JPS6015979A - 半導体圧力センサの自動温度補償装置 - Google Patents
半導体圧力センサの自動温度補償装置Info
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- JPS6015979A JPS6015979A JP58123681A JP12368183A JPS6015979A JP S6015979 A JPS6015979 A JP S6015979A JP 58123681 A JP58123681 A JP 58123681A JP 12368183 A JP12368183 A JP 12368183A JP S6015979 A JPS6015979 A JP S6015979A
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- JP
- Japan
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- resistor
- temperature
- pressure sensor
- resistance
- pressure
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D48/00—Individual devices not covered by groups H10D1/00 - H10D44/00
- H10D48/50—Devices controlled by mechanical forces, e.g. pressure
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体圧力センサに付加すべき温度補償抵抗
の値を自動的に決定する自動温度補償装置に関する。
の値を自動的に決定する自動温度補償装置に関する。
周知のように、半導体圧力センサはｎ型シリコンからな
るダイヤフラム上に、４個のＰ型検出抵抗を拡散あるい
はイオン打込み技術によって形成し、これらの検出抵抗
をブリッジ接続して被測定圧に対応する検出電圧を得る
ようにしたもので、従来の金属線等による圧力センサに
比較し、はるかに大きい検出感度が得られる反面、検出
電圧の温度依存性が大きいという欠点がある。したがっ
て、この半導体圧力センサにおいては温間補償が不可欠
であシ、例えば第１図に示すように、ダイヤスラム上に
形成されている前記検出抵抗Ｒ１〜Ｒ４から構成される
ブリッジ回路に金属皮膜抵抗のような温度係斂の小さい
抵抗よりなる温度補償抵抗Ｒｐ、 、 Ｒ，２，Ｒ８を
各々付加して温度補償を行い、ブリッジ回路出力の温度
変化、すなわち温度ドリフトを最小にする。なお、第１
図において符号Ａは定電流源、Ｔ 、Ｔ は出力婦子で
０１ ０２ である、また、ＲＬは感度（スパン）調整用の抵抗であ
るが、この抵抗ＲＬも温度補償抵抗に含めるものとする
。
るダイヤフラム上に、４個のＰ型検出抵抗を拡散あるい
はイオン打込み技術によって形成し、これらの検出抵抗
をブリッジ接続して被測定圧に対応する検出電圧を得る
ようにしたもので、従来の金属線等による圧力センサに
比較し、はるかに大きい検出感度が得られる反面、検出
電圧の温度依存性が大きいという欠点がある。したがっ
て、この半導体圧力センサにおいては温間補償が不可欠
であシ、例えば第１図に示すように、ダイヤスラム上に
形成されている前記検出抵抗Ｒ１〜Ｒ４から構成される
ブリッジ回路に金属皮膜抵抗のような温度係斂の小さい
抵抗よりなる温度補償抵抗Ｒｐ、 、 Ｒ，２，Ｒ８を
各々付加して温度補償を行い、ブリッジ回路出力の温度
変化、すなわち温度ドリフトを最小にする。なお、第１
図において符号Ａは定電流源、Ｔ 、Ｔ は出力婦子で
０１ ０２ である、また、ＲＬは感度（スパン）調整用の抵抗であ
