JPS60152940A - 電子線エネルギ−スペクトルの表示方法 - Google Patents
電子線エネルギ−スペクトルの表示方法Info
- Publication number
- JPS60152940A JPS60152940A JP59009717A JP971784A JPS60152940A JP S60152940 A JPS60152940 A JP S60152940A JP 59009717 A JP59009717 A JP 59009717A JP 971784 A JP971784 A JP 971784A JP S60152940 A JPS60152940 A JP S60152940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- dimensional
- signal
- electron beam
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Indicating Measured Values (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡等を用いてエネルギー損失スペクト
ル等を表示するための方法に関する。
ル等を表示するための方法に関する。
［従来技術］
電子線エネルギースペクトルの表示方法のうちには、エ
ネルギーアナライザーにより分散された電子によるスリ
ット像を半導体検出素子上に投影して、スペクトルを表
わす電気信号を取り出し、この電気信号に基づいてスペ
クトルを表示する方法がある。この半導体検出素子を検
出手段として用いた従来の電子線エネルギースペクトル
の表示方法は、半導体検出素子として第１図に示すよう
な微小な検出素子Ｄｎ （ｎ−１，２，３，・・・）が
多数−次元配列された一次元ダイオードアレイ（Ａｒｒ
ａｙ）を使用し、電子線による短冊状の入射スリット像
ＳＩをこの一次元ダイオードアレイに投影している。し
かしながら、一般に入射電子線はアナライザーの軸に対
して傾斜していることが多く、そのため、各スペクトル
ビークに対応したスリット像ＳＩの長手方向と素子Ｄｎ
の長手方向とが第１図に示すように互いに傾斜すること
になる。その結果、単一のピークに対応したスリット像
が比較的多くの検出素子に跨って投影されてしまう。言
い代えれば、単一の検出素子にエネルギーのずれた電子
に基づ（スリット像が投影されてしまう。従って、従来
の方法においては、得られるスペクトルの分解能は第２
図において点線で示すように、不充分であった。
ネルギーアナライザーにより分散された電子によるスリ
ット像を半導体検出素子上に投影して、スペクトルを表
わす電気信号を取り出し、この電気信号に基づいてスペ
クトルを表示する方法がある。この半導体検出素子を検
出手段として用いた従来の電子線エネルギースペクトル
の表示方法は、半導体検出素子として第１図に示すよう
な微小な検出素子Ｄｎ （ｎ−１，２，３，・・・）が
多数−次元配列された一次元ダイオードアレイ（Ａｒｒ
ａｙ）を使用し、電子線による短冊状の入射スリット像
ＳＩをこの一次元ダイオードアレイに投影している。し
かしながら、一般に入射電子線はアナライザーの軸に対
して傾斜していることが多く、そのため、各スペクトル
ビークに対応したスリット像ＳＩの長手方向と素子Ｄｎ
の長手方向とが第１図に示すように互いに傾斜すること
になる。その結果、単一のピークに対応したスリット像
が比較的多くの検出素子に跨って投影されてしまう。言
い代えれば、単一の検出素子にエネルギーのずれた電子
に基づ（スリット像が投影されてしまう。従って、従来
の方法においては、得られるスペクトルの分解能は第２
図において点線で示すように、不充分であった。
［発明の目的］
本発明は、このような従来の欠点を解決し、高分解能の
スペクトルを表示することのできる電子線エネルギース
ペクトルの表示方法を提供することを目的としている。
スペクトルを表示することのできる電子線エネルギース
ペクトルの表示方法を提供することを目的としている。
［発明の構成］
本発明は試料と相互作用した電子をエネルギーアナライ
ザーに導き、エネルギーアナライザーにおいて分散され
た電子によって形成されるスリット像を多数の微小な半
導体検出素子より成る検出器上に投影し、該検出器より
の出力信号に基づいてエネルギースペクトルを表示する
ようにした方法において、該検出器として二次元的に配
列された微小な検出素子を有する二次元検出器を使用し
、該二次元検出素子の出力信号（二基づいてスリット像
の該二次元検出器の素子配列方向に対する角度を実質的
にめ、請求められた角度方向に略−次元的に隣接して配
置された複数の素子の出力信号を複数の素子によって形
成される集合毎に加算し、該各加算信号に基づいてエネ
ルギースペクトルを表示するようにしたことをを特徴と
している。
ザーに導き、エネルギーアナライザーにおいて分散され
た電子によって形成されるスリット像を多数の微小な半
導体検出素子より成る検出器上に投影し、該検出器より
の出力信号に基づいてエネルギースペクトルを表示する
ようにした方法において、該検出器として二次元的に配
列された微小な検出素子を有する二次元検出器を使用し
、該二次元検出素子の出力信号（二基づいてスリット像
の該二次元検出器の素子配列方向に対する角度を実質的
にめ、請求められた角度方向に略−次元的に隣接して配
置された複数の素子の出力信号を複数の素子によって形
成される集合毎に加算し、該各加算信号に基づいてエネ
ルギースペクトルを表示するようにしたことをを特徴と
している。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第３図は、本発明を実施するための装置の一例を示すた
