JPS6015527A - 超音波振動検出装置 - Google Patents
超音波振動検出装置Info
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- JPS6015527A JPS6015527A JP58123440A JP12344083A JPS6015527A JP S6015527 A JPS6015527 A JP S6015527A JP 58123440 A JP58123440 A JP 58123440A JP 12344083 A JP12344083 A JP 12344083A JP S6015527 A JPS6015527 A JP S6015527A
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- JP
- Japan
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- vibration
- vibrator
- projection
- coil
- ultrasonic
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/02—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by magnetic means, e.g. reluctance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
に屯わい式ランジュパン形の振動子に磁性体の突起部を
設けてその廻りに鉄心コア、コイル、永久磁石よりなる
系を設置し、磁性体の突起部の振動によりコイルに生ず
る′電圧変化を検出帰還せしめて振動子の振動を制御す
る超音波振動検出装置に関する。
設けてその廻りに鉄心コア、コイル、永久磁石よりなる
系を設置し、磁性体の突起部の振動によりコイルに生ず
る′電圧変化を検出帰還せしめて振動子の振動を制御す
る超音波振動検出装置に関する。
従来超音波の振動を起させるには磁わい式のものと篭わ
い式のものがあるが磁わい式のものは発熱が著るしい為
冷却を必要とする等不便なので一般には電わい式の振動
装置が用いられ、中でも高い性能と耐久性の故にゼルト
締めランジュバン形のものが数多く用いられている。
い式のものがあるが磁わい式のものは発熱が著るしい為
冷却を必要とする等不便なので一般には電わい式の振動
装置が用いられ、中でも高い性能と耐久性の故にゼルト
締めランジュバン形のものが数多く用いられている。
超音波の振動系の最大効率を得るにはその共振周波数附
近で操業することが望ましいが負荷の変化や振動系の温
度変化によって共振周波数から段々偏位するのでこれを
共振周波数に保つ為に振動周波数を検出して制御する必
要が生ずる。
近で操業することが望ましいが負荷の変化や振動系の温
度変化によって共振周波数から段々偏位するのでこれを
共振周波数に保つ為に振動周波数を検出して制御する必
要が生ずる。
この振動制御の為の周波数検出装置としては振動子にセ
ラミック等の検出素子を接着して振動を検出して共振周
波数になるよう制御するいわゆるピックアップ方式が用
いられるが振動による温度上昇の為検出信号が低く出て
これを補正し，て振動を犬とすることが繰り返されつい
には大きくなりずぎた振動の為装置が破壊されるに至る
ので冷却の必−安があり、又は振動を直接受ける為検出
素子の吸着はがれや断線等の故障がありこのような不都
合のない超音波振動の検出装置の出現が強（望まれてい
た。
ラミック等の検出素子を接着して振動を検出して共振周
波数になるよう制御するいわゆるピックアップ方式が用
いられるが振動による温度上昇の為検出信号が低く出て
これを補正し，て振動を犬とすることが繰り返されつい
には大きくなりずぎた振動の為装置が破壊されるに至る
ので冷却の必−安があり、又は振動を直接受ける為検出
素子の吸着はがれや断線等の故障がありこのような不都
合のない超音波振動の検出装置の出現が強（望まれてい
た。
従って本発明の目的は振動子に直接設置して七のん塵上
昇に影響される事のないように、振動子に磁性体の突起
部を設げてその突起部を包むように１〜（［れた周囲に
鉄心コア、コイノペ永久磁石からなる検出系を設けた超
音波振動検出装置を提供するＶこある。
昇に影響される事のないように、振動子に磁性体の突起
部を設げてその突起部を包むように１〜（［れた周囲に
鉄心コア、コイノペ永久磁石からなる検出系を設けた超
音波振動検出装置を提供するＶこある。
本発明の其の他の目的及び特徴は以下の記述及び添伺の
図面によって明白となろう。
図面によって明白となろう。
次に本発明の構造、機能について記述する。
１（３，わい式ランジュバン形超音波振動子の放射面と
反り＝Ｉ （ｌｉｌｌのナンド又はナツトの上に磁性体
から１よる火、１φＨ：ｔＬを設けて同調して振］助せ
しめ、これを包むようにしてＤｌｋれて鉄心コア、コイ
ル、永久磁石よりなる検出系を設けてこれに誘起される
検出電圧を帰還して振動を共振周波数に保つようにした
もので、温度、振動、摩擦から隔離されているので誤差
、故障を起さない簡単にして秀れた構造、機能を有する
超音波振動検出装置である。
反り＝Ｉ （ｌｉｌｌのナンド又はナツトの上に磁性体
から１よる火、１φＨ：ｔＬを設けて同調して振］助せ
しめ、これを包むようにしてＤｌｋれて鉄心コア、コイ
ル、永久磁石よりなる検出系を設けてこれに誘起される