るが、この抵抗ＲＬも温度補償抵抗に含めるものとする
。
用い、周囲温度′しよび圧力を種々変化させながら上記
ダイヤル式可変抵抗器を調整して試行錯誤的に」股適値
を選ぶという方法が採らｎており、このため、温度補（
Ｉｔ抵抗値の決定に非常に時間がかかり、工業生産性に
優れず、結果として圧力センサの価格が高ｌｌｌ１ｉＫ
なるという問題があった、そこでこの兄明け、ｉ度補償
抵抗の値を短時間で自動的に決定することができる半導
体圧力センザの自動湛＃補股読代を提供するもので、半
導体圧力センサのｉＤ度補ｔｉ抵抗を接続すべき箇所に
プログラム可変抵抗器を接続し、このプログラム可変抵
抗器の抵抗値および周囲温度、圧力を自動的に変化させ
て半導体圧力センサの出力電圧を測定し、この測定結果
に基づいて温度補償抵抗の値を以下、図面を参照しこの
発明の一実施例について説明する。
ダイヤル式可変抵抗器を調整して試行錯誤的に」股適値
を選ぶという方法が採らｎており、このため、温度補（
Ｉｔ抵抗値の決定に非常に時間がかかり、工業生産性に
優れず、結果として圧力センサの価格が高ｌｌｌ１ｉＫ
なるという問題があった、そこでこの兄明け、ｉ度補償
抵抗の値を短時間で自動的に決定することができる半導
体圧力センザの自動湛＃補股読代を提供するもので、半
導体圧力センサのｉＤ度補ｔｉ抵抗を接続すべき箇所に
プログラム可変抵抗器を接続し、このプログラム可変抵
抗器の抵抗値および周囲温度、圧力を自動的に変化させ
て半導体圧力センサの出力電圧を測定し、この測定結果
に基づいて温度補償抵抗の値を以下、図面を参照しこの
発明の一実施例について説明する。
第２図はこの発明による自動温度補償装置を適用した温
度補償システムの構成を示す図であり、決定するもので
ある。なお、半導体圧力センサの測定圧力の範囲をＰ１
〜Ｐ３（Ｐ、 ＜Ｐ３） 、使用温度範囲をＴ１〜Ｔ３
（Ｔ１＜Ｔ３）とし、また圧力Ｐ、 、 Ｐ３ の中間
子方をＰ２、温度Ｔ１． Ｔ３の中間温度をＴ２ とす
る、、第２図において符号１１は補償抵抗算出置であり
、この装置１１は予め周囲温度および圧力を変えて検出
抵抗Ｒ４〜Ｒ４（第１図参照）の値を画定し、この測定
結果れた抵抗値はフロッピィディスク１２に一旦記録さ
れ、このフロッピィディスク１２がこの発明による自動
温度補償装置１３にセットされる。自動温度補償装置１
３は、７０ソビイデイスク１２内に記録された各抵抗値
を可変抵抗器によって笑現し、実際に圧力センサに取付
け、さらに、取付けた可変抵抗器の値を微調整して最終
的じ温度ト°リフトを最小とするような抵抗Ｒｐ１＋
Ｒ９２ｍ ”’ｓ ＃ＲＬの値を決定する。ただし、こ
の場合抵抗Ｒｐ１゜Ｒ，２１共に調整することは非常に
工数を要するので、この実施例においては、上述した調
整を行う前に、補償抵抗算出装置１１によって算出され
た抵抗値Ｒｐ１を有する金属皮膜抵抗器を予め圧力セン
サに取イτｊけておき、自動温度補償装＃１３において
は、抵抗Ｒ，２，Ｒ８の値の最終的決定および抵抗ＲＬ
Ｏ値の決定を行う。
度補償システムの構成を示す図であり、決定するもので
ある。なお、半導体圧力センサの測定圧力の範囲をＰ１
〜Ｐ３（Ｐ、 ＜Ｐ３） 、使用温度範囲をＴ１〜Ｔ３
（Ｔ１＜Ｔ３）とし、また圧力Ｐ、 、 Ｐ３ の中間
子方をＰ２、温度Ｔ１． Ｔ３の中間温度をＴ２ とす
る、、第２図において符号１１は補償抵抗算出置であり
、この装置１１は予め周囲温度および圧力を変えて検出
抵抗Ｒ４〜Ｒ４（第１図参照）の値を画定し、この測定
結果れた抵抗値はフロッピィディスク１２に一旦記録さ
れ、このフロッピィディスク１２がこの発明による自動
温度補償装置１３にセットされる。自動温度補償装置１
３は、７０ソビイデイスク１２内に記録された各抵抗値
を可変抵抗器によって笑現し、実際に圧力センサに取付
け、さらに、取付けた可変抵抗器の値を微調整して最終