めのもので、図中１は試料であり、この試料１には集束
された電子１ｉ１２が照射される。試料１を透過した電
子線は入射スリット３を通過してエネルギーアナライザ
ー４に入射する。電子線はこのエネルギーアナライザー
４においてエネルギーに応じて分散される。５は第４図
に示すようにＸ方向及びそれと直角なＹ方向に配列され
た矩形の微小な電子線検出素子ＤＩＩｌＯ（但しｍ＝１
．２゜３・・・、ｎ＝ １． ２． ３．・・・）を有
する二次元ダイオードアレイであり、この二次元ダイオ
ードアレイ５は、中央演算処理装置７の制御に基づいて
コントローラ６により動作されるようになっている。
めのもので、図中１は試料であり、この試料１には集束
された電子１ｉ１２が照射される。試料１を透過した電
子線は入射スリット３を通過してエネルギーアナライザ
ー４に入射する。電子線はこのエネルギーアナライザー
４においてエネルギーに応じて分散される。５は第４図
に示すようにＸ方向及びそれと直角なＹ方向に配列され
た矩形の微小な電子線検出素子ＤＩＩｌＯ（但しｍ＝１
．２゜３・・・、ｎ＝ １． ２． ３．・・・）を有
する二次元ダイオードアレイであり、この二次元ダイオ
ードアレイ５は、中央演算処理装置７の制御に基づいて
コントローラ６により動作されるようになっている。
中央演算処理装置７には種々の指令を入力するための入
力装置８が接続されている。９は中央演算処理装置７を
介して二次元ダイオードアレイ５より得られる検出信号
を記憶するだめの記憶装置である。１０はスペクトルを
表示するためのＣＲＴの如き表示装置である。
力装置８が接続されている。９は中央演算処理装置７を
介して二次元ダイオードアレイ５より得られる検出信号
を記憶するだめの記憶装置である。１０はスペクトルを
表示するためのＣＲＴの如き表示装置である。
このような構成の装置を用いて、試料１に電子線２を投
射すれば、試料１を透過した電子線２は入射スリット３
を透過してエネルギーアナライザー４に入射し、エネル
ギーアナライザー４においてエネルギーに応じて分散さ
れる。そのため、第４図に示すようにエネルギーに応じ
て入射スリット３の像Ｓｌが二次元ダイオードアレイ５
上の異なった位置に投影される。この二次元ダイオード
アレイ５の各検出素子Ｑｍｎよりの出力信号はコントロ
ーラ６の制御に基づいて中央演算処理装置７に供給され
、中央演算処理装置７を介して一旦記憶装置９に記憶さ
れる。中央演算処理装置７は記憶装置９に記憶された検
出信号を読み出して、この検出信号に基づいて以下のよ
うな画像処理を行なう。即ち、第５図の流れ図において
ステップＡで示されているように、まず、二次元ダイオ
ードアレイ５に投影されるスリット像と前記Ｙ軸とが成
す角θをめる。これは以下のようにして行なう。即ち、
中央演算処理装置８は予め定めた閾値以上の信号を検出
した検出素子のうち、−塊となっている（即ち互いに連
続している）検出素子Ｄｍｎを選別して集合を形成させ
、更にこの集合に含まれている検出素子のうち、検出値
が最高値を有する互いに１８隣合った検出素子を選別し
、この検出素子によって形成される一次元配列Ｕが前記
Ｙ軸に対して成す角度を算出することによりθをめる。
射すれば、試料１を透過した電子線２は入射スリット３
を透過してエネルギーアナライザー４に入射し、エネル
ギーアナライザー４においてエネルギーに応じて分散さ
れる。そのため、第４図に示すようにエネルギーに応じ
て入射スリット３の像Ｓｌが二次元ダイオードアレイ５
上の異なった位置に投影される。この二次元ダイオード
アレイ５の各検出素子Ｑｍｎよりの出力信号はコントロ
ーラ６の制御に基づいて中央演算処理装置７に供給され
、中央演算処理装置７を介して一旦記憶装置９に記憶さ
れる。中央演算処理装置７は記憶装置９に記憶された検
出信号を読み出して、この検出信号に基づいて以下のよ
うな画像処理を行なう。即ち、第５図の流れ図において
ステップＡで示されているように、まず、二次元ダイオ
ードアレイ５に投影されるスリット像と前記Ｙ軸とが成
す角θをめる。これは以下のようにして行なう。即ち、
中央演算処理装置８は予め定めた閾値以上の信号を検出
した検出素子のうち、−塊となっている（即ち互いに連
続している）検出素子Ｄｍｎを選別して集合を形成させ
、更にこの集合に含まれている検出素子のうち、検出値
が最高値を有する互いに１８隣合った検出素子を選別し
、この検出素子によって形成される一次元配列Ｕが前記
Ｙ軸に対して成す角度を算出することによりθをめる。
次に、第５図のステップＢに示すように、−次元配列Ｕ
の中点に対応した素子□ｓｔと配列Ｕの幅りをめる。次
に第５図のステップＣに示すように、素子Ｏｓｔを通り
前記−次元配列Ｕに直交する直線Ｖ上に位置する素子１
）ｐｃｔ、 Ｄ（Ｉｈ、・・・、Ｄｓｔ、・・・、Ｄｂ
ｃを選別する。次に、第４図のステップＤに示すように
、直線Ｖ上に位置する素子を含み、Ｙ軸と角度θを成し
て一次元配列され直線■から幅Ｌ／２以内にある素子よ
り成る多数の集合Ｑ＋、Ｑｚ、Ｑ３．・・・をめる。次
に、ステップＥに示すように、各集合Ｑ＋ 、Ｑ２ 、
Ｑ３ 、・・・に含まれる素子の検出信号を集合毎に加
算して出力信号Ｓ＋ 、８２．８３ 、・・・をめる。
の中点に対応した素子□ｓｔと配列Ｕの幅りをめる。次
に第５図のステップＣに示すように、素子Ｏｓｔを通り
前記−次元配列Ｕに直交する直線Ｖ上に位置する素子１
）ｐｃｔ、 Ｄ（Ｉｈ、・・・、Ｄｓｔ、・・・、Ｄｂ
ｃを選別する。次に、第４図のステップＤに示すように
、直線Ｖ上に位置する素子を含み、Ｙ軸と角度θを成し
て一次元配列され直線■から幅Ｌ／２以内にある素子よ
り成る多数の集合Ｑ＋、Ｑｚ、Ｑ３．・・・をめる。次
に、ステップＥに示すように、各集合Ｑ＋ 、Ｑ２ 、
