JPS60167337U - 蒸着用ウエハ回転機構 - Google Patents

蒸着用ウエハ回転機構

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Publication number
JPS60167337U
JPS60167337U JP5607384U JP5607384U JPS60167337U JP S60167337 U JPS60167337 U JP S60167337U JP 5607384 U JP5607384 U JP 5607384U JP 5607384 U JP5607384 U JP 5607384U JP S60167337 U JPS60167337 U JP S60167337U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vapor deposition
rotation mechanism
wafer rotation
supported
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5607384U
Other languages
English (en)
Inventor
弘光　茂治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP5607384U priority Critical patent/JPS60167337U/ja
Publication of JPS60167337U publication Critical patent/JPS60167337U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の蒸着用ウェハ回転機構の平面図。第２図
は第１図のＡ−Ａ断面図。第３図は本考案の蒸着用ウェ
ハ回転機構の平面図。第４図は第３図のＡ−Ａ断面拡大
図づである。 図において、４はウェハ、５は軌道輪、６は蒸着装置、
？、　８．９は軸、１０，１１．１２は金具、１３，１
４．１５は平歯車、１６．　１７．　１８は恒星板、１
９は軸、２０は遊星歯車、２１は端部、２２は惑星板、
２３はウェハ挾持金具である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸着装置内にある環状の軌道輪と、前記軌道輪の等分割
    された位置に固定され伝導機構を備えた複数個の固定軸
    と、前記固定軸のそれぞれの蒸着面側の先端に回転自在
    に支持され外周縁が蒸着装置内の円形溝に接触している
    恒星板と、前記恒星板それぞれの等分割された位置に回
    転自在に支持され、一方の端が前記軸のそれぞれに備え
    られた伝導機構と噛み合っている伝導機構を備えた回転
    軸と、前記回転軸のそれぞれの蒸着面側にある先端が傾
    斜自在に支持され、それぞれにウエノ１支持機構を備え
    た複数の惑星板とから構成されたことを特徴とする蒸着
    用ウェハ回転機構。
JP5607384U 1984-04-17 1984-04-17 蒸着用ウエハ回転機構 Pending JPS60167337U (ja)

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JP5607384U JPS60167337U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 蒸着用ウエハ回転機構

Applications Claiming Priority (1)

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JP5607384U JPS60167337U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 蒸着用ウエハ回転機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60167337U true JPS60167337U (ja) 1985-11-06

Family

ID=30579334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5607384U Pending JPS60167337U (ja) 1984-04-17 1984-04-17 蒸着用ウエハ回転機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60167337U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03191059A (ja) * 1989-12-20 1991-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd スパッタリング装置
JP2007100123A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Kyocera Kinseki Corp 真空蒸着装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03191059A (ja) * 1989-12-20 1991-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd スパッタリング装置
JP2007100123A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Kyocera Kinseki Corp 真空蒸着装置

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