的じ温度ト°リフトを最小とするような抵抗Ｒｐ１＋
Ｒ９２ｍ ”’ｓ ＃ＲＬの値を決定する。ただし、こ
の場合抵抗Ｒｐ１゜Ｒ，２１共に調整することは非常に
工数を要するので、この実施例においては、上述した調
整を行う前に、補償抵抗算出装置１１によって算出され
た抵抗値Ｒｐ１を有する金属皮膜抵抗器を予め圧力セン
サに取イτｊけておき、自動温度補償装＃１３において
は、抵抗Ｒ，２，Ｒ８の値の最終的決定および抵抗ＲＬ
Ｏ値の決定を行う。
第３図は上述した自動温度補償装置１３の構成を示すブ
ロック図であり、この図において符号１５は上ａ己フａ
ツピイディスク１２がセットされるフロッピィディスク
装置、１６けノく一ソナルコンピュータ、１７はプログ
ラム可変抵抗器である。
ロック図であり、この図において符号１５は上ａ己フａ
ツピイディスク１２がセットされるフロッピィディスク
装置、１６けノく一ソナルコンピュータ、１７はプログ
ラム可変抵抗器である。
このプログラム可変抵抗器１７は、第４図に示すように
Ｗ抗Ｒｐｚ ｌ Ｒ８，ＲＬにそれぞれ対応して３組の
抵抗ブロック１７ａ、１７ｂ、１７ｃを有してかり、各
抵抗ブロック１７ａ〜１７ｅが各々第５図に示すように
多数の抵抗器および各抵抗器をオン／オフする多数のス
イッチから構成されている。そして、この抵抗ブロック
１７ａ〜１７ｃ内の各スイッチが各にコンピュータ１６
カラノｆｆｊｌＪ御信号によってオン／オフ制御され
、これにより、端子Ｔａ 、 Ｔｂ 間にコンピュータ
１６からの制御信号に対応する抵抗値が得られろように
なっている。また、各抵抗ブロック１７ａ−１７ｃの端
子’ｒａ 、 Ｔｂ は、第４図に示す切換スイッチ１
８ａ〜１８ｃを介して第３図に示すディジタル抵抗計１
９またはスキャナ２０に接続される。
Ｗ抗Ｒｐｚ ｌ Ｒ８，ＲＬにそれぞれ対応して３組の
抵抗ブロック１７ａ、１７ｂ、１７ｃを有してかり、各
抵抗ブロック１７ａ〜１７ｅが各々第５図に示すように
多数の抵抗器および各抵抗器をオン／オフする多数のス
イッチから構成されている。そして、この抵抗ブロック
１７ａ〜１７ｃ内の各スイッチが各にコンピュータ１６
カラノｆｆｊｌＪ御信号によってオン／オフ制御され
、これにより、端子Ｔａ 、 Ｔｂ 間にコンピュータ
１６からの制御信号に対応する抵抗値が得られろように
なっている。また、各抵抗ブロック１７ａ−１７ｃの端
子’ｒａ 、 Ｔｂ は、第４図に示す切換スイッチ１
８ａ〜１８ｃを介して第３図に示すディジタル抵抗計１
９またはスキャナ２０に接続される。
なお、プログラム可変抵抗器１７は、第５図に示すよう
に電磁リレー５ａ・・・で寝載の抵抗器を切り換える構
成か、第６図に示すスライドスイッチ式可変抵抗器のど
ちらか、またｌ−１：、それぞれの特徴を生かし、両者
の組み合せで構成できる。第５図の電磁リレ一式は、回
路構成が相線になシ、応答速度が速いという特徴があり
、第６図のスライド・スイッチ式可変抵抗器は接点が常
にワイプされて酸化膜の発生が少ないため、リレー接点
では接触抵抗が問題、となるような低抵抗値を災現する
のに有利である。なお、第６図において符号２２はステ
ップモータ、２３はスライドスイッチ接点。
に電磁リレー５ａ・・・で寝載の抵抗器を切り換える構
成か、第６図に示すスライドスイッチ式可変抵抗器のど
ちらか、またｌ−１：、それぞれの特徴を生かし、両者
の組み合せで構成できる。第５図の電磁リレ一式は、回
路構成が相線になシ、応答速度が速いという特徴があり
、第６図のスライド・スイッチ式可変抵抗器は接点が常
にワイプされて酸化膜の発生が少ないため、リレー接点
では接触抵抗が問題、となるような低抵抗値を災現する
のに有利である。なお、第６図において符号２２はステ
ップモータ、２３はスライドスイッチ接点。
２４け接点切換え板である。