Ｑ３ 、・・・に含まれる素子の検出信号を集合毎に加
算して出力信号Ｓ＋ 、８２．８３ 、・・・をめる。
そして更に、ステップＦに示すように、この信号Ｓ＋
、Ｓ２ 。
、Ｓ２ 。
８３、・・・をエネルギー掃引に同期して表示装置１０
に供給してスペクトルを表示する。その結果、表示装置
１０には第２図において実線で示すようにエネルギー分
解能が向上したスペクトルを表示することができる。
に供給してスペクトルを表示する。その結果、表示装置
１０には第２図において実線で示すようにエネルギー分
解能が向上したスペクトルを表示することができる。
［効果１
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
二次元ダイオードアレイの各検出素子のうち、スリット
像に平行に略−次元的に配列された検出素子の出力信号
のみを一塊として加算して、この加算して得られた信号
に基づいてスペクトルを表示するようにしているが、こ
のような−塊の検出素子列には極めて狭いエネルギー幅
の電子に基づくスリット像しか投影されないため、スリ
ット像が検出器素子列にどのように傾斜している場合に
も、充分高いエネルギー分解能を有するスペクトルを表
示することができる。
二次元ダイオードアレイの各検出素子のうち、スリット
像に平行に略−次元的に配列された検出素子の出力信号
のみを一塊として加算して、この加算して得られた信号
に基づいてスペクトルを表示するようにしているが、こ
のような−塊の検出素子列には極めて狭いエネルギー幅
の電子に基づくスリット像しか投影されないため、スリ
ット像が検出器素子列にどのように傾斜している場合に
も、充分高いエネルギー分解能を有するスペクトルを表
示することができる。
第１図は従来方法を説明するための図、第２図は従来及
び本発明に基づいて得られたスペクトルを比較して示す
ための図、第３図は本発明を実施するための装置を例示
するための図、第４図は二次元ダイオードアレイの各検
出素子とスリット像との関係を示すための図、第５図は
本発明を実施するためのステップの一例を示すための流
れ図である。 １：試料、２：電子線、３：入射スリット、４：エネル
ギーアナライザー、５：二次元ダイオードアレイ、６：
コントローラ、７：中央演算制御装置、８：入力装置、
９：記憶装置、１ｏ：表示装置、ＳＩニスリット像。 ：２ｆ許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊膝 −夫 第４図 第５図
び本発明に基づいて得られたスペクトルを比較して示す
ための図、第３図は本発明を実施するための装置を例示
するための図、第４図は二次元ダイオードアレイの各検
出素子とスリット像との関係を示すための図、第５図は
本発明を実施するためのステップの一例を示すための流
れ図である。 １：試料、２：電子線、３：入射スリット、４：エネル
ギーアナライザー、５：二次元ダイオードアレイ、６：
コントローラ、７：中央演算制御装置、８：入力装置、
９：記憶装置、１ｏ：表示装置、ＳＩニスリット像。 ：２ｆ許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊膝 −夫 第４図 第５図
Claims (1)
- 試料と相互作用した電子をエネルギーアナライザーに導
き、エネルギーアナライザーにおいて分散された電子に
よって形成されるスリット像を多数の微小な半導体検出
素子より成る検出器上に投影し、該検出器よりの出力信
号に基づいてエネルギースペクトルを表示するようにし
た方法において、該検出器として二次元的に配列された
微小な検出素子を有する二次元検出器を使用し、該二次
元検出素子の出力信号に基づいてスリット像の該二次元
検出器の素子配列方向に対する角度を実質的にめ、請求
められた角度方向に略−次元的に隣接して配置された複
数の素子の出力信号を複数の素子によって形成される集
合毎に加算し、該各加算信号に基づいてエネルギースペ
クトルを表示するようにしたことを特徴とする電子線エ
ネルギースペクトルの表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009717A JPH0648250B2 (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 電子線エネルギースペクトルの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009717A JPH0648250B2 (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 電子線エネルギースペクトルの測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60152940A true JPS60152940A (ja) | 1985-08-12 |
| JPH0648250B2 JPH0648250B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=11728025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59009717A Expired - Lifetime JPH0648250B2 (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 電子線エネルギースペクトルの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648250B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245343A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-02-15 | Hobart Internatl Inc | ラベルを印刷して貼付ける方法 |
