JPS6015254B2 - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチInfo
- Publication number
- JPS6015254B2 JPS6015254B2 JP12019380A JP12019380A JPS6015254B2 JP S6015254 B2 JPS6015254 B2 JP S6015254B2 JP 12019380 A JP12019380 A JP 12019380A JP 12019380 A JP12019380 A JP 12019380A JP S6015254 B2 JPS6015254 B2 JP S6015254B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- polarized light
- layer
- light component
- phase matching
- Prior art date
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- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、透明な電気光学結晶薄板中を光ビームが反射
を繰返しながら導波され、かつ該反射によって生じるP
偏光成分とS偏光成分との位相ずれを実質上等しくする
ようにした光スイッチ特にその電極構成に関するもので
ある。
を繰返しながら導波され、かつ該反射によって生じるP
偏光成分とS偏光成分との位相ずれを実質上等しくする
ようにした光スイッチ特にその電極構成に関するもので
ある。
従来から電気光学結晶の光導波体を用いて例えば光スイ
ッチを含む光変調器を構成することが行なわれる。
ッチを含む光変調器を構成することが行なわれる。
第1図はその概略構成を示し、1は電気光学結晶薄板、
2,2′は該薄板の例えば上下表面に設けた電極、3は
電源、4は偏光子、5は検光子である。このような光変
調器は、電極2,2′間に電圧Vを印加することによっ
て簿板1の屈折率を変え、偏光を制御する。
2,2′は該薄板の例えば上下表面に設けた電極、3は
電源、4は偏光子、5は検光子である。このような光変
調器は、電極2,2′間に電圧Vを印加することによっ
て簿板1の屈折率を変え、偏光を制御する。
例えば光スイッチの場合は偏光子4で入射光を所定方行
の偏光とし、薄板1でその偏光方向を変え、ある方向の
偏光とそれとは9ぴをなす他の方向の偏光を分離する検
光子5により薄板1を通って来た偏光をスイッチングす
る。この場合薄板1で所望の偏光を得るためには、薄板
1の厚さdを小にして電界を大にするか、長手方向(光
導波方向)の距離1を大にするか、或いは電源3の電圧
Vを大に選ぶ必要がある。一般にはこの種の素子は数千
Vで動作させるが、装置の小型化、低廉化などのために
は電源電圧Vは可及的に低いことが望まれる。電源電圧
を小にして上記所望の偏光を得ようとすると、例えば厚
さdを60〃机、距離1を2伽程度に選ぶことが必要と
なり、値1/dが非常に大となる。この様な条件下で光
ビームLを薄板1の端面laに対して直角に入射すると
、光ビームの入射蓬に反比例して導波過程のビーム径が
拡大する煩向をもつので、必然的に薄板1の上、下両表
面に衝突し、そこで反射し、これを繰り返すことになる
。そして、この反射時に光ビーム中に含まれるP偏光成
分とS偏光成分の位相ずれに差が生じる。なおこの理由
で本素子では厚みdを4・にすることは止むを得ないと
しても、幅Wは充分大にしておく。第2図は入射角を横
軸にとって示したP偏光成分とS偏光成分の各入射光と
反射光との位相ずれを表わしている。上記簿板1内にお
いて生じる反射は入射角が90o近傍になるものである
が、第2図から判る如く、入射角が87程度であるとし
ても、1回の反射によってP偏光成分とS偏光成分との
各位相差には差△が生じ、そして反射回数が増加するに
つれて上記影響が大となる。このため第1図の構造では
上記値1/dを大に選ぶことに限界があり、位相制御量
を増加するためには上記電源電圧を大にする必要が生じ
る。
の偏光とし、薄板1でその偏光方向を変え、ある方向の
