JPS60157577A - 減圧で開放する弁 - Google Patents

減圧で開放する弁

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JPS60157577A
JPS60157577A JP59268204A JP26820484A JPS60157577A JP S60157577 A JPS60157577 A JP S60157577A JP 59268204 A JP59268204 A JP 59268204A JP 26820484 A JP26820484 A JP 26820484A JP S60157577 A JPS60157577 A JP S60157577A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空領域を真空ポンプから隔離ず再べく減圧で
作動する弁に係る。
このような弁に適切な密封性を与えるためには弁板を高
圧でバルブシートに押し付けなければならず従って弁の
該可動部材を駆動させるための力の強い手段が必要とな
る。
例えば、先行技術の弁には主として下記の機素からなる
ものがある。
一内部隔壁により第１部分と第２部分とに分割された中
空体。前記第１部分には真空化すべき領域に接続される
第１開口と真空ポンプの吸引側に接続される第２開口と
が具備される。
一前記第１部分内に配置された可動弁板。
−前記弁板に圧力を加えて前記第１開口を閉鎖せしめる
バネ。
−ｎｉｉ記内部隔壁を貫通し一端が前記弁板に接続され
たロッド。
一前記ロッドの他端に接続されたピストン。このピスト
ンは前記第２部分を第１チヤンバと第２チヤンバとに分
割し、これらチャンバは互いに密封的に分離され、第１
チヤンバがピストンのロッド側にあって外界と連通ずる
。
この先行技術の弁を開放するためには、大きくなり得る
バネの力を相殺すべく１※ポンプのごとき補助真空ポン
プをその駆動モータと共に使用する必要がある。
このように前記先行技術の弁は弁自体の体積の２乃至３
倍に及び得る大型補助装置を必要とする。
本発明は前記の欠点を除去して、かさばる補助装置の不
要な減圧作動弁を提供する。
本発明の減圧で開放する弁は、内部隔壁により第１部分
及び第２部分に分離され、該第１部分に真空化すべき領
域に接続される第１開口と真空ポンプに接続される第２
開口とが具備されノこ中空体と、前記第１部分に配置さ
れた可動弁板と、該可動弁板に圧力を加えて前記第１開
口を閉鎖せしめるバネと、前記内部隔壁を貫通し一端が
前記弁板に接続されたロッドと、前記ロッドの他端に接
続され前記第２部分を第１ヂヤンバと第２ヂヤンバとに
分離するピストンとを有する。これらチャンバは互いに
密封的に分離され、第１ヂヤンバがピストンのロッド側
にあって外界と連通し、第２ヂヤンバが外界と連通ずる
オリフィスを有しこのオリフィスには閉鎖手段が具備さ
れている。第２チヤンバは更に該チャンバを該中空体の
第１部分に連通させる手段をも有する。
従って本−発明ではバネの圧力を相殺し弁を開放するに
必要な力が真空ポンプ自体によって供給される。本発明
の弁を開放するには、前記オリフィスをその閉鎖手段に
より閉鎖して第２ヂヤンバと外界との接続を絶つだけで
よい。これには小さな力しか必要とされず、例えば弁自
体よりはるかに小さい電磁弁を使用し得る。この電磁弁
は真空ポンプの始動と同時に作動する。
本発明の好ましい具体例では中空体の第２ヂヤンバ及び
第１部分■１の前記連通が前記ロッドを貫通しピストン
の外側で第２チヤンバに連通ずるチャネルを介して行な
われる。
弁の開放時には、前記チャネルの第２ヂヤンバへの出口
が環状パツキンに当接して前記連通を阻止するのが好ま
しい。
このようにすれば、電磁弁が大気と第２チヤンバ内圧力
との過度の圧力差に作用されることはない。この場合は
弁が開放すると第２チヤンバと真空ポンプとの接続が絶
たれるため電磁弁は小さい力をもつたけでよく従って小
型のものを使用し得る。
以下添付図面に基づき非限定的具体例を挙げて本発明を
より詳細に説明する。
本発明の弁は内部隔壁４によって第１部分２及び第２部
分３に分割された中空体１からなる。第１部分２は真空
化すべき領域に接続される第１開口５と真空ポンプの吸
引側に接続される第２開口６とを有する。第１部分には
可動弁板７が配置されており、該弁板にはバネ８が作用
する。弁の閉鎖時にはこの弁板が開口５を閉鎖する。そ
の密封性はパツキン９によって確保される。弁板７は内
部隔壁４を密封的に貫通ずるロッド１０の一端に固定さ
れており、該内部隔壁は弁板７が軸線方向に移動する時
の軸受けの役割を果たす。第２部分３内にはネジ１２に
よってロッドｌＯの他端に接続されたピストン１１が配
置されている。このピストン１１は第２部分３を第１チ
ヤンバ】３及び第２ヂう・ンバ１４に分割する。これら
第１及び第２チヤンバは外周が隔壁４と該中空体の蓋体
部１６との間に挟持され内周がピストン１１とワソンヤ
１７との間に挟持された環状エラストマー膜１５によっ
て互いに密封的に分離されている。
前記環状エラストマー模１５の外周には外界と中空体内
側部分３との間の密封性を保持するためのパツキン１８
か具備されている。
第１チヤンバ１３はオリフィス１９を介して外界と連通
ずる。
中空体の第１ｓ分２はチャネル２０を介して中空体第２
部分３の第２チヤンバ１４と連通ずる。
前記チャネル２０は弁板７の上部をその軸線まで径方向
に貫通ずる水平部分と、この水平部分から第２チヤンバ
への出口まで延在する垂直部分とからなる。該チャネル
の出口部分の表面はネジ１２のヘッドの表面で構成され
、このヘッドは弁の開放時にはパツキン１２に当接して
第２チヤンバ１４と中空体第１部分２との間の連通を封
鎖する。第２ヂヤンバ１４はまた中空体ｌの蓋体部１６
に設けられた通路２２を介して外界と連通ずる。この通
路２２は閉鎖手段を有し、該閉鎖手段は該具体例では電
磁弁２３からなる。この電磁弁２３は開口６に接続され
た真空ポンプの始動時に動力を受給して通路２２を閉鎖
する。
隔壁４と中空体Ｉの下方部２５との間には環状パツキン
２４が挿入され中空体第１部分２を外界に対し密封して
いる。
このアセンブリ全体はネジ２６及び２７によってＩｌ：
いに固定されている。
この弁は下記のごとく作動する。
第２図の開放位置では弁板７がバルブシートに当接しそ
の結果開口５が閉鎖され、チャネル２０によって第１部
分と第２ヂヤンバとが連通ずる。通路２２は電磁弁２３
が動力を受給しないため開放状態にあり、従って前記両
チャンバは大気圧下にある。また、第１ヂヤンバ１３も
オリフィス１９を介して大気圧下におかれる。バネ８は
弁板をバルブシートに押し付りる。
開口６に接続された真空ポンプの始動時に電磁弁２３を
作動させて通路２２を閉鎖する。その結果真空ポンプに
よって第１部分の真空化が行なわれ、チャネル２０を介
して第２チヤンバ１４も真空化される。第１チヤンバ１
３が大気圧下にあるためピストン１１の両面に加えられ
る圧力間に差が生じ、この圧力差がやがてピストンをバ
ネ８の力に逆らって上方に移動させるほど大きくなる。
この状態になると弁板７が開放される。該弁板が上方位
置に達するとネジ１２がパツキン２１に当接して第２チ
ヤンバ七真空ポンプとの接続を絶つ。チャネル２０は必
ずしもこのように閉鎖する必要はないが、この閉鎖を行
えば弁開放後における第２チヤンバ１４内の過度の圧力
低下が回避される。さもないと、大気圧とこの圧力との
差に耐え得る電磁弁か必要になる。前述のごとき方法を
採れば電磁弁２３に作用する圧力差がより小さくなるた
め、比較的微力の小型電磁弁を選択し得る。
該弁を閉鎖するには電磁弁への動力供給を停止して通路
２２を開放し、第２チヤンバ１４を大気圧下に戻す。
その結果第１及び第２チヤンバ１３及び１４間の圧力差
がゼロになりバネ８が弁板７を押し戻して開口５を閉鎖
せしめる。このような弁は特にベーンポンプのごとき一
次真空ポンプから真空化すべき領域を隔離する場合に有
用である。チャネル２ｏはポンプの停止と共に弁を閉鎖
せしめるが、この時該ポンプの作動部分をも大気圧下に
戻すためこの種のポンプの機能に係る種々の問題が解消
される。
このように、本発明では小型電磁弁を一つ用いるた（プ
で弁の開放を行うことができる。
例えば弁が一次真空ポンプに接続される場合は１１ワツ
トの電磁弁で十分である。
このような弁は、弁閉鎖時に弁板がバルブシートに接す
る前にチャネル２０が犬７気と真空部分とを瞬間的に接
続するにも拘わらず二次真空ポンプにも使用し得る。た
だしその場合は前期瞬間的接続時間を短縮すべくバネ８
がより大きい剛性を有していな（づればならず、チャネ
ル２０の断面が十分小さく且つ第２真空領域が十分な容
積を有していなげればならない。
【図面の簡単な説明】
第１図は弁板が開放位置にある時の本発明の弁を示す軸
方向断面図、第２図は閉鎖位置にある時の前記弁の断面
図、第３図は該弁の平面図である。 １・　・中空体、２・・・・・第・１部分、３・・・・
第２部分、４・・・内部隔壁、５・・・・・第１開口、
６・・　第２開口、７・・　弁板、８・　バネ、１ｏ・
・・ロッド、１１・・・ピストン、１２・・・ネジ、１
３・・・第１ヂヤンバ、１４・・第２ヂヤンバ、１５・
・・・・環状エラストマー膜、１６　・蓋体部、２３・
・・電磁弁。 ＦＩＧ、’１ ＦＩＧ、２

