロックと
前記絶縁支持体により形成されている組立体からほぼ一
定の幅のスライスを切り取る過程と、 各スライス中の個々に区分されたトランスデユーｌす素
子のわん曲した列を形成するように、前記圧電体の全体
をそのたびに切断することにより、スライスの凸状わん
曲面に垂直な方向に一定の間隔でスライスを部分的に切
断する過程と、各導体がトランスデユー１ノ子の側面に
接触でるように、前記スライス中の１〜ランスデ］、　
−４ｆ　素子の数ど同数の個々に区分された導体を有す
るプリン１へ回路を各スライスの各側面に固定する過程
と、 凸状表面上に分布される１−ランスデコーリー素子のモ
ザイクを再構成するような順序で前記スライスを横に互
いにまとめて固定する過程と、を備えることを特徴とす
る反響検査プローブを製造する方法を提供するものであ
る。

本発明は、各スライスの凹状内面に絶縁支持体を成型す
る前に、圧電体のわん曲したスライスを個々に区分する
、上記方法の変更にも関するものである。

最後に本発明は、固定されたトランスデユーリープロー
ブを備えた種類の反響検査装置において、前記プローブ
は凸状結合表面を形成するトランスデューザ素子のエザ
イクを備え、同心環をほぼ形成の形にトランスデユーサ
素子を互いに選択的にまどめるため、およびその形を交
番掃引させるためのスイッヂング手段と、第１のの遅延
法則を種々の環に組合わせるだめの手段とを更に備える
固定された１〜ランスデユーサブローブを備えた種類の
反響検査装置にも関するものである。

環に適用されるこの第１の遅延法則は、集束（送波過程
と受波過程の両方において起こるダイナミック集束）の
特性を定める。再構成される画像の線の数を増重ために
、この反響検査装置は付加「延法則を合焦の種々の１−
ランスデューサ素子に組合わせるための第２の手段を含
む。同じ環の素子に関連するイれらのイ」加遅延法則は
第１の遅延法１１１１よりも類い遅延時間を与える。環
の形の中心を通る結合表面への法線の各側にお（プるマ
イク［ｌアンギコレーションを決定するのはそれらの伺
加遅延法則である。いいかえると、第１の遅延法則が単
独で適用されるものとすると、送波はその法線に沿って
行われ、各送波ごとに付加遅延法則がその法線に関する
与えられたマイクロアンギコレーションを決定する。環
の可能な各位買がいくつかの送波を行い、したがって再
構成される画像の何本かの線を生ずる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照して本発明をＫＴ　シ＜説明する。

第１図には本発明の反響検査ブ１１−ブ１１の端部が示
されている。このプローブの結合表面（ずなわち、検査
づべぎ患者に接触させる表面）１２は凸状で、その一部
がトランスデユーサ素子１３をモザイク状に配設して形
成されている。この例では、結合表面の全体的な形はス
カルキャップ（ｓｋｕｌｌ　ｃａｐ　）即ち略球冠面状
である。その叩出は、この形がプローブと患者の間の良
好な結合を行うのに最も適する形だからである。しかし
、たとえば回転放物面または回転長円面のような他の類
似の形も適当である。このプローブの好適な使用方法（
後に証明する）の１つが、同心の環がプローブの一方の
側から他方の側へ動りＪ：うにするためトランスデユー
サ素子を選択および切り換えることにあるから、円筒形
凸状面を考えることもできる。したがって、最大の環の
直径に等しい幅を有するモザイク条を有する円筒面が適
当である。

同じ理由から、球面状スカルキャップ、回転放物面また
は回転長円面には必ずしも結合表面の全体にわたって［
ザイクが設けられず、環掃引動作を行う用途には’［Ｉ
Ｊ”イク条で十分である。

