JPS6016712A - 弾性表面波応用素子 - Google Patents
弾性表面波応用素子Info
- Publication number
- JPS6016712A JPS6016712A JP12533483A JP12533483A JPS6016712A JP S6016712 A JPS6016712 A JP S6016712A JP 12533483 A JP12533483 A JP 12533483A JP 12533483 A JP12533483 A JP 12533483A JP S6016712 A JPS6016712 A JP S6016712A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric substrate
- acoustic wave
- waves
- wave
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02614—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves
- H03H9/02622—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves of the surface, including back surface
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（Ｊｌ）発明の技術分野
本発明は弾性表面波応用素子に係り、特に所望の弾性表
面波のみを伝播させることが出来、スプリアス抑圧可能
な弾性表面波応用素子に関する。
面波のみを伝播させることが出来、スプリアス抑圧可能
な弾性表面波応用素子に関する。
ｆｂ） 従来技術と問題点
半無限の固体を伝播する代表的な弾性波には、■Ｒａｙ
ｌｅｉｇｈ ＷａＶ＆＋■Ｂｕｌｋ ５ｈｅａｒ ｗａ
ｖｅ、■Ｂｕｌｋ Ｊｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ ｗａｖ
ｅ等があり、ＵＨＦ、ＶＨＦ等の素子には上記■、■の
モードがよく利用されている。
ｌｅｉｇｈ ＷａＶ＆＋■Ｂｕｌｋ ５ｈｅａｒ ｗａ
ｖｅ、■Ｂｕｌｋ Ｊｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ ｗａｖ
ｅ等があり、ＵＨＦ、ＶＨＦ等の素子には上記■、■の
モードがよく利用されている。
しかしトランスジューサの構造や基板のカント等によっ
ては、■〜■が混在し望ましくない信号が伝播するため
、不要な波を抑圧して使用するメ・要がある。
ては、■〜■が混在し望ましくない信号が伝播するため
、不要な波を抑圧して使用するメ・要がある。
従来ののみを使用したい場合には、ｍｕｌｔｉ ５ｔｒ
ｉｐｃｏｕｐｌｅｒを使用して伝播路を変更することに
よってバルク波を除外したり、基板の板厚を薄くしてバ
ルク波を減衰させる等の手段が用いられていた。
ｉｐｃｏｕｐｌｅｒを使用して伝播路を変更することに
よってバルク波を除外したり、基板の板厚を薄くしてバ
ルク波を減衰させる等の手段が用いられていた。
しかしこれらは装置が複雑となる。或いは製作が困難と
なる等の問題点があり、いずれも十分に満足し得るもの
とは言い難かった。
なる等の問題点があり、いずれも十分に満足し得るもの
とは言い難かった。
（Ｃ１発明の目的
本発明の目的は上記問題点を解消して、望ましくない波
を十分に抑圧することが出来、しかも製作容易で且つ良
好な再現性を有する弾性表面波応用素子を提供すること
にある。
を十分に抑圧することが出来、しかも製作容易で且つ良
好な再現性を有する弾性表面波応用素子を提供すること
にある。
ｆｄ＋ 発明の構成
本発明の特徴は、弾性表面波用圧電基板と、該圧電基板
表面に互いに離隔して形成された一対の入出カドランス
ジューサと、該一対の人出カドランスジユーザ間の伝播
路に設けられた表面波抑圧手段とを具備してなることに
ある。
表面に互いに離隔して形成された一対の入出カドランス
ジューサと、該一対の人出カドランスジユーザ間の伝播
路に設けられた表面波抑圧手段とを具備してなることに
ある。
（０１発明の実施例
以下本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図〜第３図の斜視図に本発明の第１．第２゜第３の
実施例を示す。
実施例を示す。
上記第１図〜第３図において、Ｊば弾性表面波用圧電基
板で、本実施例ではタンタル酸リチウム（ＬｉＴａ０３
）よりなる凡そ４００（μｍ）の厚さの４０°回転ｙ板
を用いた。弾性表面波用圧電基板ｌとしてはこれ以外に