偏光とそれとは9ぴをなす他の方向の偏光を分離する検
光子5により薄板1を通って来た偏光をスイッチングす
る。この場合薄板1で所望の偏光を得るためには、薄板
1の厚さdを小にして電界を大にするか、長手方向(光
導波方向)の距離1を大にするか、或いは電源3の電圧
Vを大に選ぶ必要がある。一般にはこの種の素子は数千
Vで動作させるが、装置の小型化、低廉化などのために
は電源電圧Vは可及的に低いことが望まれる。電源電圧
を小にして上記所望の偏光を得ようとすると、例えば厚
さdを60〃机、距離1を2伽程度に選ぶことが必要と
なり、値1/dが非常に大となる。この様な条件下で光
ビームLを薄板1の端面laに対して直角に入射すると
、光ビームの入射蓬に反比例して導波過程のビーム径が
拡大する煩向をもつので、必然的に薄板1の上、下両表
面に衝突し、そこで反射し、これを繰り返すことになる
。そして、この反射時に光ビーム中に含まれるP偏光成
分とS偏光成分の位相ずれに差が生じる。なおこの理由
で本素子では厚みdを4・にすることは止むを得ないと
しても、幅Wは充分大にしておく。第2図は入射角を横
軸にとって示したP偏光成分とS偏光成分の各入射光と
反射光との位相ずれを表わしている。上記簿板1内にお
いて生じる反射は入射角が90o近傍になるものである
が、第2図から判る如く、入射角が87程度であるとし
ても、1回の反射によってP偏光成分とS偏光成分との
各位相差には差△が生じ、そして反射回数が増加するに
つれて上記影響が大となる。このため第1図の構造では
上記値1/dを大に選ぶことに限界があり、位相制御量
を増加するためには上記電源電圧を大にする必要が生じ
る。
しかし、低電圧化は勿論重要なことである。この低電圧
化についてはシングルモードの光に対しては光集積回路
が開発されており、これには数Vの電圧で駆動できるも
のがある。しかし、これを本発明が意図するマルチモー
ルドの光に適用することは困難なので、他の方法により
低電圧化を図る必要が生じる。本発明者等は先にマルチ
モードに適用できる低電圧駆動型の光導波装置を提案し
た。
化についてはシングルモードの光に対しては光集積回路
が開発されており、これには数Vの電圧で駆動できるも
のがある。しかし、これを本発明が意図するマルチモー
ルドの光に適用することは困難なので、他の方法により
低電圧化を図る必要が生じる。本発明者等は先にマルチ
モードに適用できる低電圧駆動型の光導波装置を提案し
た。
これは電気光学結晶薄板の上下両表面に多層構造の位相
整合膜を付着してP波、S波の各位相ずれに差がないよ
うにしたものである。この原理は特脇昭55−4077
6号の明細書に記載してあるが、概述すると次のように
なる。第3図に示す如く屈折率n,の物質と屈折率n2
(n,>払)の物質との境界6に対して入射角のをもっ
て入射されたP偏光成分とS偏光成分との夫夫の全反射
による位相ずれ△pと△sとは次の如く表わされる。
整合膜を付着してP波、S波の各位相ずれに差がないよ
うにしたものである。この原理は特脇昭55−4077
6号の明細書に記載してあるが、概述すると次のように
なる。第3図に示す如く屈折率n,の物質と屈折率n2
(n,>払)の物質との境界6に対して入射角のをもっ
て入射されたP偏光成分とS偏光成分との夫夫の全反射
による位相ずれ△pと△sとは次の如く表わされる。
(但しsinの。
in2/n.)一方第4図図示の如く、屈折率〜の透
明体1に対して屈折率n,(n,>〜)の薄膜7を厚さ
tだけ設けかつその上に屈折率w(山<比<n,)の薄
膜8を被着させたときに生じる1往復反射時の光行格長
付加による位相ずれ△′は、ビームの進行方向を垂直に
同位相面があるとして、△′:物{器〆今−他nのSi
n◇/令} .・・.・物となり、
nosjnJ=n.sinのなる関係式を代入して整理
すれば、△′=今穿2侭の ……【31 となる。
明体1に対して屈折率n,(n,>〜)の薄膜7を厚さ
tだけ設けかつその上に屈折率w(山<比<n,)の薄
膜8を被着させたときに生じる1往復反射時の光行格長
付加による位相ずれ△′は、ビームの進行方向を垂直に
同位相面があるとして、△′:物{器〆今−他nのSi
n◇/令} .・・.・物となり、
nosjnJ=n.sinのなる関係式を代入して整理