構造的には、プローブはわん曲したｌ−ランスデ］−１
す素子列をそれぞれ有Ｊ−るスライスを横に並べて構成
できる。それらのスライスの平均曲率半径は異なる。

第２図はそのようなプローブを作る１つの方法を示づも
のである。スカルキャップ１４の形（第２図（ａ））の
圧電材料ブ［１ツクは種々の装置のための超音波技術に
おいて現在用いられているから、プローブの製作はスカ
ル−１＋７ツブの形の圧電体ブロックから始めると有利
である。スカルキャップ１４の凹状面に絶縁支持体１５
を鋳造即ちモー４１’する（１２図（ｂ））。それらの
絶縁支持体をモールドする技術は当業者には周知のもの
である。次に、たとえば非常に薄いのこぎり１８を用い
てスカルキャップの中央の条からスライス１７を互いに
平行に切り取る（第２図（Ｃ））。

したがってそれらのスライスの平均曲率１′径は賃なる
。それらのスライスを個々に区分した後で、それらのス
ライスを凸状わノυ曲面に垂直な方向に沿って一定の間
隔で切断Ｊ“る（第２図（ｄ））。

したがって（絶縁支持体に（螢かに刻み目をつ（プる（
刃が絶縁支持体に達するＪ：うにする）ことにより）常
に圧電体全体を切断するように切断に用いるのこぎり１
９を調整することにより、各スライスにおいて、個々に
区分された１−ランスデューサ素子１３のわん曲した列
を形成する。イれと同時に、スライスが有する１−ラン
スデューサ素子の数と同数の個々に区分された導体２１
を有Ｊるプリント回路２０を製作する（第２図（ｅ））
。それから、各導体２１がトランスデコー奢す索子１３
の側面に接触するように、この種のプリン１−回路を２
つ各スライスの各側面に（たとえば接合にＪ：す）固定
する。次に、それらのスライスを切断１ノた時の順序と
同じ順序で１１ｆび組合わせる（すなわち、比較的一定
の凸状面の上に分布されるトランスデ」−サ素了のＬザ
イクを再構成するように）、たどえば接合にＪ：りそれ
らのスライスを横に固定する。

プローブの製作のこの段階において、個々に区分されて
いるトランスデ］、　−＋Ｊ−素子の数と同じ導体対数
が得られる。環掃引を希望する時は、適用する遅延法則
は結合表面に垂直なぞの結合表面の対称平面であって、
それに環の中心の希望の経路が描かれるような対称平面
に関して対称的なトランスデユーサ素子に対して同じで
あることに注意づべきである。したがって、イの平面に
関して対称的なトランスデユーサ素子に接続される導体
を並列なたは直列くなるべくプローブのヘッドのすぐ内
側に）接続すると有利である。このようにすることによ
り、信号を処理する電子装置に接続すべき導体の数が半
分に減少する。

第３図は３つの同心環２６，２７．２８　（プラス中央
部分２５）を有する可能な形を示す。この形は第１図に
可能な掃引位置において示されている。中央部分２５は
４個の素子をイ１し、第１の環２６は２８個の素子を有
し、第２の環２７は５２個の素子を有し、第３のｔ５１
２８は７２個の素子を有する。

各送−受動作ごとに電子装置は、環の各位Ｖ１ごとに、
互いに隣接覆る１５６個のトランスデ７−サ素子をまず
選択せねばならない。この環の形は環が動く向きにおい
て、前記対称平面の附近で１４個のトランスデユーサ素
子を占める。更に、結合表面の直径が３０ｍｍであり（
その結合表面が半球面であると仮定して）、かつトラン
スデユーサ素子を切ｌ１ｌｉＪ−るピッチが１．５綱で
あるどづると、対称平面に最も近い２つのスライスは３
０個位のトランスデユーサ素子を有することになる。