ディジタル抵抗計１９は抵抗ブロック１７ａ〜１７ｃの
両鉗１子Ｔａ 、 ’Ｉ’ｂ 間の抵抗値を測定してコ
ンピュータ１６へ出力する。なお、とのディジタル抵抗
計１９はコンピュータ１６が抵抗ブロック】７ａ〜１７
ｃの両１瑞子Ｔａ、 Ｔｂ 間の抵抗値を確認できろよ
うにするため設けられたものであり、抵抗値の設定が高
精度で行なえる。
両鉗１子Ｔａ 、 ’Ｉ’ｂ 間の抵抗値を測定してコ
ンピュータ１６へ出力する。なお、とのディジタル抵抗
計１９はコンピュータ１６が抵抗ブロック】７ａ〜１７
ｃの両１瑞子Ｔａ、 Ｔｂ 間の抵抗値を確認できろよ
うにするため設けられたものであり、抵抗値の設定が高
精度で行なえる。
測定槽２４は内部に温度補償抵抗値を決定すべき半歩体
圧力センサが多数（例えば数１００個）設置されるもの
で、内部の温度および圧力が温度・圧力コン）・ローラ
２５によって制御される。温度。
圧力センサが多数（例えば数１００個）設置されるもの
で、内部の温度および圧力が温度・圧力コン）・ローラ
２５によって制御される。温度。
圧力コントローラ２５はコンピュータ１６からの指令に
基づいて測定（臼２４の内部温度を高精度でｆｌｔ制御
し、まｌ上内部の圧力を高い稍度で卸ｊ御する。
基づいて測定（臼２４の内部温度を高精度でｆｌｔ制御
し、まｌ上内部の圧力を高い稍度で卸ｊ御する。
スキャナ２０はコンピュータ１Ｇによって指定された測
定槽２４内の圧力センサを７°ログラム可変抵抗器１７
およびディジタル電圧計２６に凝視する。すなわち１例
えばコンピュータ１６によって鳳１５の圧力センサが指
定され７ｈ場合は、測定槽２４内の遮１５の位置にある
圧力センサの第１図に示す抵抗Ｒ，２，Ｒ８，ＲＬの各
■ｒ置に各々、プログラム可変抵抗器１７の抵抗ブロッ
ク１７ａ。
定槽２４内の圧力センサを７°ログラム可変抵抗器１７
およびディジタル電圧計２６に凝視する。すなわち１例
えばコンピュータ１６によって鳳１５の圧力センサが指
定され７ｈ場合は、測定槽２４内の遮１５の位置にある
圧力センサの第１図に示す抵抗Ｒ，２，Ｒ８，ＲＬの各
■ｒ置に各々、プログラム可変抵抗器１７の抵抗ブロッ
ク１７ａ。
１７ｂ、１７ｃを接続し％また、同圧力センサの出力婦
子Ｔ１．Ｔ２ をディジタルマルチメータ２６の入力端
に接続する。ディジタルマルチメータュータ１６へ出力
する。
子Ｔ１．Ｔ２ をディジタルマルチメータ２６の入力端
に接続する。ディジタルマルチメータュータ１６へ出力
する。
次に，上述したコンピュータ１６によって行われる抵抗
値Ｒ，２， ＲＢ， Ｒ１， 決定の過程を説明する。
値Ｒ，２， ＲＢ， Ｒ１， 決定の過程を説明する。
なお、測定槽２４内の爲：１５の圧力センサの抵抗値を
決定する場合を例にとシ説明する。
決定する場合を例にとシ説明する。
（１）計算値の読出し於よびプログラド可変抵抗器１７
のセット まず、フａツビイデイスク装置１５内のフロッピィディ
スク１２に記′１意をれているＩＫ． １ ５の圧力・
Ｊニンナの１ｆモ抗［直Ｐ 、）化 を酊し出す。次い
”ｐ２ Ｓ でｍ ｉｊｌｌ．出シｆｃ ！’．Ｅ抗値”ｐ２ ｓ
Ｒ， ニｔｉｃ，．−ｒ Ｚ） ＩＩ （５信号と各ｈ
プログラム可変抵抗器１７の抵抗プロン２り１ ７ ＋
！． １ １ ７ ｂ−、出力し，、１ タｓ −３ヲ
指示す，乙：：ｊ：！往信号を抵抗ブロック１７ｃへ出
力す、乙。これにより、抵抗ブロック］．７ａ〜］．
７ ｃの（堤子Ｔａ＋ ”ｂ 間の一且抗７：）Ｋ ＠
／７上記，）ξ抗値Ｒｐ２ 、Ｒ３卦よびψと々ろ、 （２）スヤヤナ２０の七ツＩ・ スキャナ？Ｏへ５１５の圧力センサを指示スる制御イ計
号をｉｌ３力する。これにより、５１５の圧力セソサと
プログラム可変抵抗器１７およびディジタル電圧計２６
とが接続されろ。
のセット まず、フａツビイデイスク装置１５内のフロッピィディ
スク１２に記′１意をれているＩＫ． １ ５の圧力・