すれば、△′=今穿2侭の ……【31 となる。
この場鍔‐o《1として1次式で近似すると、tanの
、cosの、sinJは定数と見なせる。上記01式で
与えられる位相ずれと剛式等で与えられる位相ずれの合
成を、P偏光成分について6p、S偏光成分について6
sとする。これらはぐごw/2のとき、比、n,、n2
、tで定まる。更にP偏光成分とS偏光成分との振幅反
射係数rp・rSはで与えられ、 ◇=芸−8(8《1) とすると、8の1次まで考えて第{41式はとなる。
、cosの、sinJは定数と見なせる。上記01式で
与えられる位相ずれと剛式等で与えられる位相ずれの合
成を、P偏光成分について6p、S偏光成分について6
sとする。これらはぐごw/2のとき、比、n,、n2
、tで定まる。更にP偏光成分とS偏光成分との振幅反
射係数rp・rSはで与えられ、 ◇=芸−8(8《1) とすると、8の1次まで考えて第{41式はとなる。
なお上記kpおよびksはno/n,で定まる定数であ
る。上記は第4図図示の反射に関して1往復の反射につ
いて基本的な係数を説明するものであるが、実際には図
示の如く薄膜7内で複数回の反射が繰返される。
る。上記は第4図図示の反射に関して1往復の反射につ
いて基本的な係数を説明するものであるが、実際には図
示の如く薄膜7内で複数回の反射が繰返される。
したがって、これら複数回の反射にもとづいて得られる
全反射光について考えるべきであり、入射光の振幅を「
1」とすると全反射光の振幅LはP偏光、S偏光それぞ
れに対しL=r十三三ご 肌‘6’ で与えられるこの全反射光の振幅値(複素数)Lの位相
角の正接tanを(実数部を虚数部の比)をみると、L
=公十(1十r2にos6十i(1一ぶちin61十r
2十公cos6であるから、 kasin6 ……【7}ねnさ=び
a−・)(1−cos6)となり、8《1とすると競7
1式は 松nf=C毒 襲撃士‐8 ‐‐‐‐‐‐‘8}とな
る。
全反射光について考えるべきであり、入射光の振幅を「
1」とすると全反射光の振幅LはP偏光、S偏光それぞ
れに対しL=r十三三ご 肌‘6’ で与えられるこの全反射光の振幅値(複素数)Lの位相
角の正接tanを(実数部を虚数部の比)をみると、L
=公十(1十r2にos6十i(1一ぶちin61十r
2十公cos6であるから、 kasin6 ……【7}ねnさ=び
a−・)(1−cos6)となり、8《1とすると競7
1式は 松nf=C毒 襲撃士‐8 ‐‐‐‐‐‐‘8}とな
る。
P偏光成分に対応したkpやS偏光成分に対応したks
を導入して両偏光成分に対応する上記正藤tanfが等
しいつまり位相ずれが等しくなる条件を求ると、生−s
in6卒1‐cos8p) ……【91k
S一sin6p(1−cos6S)となる。
を導入して両偏光成分に対応する上記正藤tanfが等
しいつまり位相ずれが等しくなる条件を求ると、生−s
in6卒1‐cos8p) ……【91k
S一sin6p(1−cos6S)となる。
ここで左辺はno/n,で定まり、右辺は比/n,、リ
ノn,、n、tで定まるので、Q、tを選択して上記【
9}式を満足させることができる。一例としては次のも
のが考えられる。比三2,2・nlニ2,6 n2ニ2
,1i ^ニ1,3〆の、d=3615A。
ノn,、n、tで定まるので、Q、tを選択して上記【
9}式を満足させることができる。一例としては次のも
のが考えられる。比三2,2・nlニ2,6 n2ニ2
,1i ^ニ1,3〆の、d=3615A。
の如くなる。
第5図は上述した原理に基づく光導波装置である。
最外層には電極2,2′を設けられ、これらの電極に印
加する電圧Vを変えて光スイッチとして動作する。この
光スイッチは前述した値1/dを大にしてもP偏光とS
偏光との間に位相ずれが生じないので(位相ずれが生じ
ると特性上種々不具合を生じる)、電源電圧Vを低くす
ることができる。例えばd=50仏凧、1=1仇、V=
20〜30Vが可能である。第6図は、第5図に示す2
層構造の位相整合膜7,8(伍<〜<n,)による間・
題点(波長依存性)を解決した光スイッチであり、山>
〜>n,、n3なる関係の3層構造の位相整合膜7〜9
を有する。ところで第5図、第6図の光スイッチはいず