したがって、この環の形の可能な位置の数は１６である
。

種々の環の間で第１の遅延法則をプログラミングするこ
とにＪ：す（中央部分２５はぞれらの環の１つに同化さ
れる）、指向性が非常に強い集束を行わせることができ
、ビームが環の中心から結合表面へ垂直に放口・１され
る。それらの遅延の４尊は当業者にとっては容易である
。それらの遅延時間（，１、環の中心に対する法線に追
従づる波面が、種々の環の寄与の間の送波方向における
良好な位相の一致が得られるように、種々の平面内に位
置させられている秤々の環から放射される超音波の種々
の伝播時間を補償したものに相当する。それらの８延時
間は１〜３マイクロ秒のオーダーである。

したがって、それらの遅延時間は１０ナノ秒のオーダー
という高い精度で実現することが技術的に可能である。

それらの遅延時間は使用しなければならない最長の遅延
時間である。しかし、その遅延時間を生ずる「延線のコ
ストはその遅延線の使用を断念しな【）ればならないほ
ど高くはなく、しかもどのＪ：うな場合にちぞのＪ：う
な遅延線の使用数は限られる（ここで説明している例で
は３本である）。遅延は外側の環から与えられる。いい
かえると、（送波時に）外側の環を励振する時刻が、以
後の環を励振するまでに刻時される種々の遅延時間の基
準を成Ｊ０ ここで、第３図に示？Ｉ環の形について更に詳しく説明
する。外環はトランステコ−１１Ｍ子２個分に相当する
「幅」を有するがら、外環を２段階に選択ηることによ
り前記第１の遅延法則を１改善できる」。したがって、
異４Ｔる遅延を外環の内側トランスデフー）Ｊ素子と外
側トランスデー７−リー素子に適用できる。それは、第
３図に示す形が実際には６個の環を有すると考えること
に相当する。

もっとも、それらの環の形は中心部の形に一層近い。超
音波の希望の浸透深さに応じて環の数を変えること、お
よび送波と受波の間の同じ励振動作にｔ；　１．ノる環
の数を変えることも可能で・ある。

しかし、環の形の可能な位置の数は、ここで説明してい
る例では僅かに１６個所であることを先に見た。その理
由は、環の各位置において、法線の各側面にある数のマ
イク１］アンギユレーシヨンが形成されることがあるか
らである。したがって、右側の４つのマイクロアンギル
−ジョンと左側の４つのマイクロアンギュレーションの
ために環の形の各位ｉ＆に対して更に８木の線が与えら
れる。

す°なわち、１４１１本の線で形成された画像が与えら
れる。再び第３図を参照する。この図において、環の形
ｔま正規直交基Ｗ１面ｘｏｙ上に中心を首ｈτれる。こ
こに、軸Ｘ′ｏＸは掃引方向を示し、種々の１−ランス
γコーザ素子は、ｘ’ｏｘ軸に沿っては正方向には数字
１．２．３・・・等で示され、負方向には数字１’　、
２’　、３’　・・・等で示され、ｙ’ｏｙ軸に沿って
は正方向には文字Δ、［３，Ｃ・・・等で示され、負方
向には文字Δｌ　、　Ｂ　Ｉ　、　Ｃｌ・・・等で示さ
れる。種々の１〜ランスデコーり素子の励振順序は、図
面を参照して「左側」のマイクロアンギュレ〜ジョンに
対しては次の通りである。

環２８： Ｂ７とＢ’　７〜Ａ７とＡ’　７〜Ｄ６とＤ’　６〜Ｃ
６とＣ’　６〜Ｂ６とＢ’　６〜八〇と八′　６〜Ｆ５
とＦ’　５〜Ｅ５どＥ’　５〜Ｄ５とＤ’　５〜Ｃ゛、
へとＣ’　５〜Ｆ４とＦ’　／Ｉへ−Ｅ４とＥ’　４〜
Ｃ３とＧ’　３〜Ｆ３とＦ’　３〜Ｇ２どＧ’　２〜Ｆ
２とＦ’　２〜Ｇ１とＧ’　１〜Ｆ１とＦ’　１〜Ｇｌ
’どＧ′１′〜Ｆｌ’とＦ′１′〜Ｇ２’　とＧ′　２
′〜Ｆ２’　とＦ′　２′〜Ｇ　３　’　とＧ′　３′
〜Ｆ３’　とＦ′３′〜Ｆ４’　ど［′４′〜［／１′
ど「′４′〜Ｆ５’　とＦ′５′〜Ｆ５’とＥ′５′〜
Ｄ５′　とＤ’　！−）’〜Ｃ５’　とＧ′　５′〜Ｄ
６’　と１）’６’〜Ｃ６’　とＧ′　６′〜Ｂ６’　
とＢ′　６′〜Ａ６’　と八′　６′〜１３７’　とＢ
′　７′　とへ７′　とＡ′　７′〜環２７　： Ｂ５とＢ’　５〜Δ５とＡ’　５へ・ｌ）４とＤ’　４
〜Ｃ４とＣ’　４〜１３４と１１’／Ｉ〜△４とＡ’　
／Ｉ〜［３とＦ’　３〜Ｄ３と１〕′３〜Ｃ３とＣ’　
３〜Ｆ２．！：Ｆ’　２〜ｌ’）２．！ｌ：Ｉ’）’　
２〜Ｅｌとト′　１へ・ＤｌとＤ′　１′〜Ｅｌ’　と
Ｅ′　１′〜ＤＩ’　とＤ′　１′〜Ｅ２′とＦ′　２
′〜Ｄ２’　とＤ′　２′〜Ｅ３’　とＦ′３′〜０３
’　どｌ）’３’〜Ｃ３’とＧ′３′〜Ｄ４’　とＤ′
４′へ・Ｃ４′とＧ′４′〜Ｂ４’　とＢ′４′〜Ａ／
ｌ’　とＡ′４′〜Ｂ５’　とＢ’５’　〜Ａ５’　と
Ａ′　５′〜環２６： ［３３と８’　３〜Ａ３と八′　３〜Ｃ２とＣ’　２〜
Ｂ２と８’　２〜Δ２とΔ′　２〜Ｃ１とＣ’　１〜［
３１とＢ’　１へ・ｃｉ’　とＧ′　１′〜Ｂ２’　と
１１’２’　〜Ａ２’　とΔ′　２′〜Ｂ３’　とＢ′
　３′〜Δ３′と八′３′。

中心部２５： △１とＡ’　１〜Ａ１′とＡ′　１′ ［右側」のマイクロアンギコレーションに対してはトラ
ンスデユー１す素子を逆の順序に励振する必要がある。

同時に選択されるトランスデユーザ素子は、先に説明し
たように、ブ１］−ブヘッド内でイｆ′１亙に接続され
るトランスデユーサ素子である。

したがって、外側の環２８に対しては３５回分の遅延時
間が数えられ、わわ２７に対しては２５回分の遅延時間
が数えられ、環２６に対しては１１回分の遅延時間が数
えられ、中心部２５に対して【：１１回分の遅延時間が
数えられて、合計７２回分の遅延時間が数えられる。

それらの遅延時間の値は希望のマイクロアンギコレーシ
ョンに依存する。したがって、（環の形に対して）関係
のあるトランスデ：ｌ−＃ｊ素子をそれらの１〜ランス
デコーサ素子に？１１１当てられた遅延線に組合わせる
ために１組のプロゲラ１１可能な遅延線と切換えマトリ
ックスが用いられる。これについては復で更に説明する
。遅延時間の計算は当業者にとっては容易である。それ
らのνＹ延時間は、ｌ？ｌＳ望のマイクロアンギュレー
ションの方向にお番ノる波面が、１〜ランスデユー＋Ｊ
素子の寄与の間の良好な位相の一致が得られるように、
種々の１−ランスアコ−１ノ素子から放射された超音波
の種々の伝播時間の補償に単に相当する。