検出電圧を帰還して振動を共振周波数に保つようにした
もので、温度、振動、摩擦から隔離されているので誤差
、故障を起さない簡単にして秀れた構造、機能を有する
超音波振動検出装置である。
次に本発明の一実施例の説明断面図を用いて本発明を記
述する。 図面において ケース８には配線９より分岐された振動配線１１により
電わい式に動作する超音波振動子５が内蔵されていて、
その放射面には振動振ＩＪを集中強化拡大するホーン６
の先に洗浄機、加工機、プラスチックウエルダー等の工
具７かつげられている。
述する。 図面において ケース８には配線９より分岐された振動配線１１により
電わい式に動作する超音波振動子５が内蔵されていて、
その放射面には振動振ＩＪを集中強化拡大するホーン６
の先に洗浄機、加工機、プラスチックウエルダー等の工
具７かつげられている。
放射面の反対側の中央にはランジュバンのナンドが突出
しているがこのボルトナツトは通常ステンレス鋼、アル
ミ又はチタン等の非磁性体で作られている。
しているがこのボルトナツトは通常ステンレス鋼、アル
ミ又はチタン等の非磁性体で作られている。
本発明にあってはこのナツト又はナノ）・に代る突起物
を鉄等の磁性体でできた突起部４として設ける。突起部
４を包むようにして且つ若干の間隙をもたせて突起部４
の廻りに鉄心コア１、コイル２、をおき、これに作用す
るように永久磁石３を近接して設置する。
を鉄等の磁性体でできた突起部４として設ける。突起部
４を包むようにして且つ若干の間隙をもたせて突起部４
の廻りに鉄心コア１、コイル２、をおき、これに作用す
るように永久磁石３を近接して設置する。
全振動子５が振動を起すと之と一体の突起部４も同調し
て振動するが鉄心コア１、コイル２、永久磁石３の検出
系は離れているので温度、振動、摩擦等の影響を受けず
、従って安全にその振動によって励起された誘起電圧が
コイルに生じこれを帰還して電わい式超音波振動を共振
周波数に保持することが出来る。
て振動するが鉄心コア１、コイル２、永久磁石３の検出
系は離れているので温度、振動、摩擦等の影響を受けず
、従って安全にその振動によって励起された誘起電圧が
コイルに生じこれを帰還して電わい式超音波振動を共振
周波数に保持することが出来る。
本発明の超音波振動検出装置は振動子の振動を磁性体で
ある突起部に伝え、これと離れて設けられたｖく心コア
、コイル、永久磁石の検出系に誘起′１に圧として検出
帰還せしめて超音波振動を共振周波数に保持せしめるの
で振動子の温度上昇、振動、摩擦に関しては検出装置が
離れているので影響されず従って検出周波数は正確且つ
精密であり、故障、経年変化がないばかりでブよく装置
が簡単であるので多量生産に適し且つ安価で生産性向上
に益すること多大なる効果がある。
ある突起部に伝え、これと離れて設けられたｖく心コア
、コイル、永久磁石の検出系に誘起′１に圧として検出
帰還せしめて超音波振動を共振周波数に保持せしめるの
で振動子の温度上昇、振動、摩擦に関しては検出装置が
離れているので影響されず従って検出周波数は正確且つ
精密であり、故障、経年変化がないばかりでブよく装置
が簡単であるので多量生産に適し且つ安価で生産性向上
に益すること多大なる効果がある。
図面は本発明の一実施例を示す説明断面図である。図中
主たる符号と部位を次に示す。 １・・・鉄心コアー、２・・・コイル、３永久磁石、４
・・突起部、５・・振動子、６・・・ホーン、７・・・
工具、８・・・ケース、９・・配線、１０・検出線、１
１・・・振動配線。
主たる符号と部位を次に示す。 １・・・鉄心コアー、２・・・コイル、３永久磁石、４
・・突起部、５・・振動子、６・・・ホーン、７・・・
工具、８・・・ケース、９・・配線、１０・検出線、１
１・・・振動配線。
Claims (1)
- 電わい式ランジュノ々ン形超音波振動装置に於て、振動
子５の超音波放射面であるホーン６０反対側に振動子５
の振動と同Ｗ１号シて振動する磁性体よりなる突起部４
を有し、突起部４を包むようにその周囲に離れて制御装
置に連るコイル２を有する鉄心コア】を有し、鉄心コア
１及びコイル２に作用し回路を形成するよう永久磁石３
を有し、振動子５と同調して振動する磁性体よりなる突
起部４の振動により起るリアクタンスの変化をコイル２
に七り電圧として検出して帰還し超音波振動を制御する
構造を１！１敗とした超音波振動検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123440A JPS6015527A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 超音波振動検出装置 |
| US06/623,181 US4579000A (en) | 1983-07-08 | 1984-06-21 | Apparatus for detecting ultrasonic vibration |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123440A JPS6015527A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 超音波振動検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6015527A true JPS6015527A (ja) | 1985-01-26 |
Family