れも金属電極2,2′を最外層に付着した構造であるた
め、位相整合膜7〜9のいずれか又は全部の絶縁抵抗が
高いと薄板1に充分な電界が加わらない欠点がある。
加する電圧Vを変えて光スイッチとして動作する。この
光スイッチは前述した値1/dを大にしてもP偏光とS
偏光との間に位相ずれが生じないので(位相ずれが生じ
ると特性上種々不具合を生じる)、電源電圧Vを低くす
ることができる。例えばd=50仏凧、1=1仇、V=
20〜30Vが可能である。第6図は、第5図に示す2
層構造の位相整合膜7,8(伍<〜<n,)による間・
題点(波長依存性)を解決した光スイッチであり、山>
〜>n,、n3なる関係の3層構造の位相整合膜7〜9
を有する。ところで第5図、第6図の光スイッチはいず
れも金属電極2,2′を最外層に付着した構造であるた
め、位相整合膜7〜9のいずれか又は全部の絶縁抵抗が
高いと薄板1に充分な電界が加わらない欠点がある。
例えば第6図の構造では第1層7と第3層9がシリコン
酸化膜(Si02)であってその絶縁抵抗が薄板1より
数桁高いので、容量効果によって電圧Vの印加初期には
薄板1内に電界が生じるものの、時間が経過する(充電
が進行する)と該電界は弱いものになってしまう(ドリ
フトを生じる)。本発明はこの点を電極構成面から解決
しようとするものであり、その特徴とするところは厚さ
に対し光導波方向の長さを大に選んだ電気光学結晶薄板
を用い、該薄板の端面から光ビームを導入し、該薄板の
対向する両表面に対して電極を配置し、かつ該両表面に
は透明材質からなる多層構造の位相整合膜を被着して、
該薄板の両表面および該整合膜で反射を繰り返しながら
進行する前記光ビームのP偏光成分とS偏光成分の各位
相ずれを実質的に等しくした光スイッチにおいて、該多
層構造の位相整合膜の少なくとも一層を透明導電性材料
で作って前記電極に兼用し、かつその電極となる位相整
合膜と該薄板との間には絶縁材料層が介在しないように
してなる点にある。
酸化膜(Si02)であってその絶縁抵抗が薄板1より
数桁高いので、容量効果によって電圧Vの印加初期には
薄板1内に電界が生じるものの、時間が経過する(充電
が進行する)と該電界は弱いものになってしまう(ドリ
フトを生じる)。本発明はこの点を電極構成面から解決
しようとするものであり、その特徴とするところは厚さ
に対し光導波方向の長さを大に選んだ電気光学結晶薄板
を用い、該薄板の端面から光ビームを導入し、該薄板の
対向する両表面に対して電極を配置し、かつ該両表面に
は透明材質からなる多層構造の位相整合膜を被着して、
該薄板の両表面および該整合膜で反射を繰り返しながら
進行する前記光ビームのP偏光成分とS偏光成分の各位
相ずれを実質的に等しくした光スイッチにおいて、該多
層構造の位相整合膜の少なくとも一層を透明導電性材料
で作って前記電極に兼用し、かつその電極となる位相整
合膜と該薄板との間には絶縁材料層が介在しないように
してなる点にある。
以下図面を参照しながらこれを詳細に説明する。第7図
は本発明の一実施例を示す断面構造図で、3層構造の位
相整合膜を有した光スイッチを例としたものである。
は本発明の一実施例を示す断面構造図で、3層構造の位
相整合膜を有した光スイッチを例としたものである。
3層の位相整合膜7〜9の各屈折率n,〜比と電気光学
結晶薄板1の屈折率noとの間には第6図と同様に−>
〜〉n,、叱の関係があるが、第1層の位相整合膜7に
良導電性で透明な素材、例えばln203(或いはSn
02)を用いた点が異なる。
結晶薄板1の屈折率noとの間には第6図と同様に−>
〜〉n,、叱の関係があるが、第1層の位相整合膜7に
良導電性で透明な素材、例えばln203(或いはSn
02)を用いた点が異なる。
ln203はn,=2.0であるから、薄板1がBi,
ぶi02oの場合瓜=2.4(ZnTeではn=3.0
)、第2層8がSiHの場合n2=3.ふ第3層9がS
i02の場合n3=1.45であり、上記関係n2>n
o>n,、n3が満たされる。しかもSn02の良導電
極により第1層7,7を電極として兼用できるので、薄
板1には電圧Vが直接印加されることになり、従って薄
板1内に発生する電界は一定の高電界に保ち、安定した
スイッチング特性が得られる。尚、第7図の構造は、光