次に、以上３２明したプｎ−ブを用いて９１作できる反
響検査装置の一実施例を説明する。この装置は第１のｉ
Ｉヱ延線群（それらの遅延線ｔよいくらかの比較的長い
遅延時間を与え、環の間に設けられる）３０と、遅延線
群３０を種々の環に組合ね仕るための群化マトリックス
３１と、第２のプログラム可能な遅延線群（第３図に示
り°実施例に従って数は７２本）３２と、この第２の遅
延線群３２の遅延線とモザイクの種々のトランスｉコー
サ素子（互いに対称的に対としてまとめられる）の間に
相互に接続される切換えマトリックス３３とを有１“る
。この装置は遅延線群３０の出力端子における受信信号
と、このレベルにおいて遅延が行われない外側環に対応
するマトリックス３１の独立した入力端子（接続点３１
ａ）における受信信号を互いにまとめる加算増幅器３４
も有する。超音波信号発信器３５も遅延線群３０の遅延
線と接続点３１ａに接続される。この装置は、送波ばか
りでなく受波のためにも遅延線ど群化マトリックス３１
と切換えマトリックス３３を使用するが、受波のためだ
けにそれらのマトリックスと遅延線を使用する実施例を
用いることができ、複数の超音波発信器に結合されてい
る制御ロジックにより放射遅延が生ずる場合には、各発
信器は一対の対称的なトランスデコーサ素子に直結され
る。

切換えマトリックス３３は従属接続されたアナログマル
チプレクサの集合体から作ることができるから、モザイ
クの任意のトランスデユーサ素子対を遅延線群３２の任
意の遅延線に接続できる。

先に説明した実施例においてはマトリックス３３はブロ
ー１側に２１０個の端子を有し、遅延線群３２側に７２
個の端子を有づ゛る。

５ＩＩＩＣＯＮｒＸという商品名で販売されているＤＧ
５．０７型アナログマルチプレクリ群をたとえば従属接
続して使用できる。それらの各マルチプレクサは１６個
のアナログスイッチを有する。

それらのアナログスイッチは、１６個の入力端子と共通
の出力端子を右ｊるように、ひいに接続される。それら
のスイッチの切換えは集積化された５人カデコーダによ
り制御される。そのデコーダはコード化されたデジタル
情報を受りる。、遅延線群３２の各入力端子に対して、
１６の群にまとめられた全てのトランスデユーサ素子対
に接続するのに十分な数だけマルチプレクシの第１の段
と、この第１の段の出力を入力端子において組合わせる
第２の段（単一のユニット）とを設けることができる。

第２の段の入力端子は遅延線群３２の１本の遅延線に接
続される。

それらの遅延線はプログラム可能である、寸なわち、遅
延時間を変えることができる。そのような遅延線のｖ本
釣な横乃を第５図に示−ツ。その遅延線は所定の遅延時
間に対応りφ多くの（／ｊとえば８個）の入力端子をイ
］する２本の遅延線に分けられる。線３６【よ「知いＪ
範囲の遅延時間を与え、線３７は１−長い」範囲の遅延
時間を与える。８個の入力端子と１個の出力端子を有づ
る２つのアナ［］グマルチブレクサ３８．３９の入力端
子が遅延線３６．３７の出力端子にそれぞれ接続される
。

マルチプレクリ３８の出力端子は遅延線３７の入力端子
に接続される。

群化マトリックス３１の構造は非常に簡単である。

群化マトリックス３１の役割は実際には、種々の環に属
づ゛るＩ−ランスデューサ素子を１識別」づ。

ることだけｅある。したがって、遅延線群３２の遅延線
の入力端子のうちの４つの群を決定し、そのうちの３つ
を遅延線群３０の３本の遅延線に接続し、４番目の群を
加算増幅器３４と超音波信号発信器３５に接続するのは
静止群化マトリックスだけである。遅延線群３０の遅延
線はプログラム可能である必要はない。

遅延線は、ある遅延値を遅延ｆｍ３６に加え、ある遅延
値を遅延線３７に加えるというように遅延線群３２の７
２個のプログラム可能な各遅延線ごとに遅延値を加える
ことにより各送−受動作時にプログラムできる。それら
の遅延線は希望のマイクロアンギュレーションに依存す
る。マトリックス３３０役割は、モザイク十の環の形の
与λられた位防に対応する全てのトランスデユ−サ素子
対ることである。

そのために、この装置はプログラム可能なメ干り（ＰＲ
ＯＭ）４．０にＪ：り完結される。そのＰＲＯＭにはマ
トリックス３３ど遅延１群３２をアドレッシングするた
めのプログラムが１回だけ書込まれる。このメモリの読
出し動作はマイクロプロセッサ４１ににり制御される。

このマイクロプロセッサは超音波信号発信器３５の動作
開始も制御する（パイロット接続４２）。増幅器３４は
受りた反則信号を表す信号を互いに加え合わせ、ぞれに
送信時に加えた遅延法則と同じ遅延法則を加える（受波
における集束）。増幅器３４の出力信号（出力Ｓ）が処
理され、更に詳しくいえば「窓をあけられ」でからテレ
ビジョン受像機における映像信号として用いられる。そ
れらのビデオ信号において画像が線ごとに再構成される
。

