JPS6017332A - 差圧容量変換装置 - Google Patents
差圧容量変換装置Info
- Publication number
- JPS6017332A JPS6017332A JP3277283A JP3277283A JPS6017332A JP S6017332 A JPS6017332 A JP S6017332A JP 3277283 A JP3277283 A JP 3277283A JP 3277283 A JP3277283 A JP 3277283A JP S6017332 A JPS6017332 A JP S6017332A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- insulator
- differential pressure
- housing
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、差圧を静電容量の変化として検出する差圧容
量変換装置に関する。
量変換装置に関する。
従来のこの種の装置を第１図に示す。同図において導電
性のセンサダイヤフラム１９があシ、このセンサダイヤ
フラム１９は筐体１により挾持されている。前記筐体１
のセンサダイヤフラム１９側の面には絶縁物１１が内蔵
され、この絶縁物１１のセンサダイヤフラム１９の周辺
を除く面と対向する部分は湾曲状に挾られている。湾曲
状に挾られた前記絶縁物１１の面には電極４が薄膜によ
シ形成され、この電極４と前記センサダイヤフラム１９
とで差動容量が形成されている。一方、筐体１の各両側
面にはシールダイヤフラム２が固定されておシ、前記セ
ンサダイヤフラム１９と絶縁物１１との間隙部および筐
体１とシールダイヤフラム２との間隙部は絶縁物１１と
筐体１全通して形成される導圧孔５によって通じ、かつ
前記各間隙部、導圧孔６には液体９が封入されている。
性のセンサダイヤフラム１９があシ、このセンサダイヤ
フラム１９は筐体１により挾持されている。前記筐体１
のセンサダイヤフラム１９側の面には絶縁物１１が内蔵
され、この絶縁物１１のセンサダイヤフラム１９の周辺
を除く面と対向する部分は湾曲状に挾られている。湾曲
状に挾られた前記絶縁物１１の面には電極４が薄膜によ
シ形成され、この電極４と前記センサダイヤフラム１９
とで差動容量が形成されている。一方、筐体１の各両側
面にはシールダイヤフラム２が固定されておシ、前記セ
ンサダイヤフラム１９と絶縁物１１との間隙部および筐
体１とシールダイヤフラム２との間隙部は絶縁物１１と
筐体１全通して形成される導圧孔５によって通じ、かつ
前記各間隙部、導圧孔６には液体９が封入されている。
さらに、前記シールダイヤフラム２と対向する側には前
記シールダイヤフラム２０周辺部において溶接されたフ
ランジ１０が配置され、このフランジ１０の中央部には
導圧口１０１が設けられている。そして前記筐体１のシ
ールダイヤフラム２の形成されていない側面はケーシン
グ１００によって被われている。
記シールダイヤフラム２０周辺部において溶接されたフ
ランジ１０が配置され、このフランジ１０の中央部には
導圧口１０１が設けられている。そして前記筐体１のシ
ールダイヤフラム２の形成されていない側面はケーシン
グ１００によって被われている。
このように構成された差圧容量変換装置は、相対向する
フランジ１０の各導圧口１０１を通して各シールダイヤ
フラム２に圧力が加わると封入された液体９を介してセ
ンサダイヤフラム１９が変位するため、各電極４との間
の静電容量が差動的に変化するものでおる。
フランジ１０の各導圧口１０１を通して各シールダイヤ