導波装置としては第1層の位相整合膜7をn,=1.4
5のSi02(第6図)からn.=2.0のln203
に変えたものであるから、P偏光成分とS偏光成分の位
相ずれを等しくするためには補正する必要があるが、こ
れは層7の膜厚d,および層8の膜厚もの調整により行
なうことができる。一例として波長1.3仏机の場合の
第7図の素子はd,=2600A、ら=1100Aに設
定する。なお、第2層8のSiHは日の添加量によって
比の値を調整することができる。尚、薄板1は1三2弧
、dニ60仏のである。上記実施例では第1層7を電極
兼用の位相整合膜としたが、これは第2層以下にしても
よく、これにより設計の自由度が増す。
ぶi02oの場合瓜=2.4(ZnTeではn=3.0
)、第2層8がSiHの場合n2=3.ふ第3層9がS
i02の場合n3=1.45であり、上記関係n2>n
o>n,、n3が満たされる。しかもSn02の良導電
極により第1層7,7を電極として兼用できるので、薄
板1には電圧Vが直接印加されることになり、従って薄
板1内に発生する電界は一定の高電界に保ち、安定した
スイッチング特性が得られる。尚、第7図の構造は、光
導波装置としては第1層の位相整合膜7をn,=1.4
5のSi02(第6図)からn.=2.0のln203
に変えたものであるから、P偏光成分とS偏光成分の位
相ずれを等しくするためには補正する必要があるが、こ
れは層7の膜厚d,および層8の膜厚もの調整により行
なうことができる。一例として波長1.3仏机の場合の
第7図の素子はd,=2600A、ら=1100Aに設
定する。なお、第2層8のSiHは日の添加量によって
比の値を調整することができる。尚、薄板1は1三2弧
、dニ60仏のである。上記実施例では第1層7を電極
兼用の位相整合膜としたが、これは第2層以下にしても
よく、これにより設計の自由度が増す。
但し、この場合には電極兼用の位相整合膜と薄板1の間
にSiQの如き層が介在してはならない。従って、例え
ば第2層8を電極兼用の層とした場合には上記関係式を
満たす範囲内で第1層7を電気抵抗の低い素材で形成し
なければならない。いずれの場合でも電極兼用の位相整
合膜の外層にSi02を用いることは勿論、支障にはな
らない(例えば第7図の第3層9)。以上述べたように
本発明によれば、光スイッチを低電圧で駆動でき、しか
もドリフトによる経時的な電界低下のない安定した動作
が期待される利点がある。
にSiQの如き層が介在してはならない。従って、例え
ば第2層8を電極兼用の層とした場合には上記関係式を
満たす範囲内で第1層7を電気抵抗の低い素材で形成し
なければならない。いずれの場合でも電極兼用の位相整
合膜の外層にSi02を用いることは勿論、支障にはな
らない(例えば第7図の第3層9)。以上述べたように
本発明によれば、光スイッチを低電圧で駆動でき、しか
もドリフトによる経時的な電界低下のない安定した動作
が期待される利点がある。
第1図は光変調器の一例を示す概略構成図、第2図は反
射時に生じるP偏光成分とS偏光成分との位相ずれの説
明図、第3図は屈折率を異にする境界での全反射によっ
てP偏光成分とS偏光成分に生じる位相ずれの説明図、
第4図は位相ずれを防止する反射部構成の説明図、第5
図および第6図は多層構造の位相整合膜を有する光スイ
ッチの断面構造図、第7図は本発明の一実施例を示す断
面構造図である。 図中、1は電気光学結晶薄板、7〜9は第1〜第3層の
位相整合膜である。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図
射時に生じるP偏光成分とS偏光成分との位相ずれの説
明図、第3図は屈折率を異にする境界での全反射によっ
てP偏光成分とS偏光成分に生じる位相ずれの説明図、
第4図は位相ずれを防止する反射部構成の説明図、第5
図および第6図は多層構造の位相整合膜を有する光スイ
ッチの断面構造図、第7図は本発明の一実施例を示す断
面構造図である。 図中、1は電気光学結晶薄板、7〜9は第1〜第3層の
位相整合膜である。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図
Claims (1)
- 1 厚さに対し光導波方向の長さを大に選んだ電気光学
結晶薄板を用い、該薄板の端面から光ビームを導入し、
該薄板の対向する両表面に対して電極を配置し、かつ該
両表面には透明材質からなる多層構造の位相整合膜を被
着して、該薄板の両表面および該整合膜で反射を繰り返
しながら進行する前記光ビームのP偏光成分とS偏光成
分の各位相ずれを実質的に等しくした光スイツチにおい
て、 該多層構造の位相整合膜の少なくとも一層を透明
導電性材料で作つて前記電極に兼用し、かつその電極と
なる位相整合膜と該薄板との間には絶縁材料層が介在し
ないようにしてなることを特徴とする、電気光学結晶を
用いた光スイツチ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12019380A JPS6015254B2 (ja) | 1980-08-30 | 1980-08-30 | 光スイッチ |
| CA000373260A CA1158082A (en) | 1980-03-28 | 1981-03-18 | Optical waveguide device |
| EP81301333A EP0037263B1 (en) | 1980-03-28 | 1981-03-27 | Optical waveguide device |
| DE198181301333T DE37263T1 (de) | 1980-03-28 | 1981-03-27 | Optische wellenleitervorrichtung. |
| DE8181301333T DE3175396D1 (en) | 1980-03-28 | 1981-03-27 | Optical waveguide device |
| US06/249,014 US4387953A (en) | 1980-03-28 | 1981-03-30 | Optical waveguide device with phase matching layers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12019380A JPS6015254B2 (ja) | 1980-08-30 | 1980-08-30 | 光スイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5745518A JPS5745518A (en) | 1982-03-15 |
| JPS6015254B2 true JPS6015254B2 (ja) | 1985-04-18 |
Family
ID=14780206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12019380A Expired JPS6015254B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-08-30 | 光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6015254B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6248196U (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-25 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2526292B2 (ja) * | 1989-08-29 | 1996-08-21 | 日本碍子株式会社 | 光部品及びその製造法 |
-
1980
- 1980-08-30 JP JP12019380A patent/JPS6015254B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6248196U (ja) * | 1985-09-12 | 1987-03-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5745518A (en) | 1982-03-15 |
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