ID=14860641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58123440A Pending JPS6015527A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 超音波振動検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4579000A (ja) |
| JP (1) | JPS6015527A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3807004A1 (de) * | 1987-03-02 | 1988-09-15 | Olympus Optical Co | Ultraschall-behandlungsgeraet |
| US5433102A (en) * | 1993-03-23 | 1995-07-18 | Pedziwiatr; Edward A. | Ultrasonic wave energy detection and identification |
| US6039059A (en) * | 1996-09-30 | 2000-03-21 | Verteq, Inc. | Wafer cleaning system |
| US7105985B2 (en) * | 2001-04-23 | 2006-09-12 | Product Systems Incorporated | Megasonic transducer with focused energy resonator |
| US6897628B2 (en) * | 2003-05-16 | 2005-05-24 | Sulphco, Inc. | High-power ultrasound generator and use in chemical reactions |
| US7275440B2 (en) * | 2004-11-18 | 2007-10-02 | Sulphco, Inc. | Loop-shaped ultrasound generator and use in reaction systems |
| EP2005126B1 (de) * | 2006-04-03 | 2017-07-26 | vonRoll infratec (investment) ag | Schwingungssensoranordnung |
| CN115682538B (zh) * | 2021-07-28 | 2024-10-15 | 青岛海尔电冰箱有限公司 | 一种冰箱及其超声辅助处理装置的故障监测方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959627A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-06-10 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3633053A (en) * | 1970-06-18 | 1972-01-04 | Systron Donner Corp | Vibration transducer |
| US3918298A (en) * | 1974-07-29 | 1975-11-11 | Mts System Corp | Multiple actuator control system |
| US4034827A (en) * | 1975-04-03 | 1977-07-12 | Texas Instruments Incorporated | Air gun utilizing magnetized shuttle |
| US4173749A (en) * | 1977-03-10 | 1979-11-06 | Standard Oil Company (Indiana) | Digital drive and phase-lock for seismic vibrators |
| US4301887A (en) * | 1979-11-02 | 1981-11-24 | Bolt Associates, Inc. | Acceleration-responsive apparatus for sensing firing instant of an air gun |
| US4361045A (en) * | 1980-08-29 | 1982-11-30 | Aisin Seiki Company, Limited | Vibration sensor |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP58123440A patent/JPS6015527A/ja active Pending
-
1984
- 1984-06-21 US US06/623,181 patent/US4579000A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959627A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-06-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4579000A (en) | 1986-04-01 |
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