メモリ４０は、プローブの表面において環の形を完全に
掃引するために、マトリックス３３と「延線群３２を逐
次アドレッシングするための全ての指令を含む。いいか
えると、マトリックス士の環の形の位置を選択するマト
リックス３３のアナログマルチプレクサを位ＩＮさせ、
かつ希望のマイク日アンギュレーション値に依存して遅
延線群３２の種々の遅延線をプログラミングした後で、
送−受動作が行われる。マトリックス３３は９回の送波
（右へ４回のマイクロアンギュレーション、左へ４回の
マイクロアンギュレーションおよび表面へ垂直に１回）
の間この状態に留る。各送波の後でメモリ４０を部分的
に読出すことによりそれらの遅延時間は変えられる。そ
れからメモリ４０は、トランスデユーサ素子の幅に対応
する距離だけ、掃引の方向に環の形を進ませるように切
換えマトリックス３３を駆動し、それからマイクロアン
ギュレーション動作が再び開始される。１４４本の線の
完全な画像が完全な線引で１５ｔられるまでそれらの動
作はくり返えし行なわれる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプローブの概略図、第２図（ａ）〜（
ｅ）は本発明のプローブを製造する工程を示す略図、第
３図は第１図に示すプローブの表面上を動かされる環の
形の平面図、第４図は第１図に示すプローブで動作する
反響検査装置のブロック図、第５図は遅延線の基本的な
構成を示すブロック図である。 １１・・・反響懺２査プローブ、１２・・・結合表面、
１３・・・１〜ランスデ１−ザ素了、１４・・・スカル
キャップ、１５・・・絶縁支持体、１７・・・スライス
、３０・・・遅延線群、３１・・・群化マトリックス、
３２・・・プログラム可能な遅延線群、３３・・・切換
えマトリックス、３４・・・加算増幅器、３８．３９・
・・アナログマルチプレクサ、４０・・・プログラム可
能なメモリ、／１．１・・・マイクロプロセッサ。 出願人代理人　猪　股　清 ｉｅ　５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　凸状の結合表面の少くとも一部を覆うようにトラ
   ンスデユーサ素子をモザイク状に配置したことを特′ｍ
   する反響検査プローブ。 ２、特許請求の範囲第１項記載のプローブであって、前
   記凸状結合表面はスカルキャップ状であることを特徴と
   するプローブ。 ３、　特許請求の範囲第１項記載のプローブであって、
   横方向に絹ｔｒ−てられたスライスを備え、各スライス
   はわん曲した１〜ランスデユ一サ素子列を備え、それら
   のスライスは異なる平均曲率半径を右することを特徴と
   づ゛るプローブ。 ４、　特許請求の範囲第３項記載のプローブであって、
   各トランスデユーサ素子の２つの導体が横方向にそれぞ
   れ固定され、前記凸状結合表面の対称平面に関してス・
   １称的なＩ−ランスデ：ｌ−サの導体は、前記トランス
   デユーりが並列または直列に接続されるように、互いに
   接続されることを特徴とづ−るプローブ。 ５、　特許請求の範囲第３項または第４項記載のプロー
   ブであって、各１ヘランスデー１−サ索了に対して、個
   々に区分された導体を備える２つのプリント回路の異な
   るプリン１〜回路に属する２つの導体が前記トランスデ
   ユーり素子の側面に接触するＪ：うに、それら２つのプ
   リント回路が各スライスの各側面に横方向に固定される
   ことを特徴とするプローブ。 ６、　凸状外面を有する圧電体ブロックの内面に絶縁支
   持体をモールドする］二稈と、前記圧電体ブロックと前
   記絶縁支持体により形成されている組立体からほぼ一定
   の幅のスライスを切り取る過程と、 各スライス中の個々に区分されたトランスデユーサ素子
   のわん曲した列を形成するように、前記圧電体の全体を
   そのたびに切断することにより、スライスの凸状わ７０
   曲面に唾直な方向に一定の間隔でスライスを部分的に切
   断する過程と、各導体がトランスデユーサ素子の側面に
   接触するように、前記スライス中のトランスデユーサ素
   子の数と同数の個々に区分された導体を有するプリン１
   〜回路を各スライスの各側面に固定する過程と、 凸状表面上に分布されるトランスデユーサ素子のモザイ
   クを再構成するような順序で前記スライスを横に互いに
   まとめて固定する過程と、を備えることを特徴とする反
   響検査プローブを製３２ｉする方法。 ７、　異なる平均曲率半径を有し、横に並べて組合わせ
   ることにより凸状の外面をほぼ再構成できるような、一
   定の幅のわん曲した圧電体のスライスを個々に区分する
   過程と、 各スライスの凸状内面に絶縁支持体をモールドＭろ過程
   と、 各スライス中の個々に区分されたトランスデユーサ素子
   のわん曲した列を形成するように、前記圧電体の全体−
   をそのたびに切ｌ１７ｉ、ＩＪることにより、スライス
   の凸状わん曲面に垂直な方向に一定の間隔でスライスを
   部分的に切ＷＩｔろ過程と、各導体が１〜ランスデコー
   ４Ｊ素了の側面に接触するように、前記スライス中の１
   −ランスデューサ素子の数と同数の個々に区分された導
   体を有するプリント回路を各スライスの各側面に固定１
   −る過程と、 凸状表面上に分布されるトランスデユーサ素子のモザイ
   クを再構成するような順序で前記スライスを横に互いに
   まとめて固定する過程と、を佑えることを特徴とする反
   響検査プローブを製造する方法。 ８、　固定されたトランスデコーリプローブを備える種
   類の反響検査装置において、前記プローブは凸状結合表
   面を形成するトランスデユーリ′素子のモザイクを備え
   、同心環をほぼ形成する形にトランスデユーサ素子を互
   いに選択的にまとめるため、おにびその形を交番掃引さ
   けるためのスイッチング手段と、第１の遅延法則を種々
   の環に組合わ１！るための手段とを更に備えることを特
   徴とする固定された［・ランスデコーサブローブを備え
   に反響検査装置。 ９、　特許請求の範囲第８項記載の装置であって、イ４
   加近延法則を合焦の種々のトランステコ−１１素子に組
   合わせるための第２の手段を更に備えたことを特徴とづ
   る装置。