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、或いはセラミック
ス等を用いることができる。
板で、本実施例ではタンタル酸リチウム（ＬｉＴａ０３
）よりなる凡そ４００（μｍ）の厚さの４０°回転ｙ板
を用いた。弾性表面波用圧電基板ｌとしてはこれ以外に
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、或いはセラミック
ス等を用いることができる。
２．２”は入力及び出力側の１−ランスジューサで、例
えばアルミニウム（ＡＱ）或いは金（Ａｕ）を范着法あ
るいはスパッタ法等によって前記圧電基板１表面にすだ
れ状に被着形成した１５対の導電１模よりなる。該すだ
れ状の導電膜は交互に共通接続され、それぞれ」−１一
端子に接続される。該導電膜の配設ピッチｐは、伝播さ
せる弾性表面波の波長をλ。とじたとき、ｐ−λｏ ／
２とする。波長λ０は音速■（几そ４１５０ｍ ／
ｓｅｃ ） ／周波数ｆ。
えばアルミニウム（ＡＱ）或いは金（Ａｕ）を范着法あ
るいはスパッタ法等によって前記圧電基板１表面にすだ
れ状に被着形成した１５対の導電１模よりなる。該すだ
れ状の導電膜は交互に共通接続され、それぞれ」−１一
端子に接続される。該導電膜の配設ピッチｐは、伝播さ
せる弾性表面波の波長をλ。とじたとき、ｐ−λｏ ／
２とする。波長λ０は音速■（几そ４１５０ｍ ／
ｓｅｃ ） ／周波数ｆ。
であるから、ｆ ｏ ＃ １００ （Ｍｌｌｚ）とする
と、λ０＃ ４１．５ Ｃμｍ〕、従ってｐ ＃ ２０
．８ Ｃμｍ〕とする。
と、λ０＃ ４１．５ Ｃμｍ〕、従ってｐ ＃ ２０
．８ Ｃμｍ〕とする。
導電膜の厚さは例えば２０００〜３０００ （人〕１幅
は配設ピッチｐの１／２即ち約１０．４（μｍ〕とする
。
は配設ピッチｐの１／２即ち約１０．４（μｍ〕とする
。
３は伝播路、また４、５． ６はそれぞれ表面波抑圧手
段の例で、４は溝、５は圧電基板１表面に吹き付は加工
法或いはラッピング研磨法を施して形成した粗面、６は
圧電基板１表面にエポキシ樹脂等を塗布して形成した吸
音拐である。
段の例で、４は溝、５は圧電基板１表面に吹き付は加工
法或いはラッピング研磨法を施して形成した粗面、６は
圧電基板１表面にエポキシ樹脂等を塗布して形成した吸
音拐である。
この表面波抑圧手段として用いた上記第１図の溝４は、
伝播路３に交差する方向に、ダイシング・ソーを用いて
圧電基板１表面を切削する。或いはドライエツチング法
により圧電基板１表面を選択的に除去する等の方法によ
って形成し得る。第１図には表面波抑圧手段としての溝
４を１本のみ形成した例を示しであるが、溝４は複数本
形成しても良い。該溝４の深さは抑圧すべき表面波の波
長をλとしたとき、略０．４λ以下とすることが望まし
いようである。第２図に示す粗面５は圧電基４に１表面
に研磨祠を吹き付りる（ザン］ブラスト） 、 或イハ
ラノピングｒｔｌＦＦｆｆ法を施すことによって圧電基
板１表面を荒らすとこにより、また第３図に示す吸音祠
６はエポキシ樹脂或いは斗ンク等を塗布することにより
、表面の振動波を吸収するものである。
伝播路３に交差する方向に、ダイシング・ソーを用いて
圧電基板１表面を切削する。或いはドライエツチング法
により圧電基板１表面を選択的に除去する等の方法によ
って形成し得る。第１図には表面波抑圧手段としての溝
４を１本のみ形成した例を示しであるが、溝４は複数本
形成しても良い。該溝４の深さは抑圧すべき表面波の波
長をλとしたとき、略０．４λ以下とすることが望まし
いようである。第２図に示す粗面５は圧電基４に１表面
に研磨祠を吹き付りる（ザン］ブラスト） 、 或イハ
ラノピングｒｔｌＦＦｆｆ法を施すことによって圧電基
板１表面を荒らすとこにより、また第３図に示す吸音祠
６はエポキシ樹脂或いは斗ンク等を塗布することにより
、表面の振動波を吸収するものである。
第４１１（ａｌ〜ｆｄｌは本発明に係る上記各種の表面
波抑圧手段の効果を従来素子と比較して示す図で、（＋
］）は表面波抑圧手段が設けられていない従来の弾性表
面波応用素子、（ｂ）〜（ｄ＋は表面波抑圧手段を設り
だ本発明の実施例で、伝播路３上にそれぞれ、ｆｂｌば
吸音月６を、（Ｃ）は深さ凡そ１８（、ｕｍ）＋７）溝
４を、（ｄ＋は深さ凡そ３８〔μｍ〕の溝を設けた例の
伝播特性を示す。なおこれら４種の試料の圧電基板１及
びトランスジューサ２．２”の材料、各部の寸法等は前
述した通りで、総て同一とした。
波抑圧手段の効果を従来素子と比較して示す図で、（＋
］）は表面波抑圧手段が設けられていない従来の弾性表
面波応用素子、（ｂ）〜（ｄ＋は表面波抑圧手段を設り