Ｊニンナの１ｆモ抗［直Ｐ 、）化 を酊し出す。次い
”ｐ２ Ｓ でｍ ｉｊｌｌ．出シｆｃ ！’．Ｅ抗値”ｐ２ ｓ
Ｒ， ニｔｉｃ，．−ｒ Ｚ） ＩＩ （５信号と各ｈ
プログラム可変抵抗器１７の抵抗プロン２り１ ７ ＋
！． １ １ ７ ｂ−、出力し，、１ タｓ −３ヲ
指示す，乙：：ｊ：！往信号を抵抗ブロック１７ｃへ出
力す、乙。これにより、抵抗ブロック］．７ａ〜］．
７ ｃの（堤子Ｔａ＋ ”ｂ 間の一且抗７：）Ｋ ＠
／７上記，）ξ抗値Ｒｐ２ 、Ｒ３卦よびψと々ろ、 （２）スヤヤナ２０の七ツＩ・ スキャナ？Ｏへ５１５の圧力センサを指示スる制御イ計
号をｉｌ３力する。これにより、５１５の圧力セソサと
プログラム可変抵抗器１７およびディジタル電圧計２６
とが接続されろ。
（３）抵抗値ＲＬの決定
（１）測定槽２４内の温度をＴ２ に設定する。
（ｉｌ） ｉｉｌｌ定槽２４内の圧力をＰ□ 紐よびＰ
３ に設定し．各４易合における圧力センサの出力電圧
Ｖ ｉｉｌｆｊ定する、なお、この時抵抗Ｉ−？．Ｌけ
〜の状態にあり．。
３ に設定し．各４易合における圧力センサの出力電圧
Ｖ ｉｉｌｆｊ定する、なお、この時抵抗Ｉ−？．Ｌけ
〜の状態にあり．。
（ｉｉｉｌ 上記測定によって得られた出力可［Ｅ ”
ｏ の値シよび仕様によって決められている感度（ある
ｉｎ ｊ−ｔスパン）から、ｉ￥１算により圧力Ｐ３の
ときの出力電圧Ｖ。を算出する２ （＼ｈ 測定槽２４内の圧力をＰ．に設定し、抵抗ブロ
ック１７ｃの抵抗値を変ｆヒをせ、圧力センサの出力電
圧Ｖ が（１１訃でめられた値となるように調整す７−
。
ｏ の値シよび仕様によって決められている感度（ある
ｉｎ ｊ−ｔスパン）から、ｉ￥１算により圧力Ｐ３の
ときの出力電圧Ｖ。を算出する２ （＼ｈ 測定槽２４内の圧力をＰ．に設定し、抵抗ブロ
ック１７ｃの抵抗値を変ｆヒをせ、圧力センサの出力電
圧Ｖ が（１１訃でめられた値となるように調整す７−
。
以上の過程により抵抗ＲＩ，の値が決定される。
（４）抵抗値Ｒ，２ の決定
中 測定槽２４内の圧力をＰ２ に設定す札（ｉｔ）
Ｉｌｌｌｌ定慴２４内の温度をＴ１ に設定す札ｏ＋＋
）＋ｅ抗ゴブロック１フａ設定でれてい乙析抗値Ｒｐ２
を±Δγだけずらし７て圧力センサの出力電圧Ｖ を
測定するう （ψ 測定槽２４内の＠度をＴ，に設定する。
Ｉｌｌｌｌ定慴２４内の温度をＴ１ に設定す札ｏ＋＋
）＋ｅ抗ゴブロック１フａ設定でれてい乙析抗値Ｒｐ２
を±Δγだけずらし７て圧力センサの出力電圧Ｖ を
測定するう （ψ 測定槽２４内の＠度をＴ，に設定する。
（Ｖ） 抵抗ブロック１７ａの抵抗値Ｒ．，２を士Δγ
だけずらして出力可ｒｆＶｏ を測定する。
だけずらして出力可ｒｆＶｏ を測定する。
（ｌ／）上記ＧＩＤおよび（ｙ）の測定値から、最低・
最高温度特性がりａスする点のＲ，２ を演算によつて
める。
最高温度特性がりａスする点のＲ，２ を演算によつて
める。
以上の過程によシ抵抗Ｒ９２の値が決定される。
（５） 抵抗値Ｒの決定
（１） 測定槽２４内の温度をＴ２ に設定する。
（１１）測定槽２４内の圧力をＰ２ に設定する。
呻 抵抗ブロック１７ｂの抵抗値を変ｆヒさせ、圧力セ
ンサの出力電圧Ｖ。が仕様によって決められている値と
なるように調整する。
ンサの出力電圧Ｖ。が仕様によって決められている値と
なるように調整する。
これによシ、抵抗Ｒの値が決定される。
以上説明したように、この発明によれば半導体圧力セン
サの温度補償抵抗を接続すべき箇所にプログラム可変抵
抗器を接続し、このプログラム可変抵抗器の抵抗値およ
び周囲温度、圧力を自動的に変化させて半導体圧力セン
サの出力電圧を測定し、この測定結果に基づいて温度補
償抵抗の値を決定するようにしたので、温度補償抵抗の
値を短時間で、かつ人手を全く要さずに決定することが
できる。
サの温度補償抵抗を接続すべき箇所にプログラム可変抵