フラム２に圧力が加わると封入された液体９を介してセ
ンサダイヤフラム１９が変位するため、各電極４との間
の静電容量が差動的に変化するものでおる。
この装置は中心対称になっているだめ、比較的周囲温度
などの影響を受けに＜＜、過負荷圧力が加わった場合に
もシールダイアフラム２が筐体１に接する前にセンサダ
イアフラム１９が絶縁物１１の湾曲状の凹面レンズ部に
当接し、それ以上シールダイアフラム２が変位するのを
防止するため、過大な永久変形がなく過負荷を除くとセ
ンサダイアフラム１９が元の位置へ復帰できるようにな
っている。
などの影響を受けに＜＜、過負荷圧力が加わった場合に
もシールダイアフラム２が筐体１に接する前にセンサダ
イアフラム１９が絶縁物１１の湾曲状の凹面レンズ部に
当接し、それ以上シールダイアフラム２が変位するのを
防止するため、過大な永久変形がなく過負荷を除くとセ
ンサダイアフラム１９が元の位置へ復帰できるようにな
っている。
しかし、この装置は中央部の間隙部で静電容量を構成す
るためこの中に直接測定流体を導入すると測定流体毎に
静電容量の値が変ったり、測定流体中のスラッジなどが
微小空間につまるなどの理由から必ず筐体１の両側にシ
ールダイアフラム２を設けなければならない。また、微
少間隙部を均一にそろえてレンズ面に加工する必要があ
シ、加工の難しさや構造が複雑となっていた。
るためこの中に直接測定流体を導入すると測定流体毎に
静電容量の値が変ったり、測定流体中のスラッジなどが
微小空間につまるなどの理由から必ず筐体１の両側にシ
ールダイアフラム２を設けなければならない。また、微
少間隙部を均一にそろえてレンズ面に加工する必要があ
シ、加工の難しさや構造が複雑となっていた。
本発明の目的は、構造が極めて簡単で、かり針量性に優
れた小型の差圧容量変換装置を提供するにある。
れた小型の差圧容量変換装置を提供するにある。
このような目的を達成するだめに、本発明は、絶縁体と
、この絶縁体の側面に固定され前記絶縁体と当接する面
の中央部に凹陥部を有する一対の導電性ダイヤフラムと
、この各ダイヤフラムの凹陥部と対向する前記絶縁体の
面に形成された電極と、前記各ダイヤフラムと前記絶縁
体との各間隙部を連通させかつ液体が封入されている封
入管とを備えるものである。
、この絶縁体の側面に固定され前記絶縁体と当接する面
の中央部に凹陥部を有する一対の導電性ダイヤフラムと
、この各ダイヤフラムの凹陥部と対向する前記絶縁体の
面に形成された電極と、前記各ダイヤフラムと前記絶縁
体との各間隙部を連通させかつ液体が封入されている封
入管とを備えるものである。
以下、実施例を用いて本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明による差圧容量変換装置の一実施例を示
す断面図である。同図において、筐体１がアシ、この筐
体１内には絶縁体１１が内蔵されかつこの絶縁体１１は
前記筐体１の相対向する一対の対向面側に露呈されてい
る。この絶縁体１１が露呈された筐体１の各側面にはそ
れぞれダイヤフラム２が固定されている。このダイヤフ
ラム２は前記絶縁体１！側の面に凹陥部が形成された形
状をなし、周辺部の肉厚部において前記筐体ＩＫたとえ
ばシーム溶接等にょシ気密に固着されている。前記ダイ
ヤフラム２な対向する絶縁体１１面にはたとえば蒸着に
より形成された電極４を有する。そして、前記各ダイヤ
フラム２と絶縁体１１との各間隙部を連通させたとえば
シリコン油等の液体９が封入されている封入管５．６が
前記絶縁体１１内に形成されている。前記ダイヤフラム
２が固着された筐体１の側面にはバッキング２ｏを介し
て前記ダイヤフラム２を被うフランジ１ｏが取付けられ