| JP2020144071A (ja) * | 2019-03-08 | 2020-09-10 | 日本電子株式会社 | 分析装置およびスペクトル生成方法 |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP59009717A patent/JPH0648250B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245343A (ja) * | 1988-03-31 | 1990-02-15 | Hobart Internatl Inc | ラベルを印刷して貼付ける方法 |
| JP2020144071A (ja) * | 2019-03-08 | 2020-09-10 | 日本電子株式会社 | 分析装置およびスペクトル生成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648250B2 (ja) | 1994-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69221052T2 (de) | Bildaufnahmesystem mit breitem Gesichtsfeld | |
| DE19604802C2 (de) | Abbildungssystem und Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung eines Objekts | |
| EP0578129A2 (de) | Bilderfassende Sensoreinheit | |
| US5592563A (en) | Imaging of 3-dimensional objects | |
| DE3824968A1 (de) | Polarisationsbild-Detektorsystem | |
| DE3687483T2 (de) | Beleuchtungsanlage des digitalsteuerungstyps. | |
| US2964644A (en) | Method and apparatus for locating corresponding areas of two similar images | |
| DE102005044842A1 (de) | Konfokalmikroskop | |
| DE2105455A1 (de) | Spiegelreflex Elektronenmikroskop | |
| US3978280A (en) | Image analysis apparatus | |
| DE69406888T2 (de) | Spektrophotometer | |
| DE69717603T2 (de) | Verfahren und apparat zur reduzierung von unerwünschten rauscheffekten in einem dreidimensionalen farbbilderzeugungssystem | |
| JPS60152940A (ja) | 電子線エネルギ−スペクトルの表示方法 | |
| JP3780620B2 (ja) | 電子分光器及びそれを備えた透過型電子顕微鏡 | |
| US4789780A (en) | Apparatus for energy-selective visualization | |
| US2989587A (en) | Picture signal aperture compensation | |
| DE4123203C1 (en) | Solid state image converter - has radiation sensitive surface with regions of various densities of distribution of elements i.e. of different levels of resolution | |
| US4798947A (en) | Focusing technique for an optical sensing system | |
| US5045695A (en) | Transition radiation interference spectrometer | |
| DE3111300C2 (ja) | ||
| US4805124A (en) | System and method for measuring elliptical elements | |
| US7342218B2 (en) | Methods and systems for optical inspection of surfaces based on laser screening | |
| US20060255271A1 (en) | Method of analysis using energy loss spectrometer and transmission electron microscope equipped therewith | |
| JPH07282769A (ja) | 電子線回折装置 | |
| SU652580A1 (ru) | Устройство дл распознавани геометрических фигур |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |