JPS60161664U - クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 - Google Patents
クリ−ンル−ム内の荷搬送設備Info
- Publication number
- JPS60161664U JPS60161664U JP5097984U JP5097984U JPS60161664U JP S60161664 U JPS60161664 U JP S60161664U JP 5097984 U JP5097984 U JP 5097984U JP 5097984 U JP5097984 U JP 5097984U JP S60161664 U JPS60161664 U JP S60161664U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- duct
- transport equipment
- cargo
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を委し、第、１図は側面図、第
２図は要部の縦断正面図である。 １・・・クリーンルーム、３・・・天井柩、４・・・供
給空・間、５・・・クリーンエアー、６・・・フィルタ
ー、７・・・床、８・・・荷搬送装置、９・・・自走台
車、１１・・・連結部、１２・・・荷支持部、１３・・
・レールＪ１５・・・走行 ′用ダクト１．１６・・
・スリット、１７．１８・・・弾性シール材、１９・・
・エアーダクト、２０・・・フィルター、ｉｌＡ、２１
Ｂ・・・エアーガイドプレート、２−４・；・荷移動空
間、２５・・・荷、２６・・・クリーンユニ ゛ット、
２７・・・送′気管、２８・・・クリーンエアー。
２図は要部の縦断正面図である。 １・・・クリーンルーム、３・・・天井柩、４・・・供
給空・間、５・・・クリーンエアー、６・・・フィルタ
ー、７・・・床、８・・・荷搬送装置、９・・・自走台
車、１１・・・連結部、１２・・・荷支持部、１３・・
・レールＪ１５・・・走行 ′用ダクト１．１６・・
・スリット、１７．１８・・・弾性シール材、１９・・
・エアーダクト、２０・・・フィルター、ｉｌＡ、２１
Ｂ・・・エアーガイドプレート、２−４・；・荷移動空
間、２５・・・荷、２６・・・クリーンユニ ゛ット、
２７・・・送′気管、２８・・・クリーンエアー。
Claims (1)
- 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降するエアー
を床下に吸引するクリーンルーム内に配設される荷搬送
設備であって、自走台車と、この自走台車を支持案内す
るレールとを走行用ダクト内に配設すると共に、前記自
走台車から上方に連設した連結部を走行用ダクトの天板
部に形成した− スリットに通し、前記連結部に荷支
持部を譚け、前記走行用ダクトの上方にエアーダクトを
該走行用ダクトに沿って設け、前記両ダクトの相対向間
−に左右一対のエアーガイド、プレートを設けて、これ
ら両ダクトと両エアーガイドプレートとにより前記荷支
持部が位置する荷移動空間を形成し、この荷移動空間と
エアーダクトとをフィルターを介一連通１．えり、よや
特徴よオ；５９１）−：／／い−、ヵの荷搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5097984U JPS60161664U (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5097984U JPS60161664U (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60161664U true JPS60161664U (ja) | 1985-10-26 |
| JPH031334Y2 JPH031334Y2 (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=30569616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5097984U Granted JPS60161664U (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60161664U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7665403B2 (en) | 2006-01-26 | 2010-02-23 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carrying system |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP5097984U patent/JPS60161664U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7665403B2 (en) | 2006-01-26 | 2010-02-23 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carrying system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031334Y2 (ja) | 1991-01-16 |
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