抗器を接続し、このプログラム可変抵抗器の抵抗値およ
び周囲温度、圧力を自動的に変化させて半導体圧力セン
サの出力電圧を測定し、この測定結果に基づいて温度補
償抵抗の値を決定するようにしたので、温度補償抵抗の
値を短時間で、かつ人手を全く要さずに決定することが
できる。
よって１本発明は粒度の高い圧力センサの生産性向上に
著るしく寄与し、その工業的価値は極めて大である。
著るしく寄与し、その工業的価値は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
第１図は温度補償抵抗を付加した半導体圧力センサの電
気的構成を示す回路図、第２図はこの発明による自動温
度補償装置を適用した温度補償システムの構成を示すブ
ロック図、第３図はこの発明の一実施例による自動温度
補償装置の構成を示すブロック図、第４図は同実施例に
おけるプログラム可変抵抗器１７の構成を示すブロック
図、第５図は同プログラム可変抵抗器１７における抵抗
ブロック１７ａ−１７ｃの構成全示す回路図、第６図は
抵抗ブロック１７ａ〜１７ｃの他の構成例を示す図であ
る、 １６・・・・・・パーソナルコンピュータ（演算部制御
手段）。 １７・・・・・・プログラム可変抵抗器、２０・・・・
・・スキャナ（接続手段）、２４・・・・・・測定槽、
２５・・・・・・温度・圧力コントローラ、２６・・・
・・・ディジタル電圧計（測定手段）、。
気的構成を示す回路図、第２図はこの発明による自動温
度補償装置を適用した温度補償システムの構成を示すブ
ロック図、第３図はこの発明の一実施例による自動温度
補償装置の構成を示すブロック図、第４図は同実施例に
おけるプログラム可変抵抗器１７の構成を示すブロック
図、第５図は同プログラム可変抵抗器１７における抵抗
ブロック１７ａ−１７ｃの構成全示す回路図、第６図は
抵抗ブロック１７ａ〜１７ｃの他の構成例を示す図であ
る、 １６・・・・・・パーソナルコンピュータ（演算部制御
手段）。 １７・・・・・・プログラム可変抵抗器、２０・・・・
・・スキャナ（接続手段）、２４・・・・・・測定槽、
２５・・・・・・温度・圧力コントローラ、２６・・・
・・・ディジタル電圧計（測定手段）、。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体圧力センサを内部に設置する測定槽と。 この測定槽内の温度および圧力をコントロールする温度
・圧力コントローラと、プログラム可変抵抗器と、この
プログラム可変抵抗器を前記測定槽内の半導体圧力セン
サの所定箇所に接続する接続手段と、前記半導体圧力セ
ンサの出力重圧を測定する測定手段と、前記温度・圧力
コントローラを制御して前記１１１１定槽内の温度およ
び圧力を変ｆｌｌ、きせ、また、前記プログラム可変抵
抗器を制御して前記半導体圧力センサに接続される抵抗
値を変化させて前記測定手段の出力を検出し、この検出
結果に基づいて前記半導体圧力センザに付加すべき温度
補償抵抗の値を決定する演算制御手段とを具備してなる
半導体圧力センサの自動＠度補償装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123681A JPS6015979A (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | 半導体圧力センサの自動温度補償装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58123681A JPS6015979A (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | 半導体圧力センサの自動温度補償装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6015979A true JPS6015979A (ja) | 1985-01-26 |
| JPH0469326B2 JPH0469326B2 (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=14866673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58123681A Granted JPS6015979A (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | 半導体圧力センサの自動温度補償装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6015979A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7750716B2 (en) * | 2007-08-09 | 2010-07-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Variable resistor, filter, variable gain amplifier and integrated circuit using the variable resistor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52113771A (en) * | 1976-03-19 | 1977-09-24 | Sumitomo Metal Ind | Apparatus for authorizing and calibrating flowmeter |
| JPS56140203A (en) * | 1980-04-02 | 1981-11-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Bridge circuit |
-
1983
- 1983-07-07 JP JP58123681A patent/JPS6015979A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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| JPS52113771A (en) * | 1976-03-19 | 1977-09-24 | Sumitomo Metal Ind | Apparatus for authorizing and calibrating flowmeter |
| JPS56140203A (en) * | 1980-04-02 | 1981-11-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Bridge circuit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7750716B2 (en) * | 2007-08-09 | 2010-07-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Variable resistor, filter, variable gain amplifier and integrated circuit using the variable resistor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0469326B2 (ja) | 1992-11-05 |
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