JPS60155862U - クライオポンプ用冷凍機 - Google Patents

クライオポンプ用冷凍機

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JPS60155862U
JPS60155862U JP4138484U JP4138484U JPS60155862U JP S60155862 U JPS60155862 U JP S60155862U JP 4138484 U JP4138484 U JP 4138484U JP 4138484 U JP4138484 U JP 4138484U JP S60155862 U JPS60155862 U JP S60155862U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
small chamber
refrigerator
cryopump
sealing material
cooling water
Prior art date
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Pending
Application number
JP4138484U
Other languages
English (en)
Inventor
近藤　時夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
Priority to JP4138484U priority Critical patent/JPS60155862U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すクライオポンプ用冷凍機の
縦断面図である。 図の主要部分の説明、１・・・圧縮ピストン、２・・・
膨張ピストン、３・・・放熱器、４・・・膨張シリンダ
、５・・・真空空間、６，７・・・シール材、訃・・冷
却水通路、９・・・小室、１０・・・貫通穴、１１・・
・大気環境、１２・・・機体構成部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. タライオポンプ用の極低温冷凍機において、真空に排気
    される空間が、シール材により冷却水と隔てられている
    構造を持つとき、該シール材を２重又は多重に設置する
    と共に、隣接し合うシール材の中間部に小室を設け、−
    該小室で繋る貫通穴を゛　　　　１つ以上設けて該小室
    を大気環境と連通させたことを特徴とするクライオポン
    プ用冷凍機。
JP4138484U 1984-03-23 1984-03-23 クライオポンプ用冷凍機 Pending JPS60155862U (ja)

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JP4138484U JPS60155862U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 クライオポンプ用冷凍機

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JP4138484U JPS60155862U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 クライオポンプ用冷凍機

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JPS60155862U true JPS60155862U (ja) 1985-10-17

Family

ID=30551155

Family Applications (1)

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JP4138484U Pending JPS60155862U (ja) 1984-03-23 1984-03-23 クライオポンプ用冷凍機

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