、このフランジ１ｏのダイヤフラム２と対向する個所に
は導圧口１０１が形成されている。さらに前記筐体１は
上部においてケース１１０を構成し、このケー２１１０
には信号処理部ｉｉｔを内蔵している。この信号処理部
１１１は前記電極４に接続されかつ絶縁体１１内に配置
されたリード縁１１から信号を取出すようになっている
。
す断面図である。同図において、筐体１がアシ、この筐
体１内には絶縁体１１が内蔵されかつこの絶縁体１１は
前記筐体１の相対向する一対の対向面側に露呈されてい
る。この絶縁体１１が露呈された筐体１の各側面にはそ
れぞれダイヤフラム２が固定されている。このダイヤフ
ラム２は前記絶縁体１！側の面に凹陥部が形成された形
状をなし、周辺部の肉厚部において前記筐体ＩＫたとえ
ばシーム溶接等にょシ気密に固着されている。前記ダイ
ヤフラム２な対向する絶縁体１１面にはたとえば蒸着に
より形成された電極４を有する。そして、前記各ダイヤ
フラム２と絶縁体１１との各間隙部を連通させたとえば
シリコン油等の液体９が封入されている封入管５．６が
前記絶縁体１１内に形成されている。前記ダイヤフラム
２が固着された筐体１の側面にはバッキング２ｏを介し
て前記ダイヤフラム２を被うフランジ１ｏが取付けられ
、このフランジ１ｏのダイヤフラム２と対向する個所に
は導圧口１０１が形成されている。さらに前記筐体１は
上部においてケース１１０を構成し、このケー２１１０
には信号処理部ｉｉｔを内蔵している。この信号処理部
１１１は前記電極４に接続されかつ絶縁体１１内に配置
されたリード縁１１から信号を取出すようになっている
。
上記構成において、筐体１、絶縁体１１．ダイヤフラム
２、リード線８、および封入管５，６等の材料選定とし
て互いに近似する熱膨張係数を有するものとしている。
２、リード線８、および封入管５，６等の材料選定とし
て互いに近似する熱膨張係数を有するものとしている。
たとえば、筐体１としてステンレススチールを選定した
場合、絶縁体１１として銅封じ用ガラス（熱膨張係数１
５．５ Ｘ Ｉ Ｑ−６／Ｃ）、リード線８、封入管５
，６として鉄（熱膨張係数１０ＸＩＯ−６／ｃ）等を用
いている。さらにダイヤフラム２としてはステンレス鋼
を用いており、このステンレス鋼の一面を化学エツチン
グあるいはプレス加工して、図示の如く凹陥部が形成さ
れた形状を精度よく形成することができる。
場合、絶縁体１１として銅封じ用ガラス（熱膨張係数１
５．５ Ｘ Ｉ Ｑ−６／Ｃ）、リード線８、封入管５
，６として鉄（熱膨張係数１０ＸＩＯ−６／ｃ）等を用
いている。さらにダイヤフラム２としてはステンレス鋼
を用いており、このステンレス鋼の一面を化学エツチン
グあるいはプレス加工して、図示の如く凹陥部が形成さ
れた形状を精度よく形成することができる。
なお、前記ダイヤフラム２を筐体１に溶接する際、最高
使用温度よりも高い温度に加熱した状態にて行なうのが
好ましい。このようにすることにょシ、筐体１にはこの
筐体１より熱膨張の小さい絶縁体１１が内蔵（封入）さ
れているため、等制約には全体の熱膨張係数が筐体１よ
シ小さくなっており、溶接後冷却したダイヤフラム２に
は張力が残ることになる。したがってたるみが全くなく
筐体１にダイヤフラム２を固着できることになる。
使用温度よりも高い温度に加熱した状態にて行なうのが
好ましい。このようにすることにょシ、筐体１にはこの
筐体１より熱膨張の小さい絶縁体１１が内蔵（封入）さ
れているため、等制約には全体の熱膨張係数が筐体１よ
シ小さくなっており、溶接後冷却したダイヤフラム２に
は張力が残ることになる。したがってたるみが全くなく
筐体１にダイヤフラム２を固着できることになる。
このように構成した差圧容量変換装置は第２１図に示す