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）減圧で開放する弁であって、内部隔壁により第１
    部分及び第２部分に分割され該第１部分に真空化すべき
    領域に接続される第１開口と真空ポンプの吸引側に接続
    される第２開口とが具備されている中空体と、前記第１
    部分内に配置された可動弁板と、該可動弁板に圧力を加
    えて前記第１開口を閉鎖せしめるバネと、前記内部隔壁
    を貫通し一端かＭ配弁板に固定されたロッドと、該ウッ
    ドの他端に接続され前記第２部分を第１チヤンバ及び第
    ２ヂヤンバに分割するピストンとを有し、これら両チャ
    ンバが互いに密封的に分離され、前記第１チヤンバがピ
    ストンのロッド側にあって外界と連通し、第２チヤンバ
    が閉鎖手段を備えた外界と連通ずるための通路を有する
    と共に該チャンバを該中空体の第１部分に連通させるた
    めの手段をも宵する弁。
  2. （２）前記中空体の第２チヤンバ及び第１部分間の前記
    連通が、前記ロッドを貫通しピストンの外側で第２部分
    に連通ずるチャネルを介して実施される特許請求の範囲
    第１項に記載の弁。
  3. （３）弁の開放時には前記チャネルの第２ヂヤンバへの
    出口が密封手段への当接によって閉鎖されろ特許請求の
    範囲第２項に記載の弁。
  4. （４）第２ヂヤンハを外界に連通ｕしめる前記通路の閉
    鎖手段が電磁弁からなり、該電磁弁か前記真空ポンプの
    始動と同時に動力を受給する特許請求の範囲第１項乃至
    第３項のいずれかに記載の弁。
JP59268204A 1983-12-22 1984-12-19 減圧で開放する弁 Granted JPS60157577A (ja)

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FR8320576 1983-12-22
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JPS60157577A true JPS60157577A (ja) 1985-08-17
JPS649510B2 JPS649510B2 (ja) 1989-02-17

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EP (1) EP0148480B1 (ja)
JP (1) JPS60157577A (ja)
AT (1) ATE32131T1 (ja)
BG (1) BG48938A3 (ja)
DE (1) DE3468925D1 (ja)
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