JPS60168587U - カ−トリツジ式超純水装置 - Google Patents

カ−トリツジ式超純水装置

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JPS60168587U
JPS60168587U JP5621784U JP5621784U JPS60168587U JP S60168587 U JPS60168587 U JP S60168587U JP 5621784 U JP5621784 U JP 5621784U JP 5621784 U JP5621784 U JP 5621784U JP S60168587 U JPS60168587 U JP S60168587U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
ultrapure water
circulation tank
cartridge type
cartridge
Prior art date
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Pending
Application number
JP5621784U
Other languages
English (en)
Inventor
健一 牛越
光上　義道
孝芳 土居
正男 斉藤
Original Assignee
神鋼フアウドラ−株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 神鋼フアウドラ−株式会社 filed Critical 神鋼フアウドラ−株式会社
Priority to JP5621784U priority Critical patent/JPS60168587U/ja
Publication of JPS60168587U publication Critical patent/JPS60168587U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の超純水装置の系統図、第２図は本考案に
おけるカートリッジ式ポリシング装置の１例の縦断側面
図、第３図は本考案の１実施例の超純水装置全体の系統
図、第４図は本考案の変形実施例の系統図である。 １・・・・・・１次純水装置、２・・・・・・２次純水
装置、３．３Ａ・・・・・・紫外線殺菌器、４，４Ａ・
・・・・・イオン交換器、５，５Ａ・・・・・・精密濾
過器、６，６Ａ・・・・・・ポリシング装置、７・・・
・・・使用先、８，８Ａ・・・・・・循環用タンク、９
．　９Ａ・・・・・・循環用ポンプ、１０・・・・・・
器部、１１，１２・・・・・・端蓋、１３・・・・・・
流入口、１４・・・・・・取付座、１５・・・・・・紫
外線殺菌灯、１６・・・・・・押え板、１７・・・・・
・整位置板、１８・・・・・・流出口、１９．２０・・
・・・・経路、２１・・・・・・モータ。 第４図　　　　１ ｆ ａＡ　　　９Ａ

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）１次純水装置からの純水を補給水として循環用タ
    ンクに受入れ、循環用タンクからの合流水を循環用ポン
    プにより紫外線殺菌器部、イオン交換器部および精密濾
    過器部を１つの器体に組込んで一体力−トリツジ化した
    ポリシング装置に通して超純水として使用先に供給し、
    使用先の廃棄水以外の還流水を循環用タンクに導いて補
    給水と合流させるようにしたことを特徴とするカートリ
    ッジ式超純水装置。
  2. （２）　　ポリシング装置の前段に循環用タンクおよび
    循環用ポンプを組込んで一体力−トリツジ化したことを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載のカー
    トリッジ式超純水装置。
JP5621784U 1984-04-16 1984-04-16 カ−トリツジ式超純水装置 Pending JPS60168587U (ja)

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JP5621784U JPS60168587U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 カ−トリツジ式超純水装置

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JP5621784U JPS60168587U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 カ−トリツジ式超純水装置

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JPS60168587U true JPS60168587U (ja) 1985-11-08

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ID=30579603

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JP5621784U Pending JPS60168587U (ja) 1984-04-16 1984-04-16 カ−トリツジ式超純水装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62190694U (ja) * 1986-05-26 1987-12-04

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5526075U (ja) * 1978-08-10 1980-02-20

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5526075U (ja) * 1978-08-10 1980-02-20

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