だ本発明の実施例で、伝播路３上にそれぞれ、ｆｂｌば
吸音月６を、（Ｃ）は深さ凡そ１８（、ｕｍ）＋７）溝
４を、（ｄ＋は深さ凡そ３８〔μｍ〕の溝を設けた例の
伝播特性を示す。なおこれら４種の試料の圧電基板１及
びトランスジューサ２．２”の材料、各部の寸法等は前
述した通りで、総て同一とした。
同図（ａｌに見られる如く、従来素子では応答出力の大
きい略９３ （Ｍｌｌｚ）の表面波と略１０１ ｆ Ｍ
１１２）の表面近傍波とが伝播されていた。これに対
し同図（ｂｌにおいては略９３ （Ｍ １ｌｚ）の表面
波が若干減衰し、同図ｔｅｌではこの表面波が大１１′
畠に減衰しているが、表面近傍波は従来素子同様減衰は
認められない。更に同図＋ｄ＋では、表面波とともに表
面近傍波も遮断され、伝播されない。
きい略９３ （Ｍｌｌｚ）の表面波と略１０１ ｆ Ｍ
１１２）の表面近傍波とが伝播されていた。これに対
し同図（ｂｌにおいては略９３ （Ｍ １ｌｚ）の表面
波が若干減衰し、同図ｔｅｌではこの表面波が大１１′
畠に減衰しているが、表面近傍波は従来素子同様減衰は
認められない。更に同図＋ｄ＋では、表面波とともに表
面近傍波も遮断され、伝播されない。
以上により理解される如く本発明に係る表面波抑圧手段
を用いた実施例では、表面波の伝播を抑圧し、表面近傍
波を伝播する。但し表面波抑圧効果は、表面波抑圧手段
によりそれぞれ差があるので、目的に応じて選択するこ
とを要する。なお表面波抑圧手段として溝４を用いる場
合には、溝４が深すぎると上記第４図＋ｄ＋に見られる
如く表面近傍波をも遮断してしまうので、その深さを制
御することが必要である。第５図は溝４の深さに対する
表面波と表面近傍波の伝播特性を示す図で、横軸は溝４
の深さｄを表面波の波長λに対する比で示し、縦軸は減
衰率を示す。同図へに示す如く表面波はｄ≧０．４λで
ほぼ完全に遮断される。一方表面近傍波はＢの如く、ｄ
≦０．４５λの範囲では殆ど減衰せず、ｄが０．４５λ
を越えるとｄの増加とともに減衰が大きくなり、ｄ≧０
．８６となると表面近清液も遮断されてしまう。従って
溝の深さは上記伝播１１￥性を考慮して選択すべきもの
であるが、溝４の加工精度等を考慮すれば、ｄ≦０．４
／とするのが実用的と思われる。
を用いた実施例では、表面波の伝播を抑圧し、表面近傍
波を伝播する。但し表面波抑圧効果は、表面波抑圧手段
によりそれぞれ差があるので、目的に応じて選択するこ
とを要する。なお表面波抑圧手段として溝４を用いる場
合には、溝４が深すぎると上記第４図＋ｄ＋に見られる
如く表面近傍波をも遮断してしまうので、その深さを制
御することが必要である。第５図は溝４の深さに対する
表面波と表面近傍波の伝播特性を示す図で、横軸は溝４
の深さｄを表面波の波長λに対する比で示し、縦軸は減
衰率を示す。同図へに示す如く表面波はｄ≧０．４λで
ほぼ完全に遮断される。一方表面近傍波はＢの如く、ｄ
≦０．４５λの範囲では殆ど減衰せず、ｄが０．４５λ
を越えるとｄの増加とともに減衰が大きくなり、ｄ≧０
．８６となると表面近清液も遮断されてしまう。従って
溝の深さは上記伝播１１￥性を考慮して選択すべきもの
であるが、溝４の加工精度等を考慮すれば、ｄ≦０．４
／とするのが実用的と思われる。
従来の弾性表面波応用素子は」１記説明により既に明ら
か如く、表面波を利用し表面近傍波を不要波として除去
しようとしていたのに対し、本発明ではこれとは逆に表
面近傍波を利用し、表面波を除去使用とするものである
。従来素子では表面波を利用するため、弾性表面波応用
素子の表面に水分或いは樹脂等が付着すると表面波の減
衰が生しるので、表面を極めて清浄に保つことが必要で
、素子の製作に当たっては細心の注意を要し、そのため
製造工程の管理は必ずしも容易とは言えなかった。これ
に対し上記各実施例は表面波を抑圧使用とするものであ
ることから、素子の表面状態に従来素子における如き制
約がない。従って不要波の抑圧効果が十分であるのみな
らず、再現性が良く且つ製造工程及びその管理が容易と
なるという利点を有する。
か如く、表面波を利用し表面近傍波を不要波として除去
しようとしていたのに対し、本発明ではこれとは逆に表
面近傍波を利用し、表面波を除去使用とするものである
。従来素子では表面波を利用するため、弾性表面波応用
素子の表面に水分或いは樹脂等が付着すると表面波の減
衰が生しるので、表面を極めて清浄に保つことが必要で
、素子の製作に当たっては細心の注意を要し、そのため
製造工程の管理は必ずしも容易とは言えなかった。これ
に対し上記各実施例は表面波を抑圧使用とするものであ
ることから、素子の表面状態に従来素子における如き制
約がない。従って不要波の抑圧効果が十分であるのみな
らず、再現性が良く且つ製造工程及びその管理が容易と
なるという利点を有する。
（ｆｌ 発明の詳細
な説明した如く本発明によれば、弾性表面波応用素子に
おりる不要波を十分に抑圧することが出来、しかもその
製作に当たっては良好な再現性を有し且つ製造工程及び
その管理が極めて容易となる。
おりる不要波を十分に抑圧することが出来、しかもその
製作に当たっては良好な再現性を有し且つ製造工程及び
その管理が極めて容易となる。
第１図〜第３図は本発明の実施例を示すＰ１視図、第４
図は本発明の表面抑圧効果を示す曲線図、第５図は表面
４の深さと表面波及び表面近傍波の伝播特性を示す曲線
図である。 図において、ｌは弾性表面波応用素子用圧電基板、２は
トランスジユーザ、３は伝播路、４は表面波抑圧手段を
示す。 第１図 第２し 第３図 ２ ６ ３ 上チ由 ２′ と （山（Ｉｔ））シ笥〜←−一一一一 （山ｑｐ＞シ苔ｒ （ｕＪ（ＩＰ）娯郁 （山ｑｐ）矩１′Ｆ
図は本発明の表面抑圧効果を示す曲線図、第５図は表面
４の深さと表面波及び表面近傍波の伝播特性を示す曲線
図である。 図において、ｌは弾性表面波応用素子用圧電基板、２は
トランスジユーザ、３は伝播路、４は表面波抑圧手段を
示す。 第１図 第２し 第３図 ２ ６ ３ 上チ由 ２′ と （山（Ｉｔ））シ笥〜←−一一一一 （山ｑｐ＞シ苔ｒ （ｕＪ（ＩＰ）娯郁 （山ｑｐ）矩１′Ｆ
Claims (1)
- 弾性表面波用圧電基板と、該圧電基板表面に互いにＩｔ
ｌｌｔ隔して形成された一対の入出カドランスジューサ
と、該一対の入出カドランスジューサ間の伝播路に設け
られた表面波抑圧手段とを具備してなることを特徴とす
る弾性表面波応用素子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533483A JPS6016712A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 弾性表面波応用素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12533483A JPS6016712A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 弾性表面波応用素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016712A true JPS6016712A (ja) | 1985-01-28 |
Family
ID=14907535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12533483A Pending JPS6016712A (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 弾性表面波応用素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016712A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
| JP2015109688A (ja) * | 2015-01-15 | 2015-06-11 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 分波器 |
| JP2015180103A (ja) * | 2015-06-01 | 2015-10-08 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子 |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP12533483A patent/JPS6016712A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012084953A (ja) * | 2010-10-07 | 2012-04-26 | Panasonic Corp | 弾性波素子と、これを用いた分波器 |
| JP2015109688A (ja) * | 2015-01-15 | 2015-06-11 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 分波器 |
| JP2015180103A (ja) * | 2015-06-01 | 2015-10-08 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子 |
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