ような等価回路となる。即ち、可動電極であるダイヤフ
ラム２，２′と固定電極４，４′間に形成される２つの
差動容量Ｃ】、Ｃ２がダイヤフラム２，２′の変位によ
シ、例えばｃｌは増加し、Ｃ２は減少する。２つのダイ
ヤフラムの張力がよく揃い、圧力・変位特性もはソ同じ
であることから、これら容量ＣＩ ＋ Ｃ２と差圧との
間には次の比例関係が成立する。
ような等価回路となる。即ち、可動電極であるダイヤフ
ラム２，２′と固定電極４，４′間に形成される２つの
差動容量Ｃ】、Ｃ２がダイヤフラム２，２′の変位によ
シ、例えばｃｌは増加し、Ｃ２は減少する。２つのダイ
ヤフラムの張力がよく揃い、圧力・変位特性もはソ同じ
であることから、これら容量ＣＩ ＋ Ｃ２と差圧との
間には次の比例関係が成立する。
ここでに：ダイヤスラムの剛性
ＰＩ−Ｐ２：差圧
したがって、以上のような構造、動作であるから次のよ
うな特徴を有する。
うな特徴を有する。
（１）ダイヤフラム２により、従来のシールダイヤフラ
ムとセンサダイヤフラムの機能が兼用されているため構
造が簡単になる。
ムとセンサダイヤフラムの機能が兼用されているため構
造が簡単になる。
（２） ダイヤフラム２と筐体１で囲まれた液室は１つ
で、周囲温度の変化による液圧変化は２つのダイヤフラ
ムに等しく加わるため（２）式の差動容量をとれば出力
への温度影響はキャンセルされ、差圧に比例した出力を
取出すことができる。ダイヤフラｉ２の両側から等静圧
が加わった場合ｌｃ６つても、ダイヤフラム２と電極４
との間隙とが封入液の圧縮量に応じて等量率さくなるた
め静圧影響も同様にキャンセルされるようになる。
で、周囲温度の変化による液圧変化は２つのダイヤフラ
ムに等しく加わるため（２）式の差動容量をとれば出力
への温度影響はキャンセルされ、差圧に比例した出力を
取出すことができる。ダイヤフラｉ２の両側から等静圧
が加わった場合ｌｃ６つても、ダイヤフラム２と電極４
との間隙とが封入液の圧縮量に応じて等量率さくなるた
め静圧影響も同様にキャンセルされるようになる。
（３）ダイヤフラム２と電極４との間隙を種々変化させ
た場合におけるダイヤフラム２の耐圧を実験によシ調べ
た結果、第４図に示すようなデータを得た。同図に示す
実験結果からダイヤスラムと電極間の隙間を板厚に比べ
小さくすることによシ片側から過大圧が加わった場合の
耐圧が数百気圧と向上する。
た場合におけるダイヤフラム２の耐圧を実験によシ調べ
た結果、第４図に示すようなデータを得た。同図に示す
実験結果からダイヤスラムと電極間の隙間を板厚に比べ
小さくすることによシ片側から過大圧が加わった場合の
耐圧が数百気圧と向上する。
（４）同じく、ダイヤフラムと電極間隙間を小さくする
ことＫよシ、小形で高感度の差圧、容量変換装置が得ら
れる。
ことＫよシ、小形で高感度の差圧、容量変換装置が得ら
れる。
（５）同じく、ダイヤフラムと電極間隙間は一般に１０
μｍオーダと微小とするため、化学的エツチングやプレ
スなどの量産性のある加工法で製作できる。
μｍオーダと微小とするため、化学的エツチングやプレ
スなどの量産性のある加工法で製作できる。
第５図は本発明による差圧容量変換装置の他の実施例を
示す要部断面図である。同図において、第２図と同符号
のものは同材料を示している。第２図と異なる構成は電
極４′の部分にアシ、この電極４′は導電材料の剛体か
らなるもので、たとえばガラスからなる絶縁物１１によ
って封着されその一平面部は電極面積として利用されて
いる。
示す要部断面図である。同図において、第２図と同符号
のものは同材料を示している。第２図と異なる構成は電
極４′の部分にアシ、この電極４′は導電材料の剛体か
らなるもので、たとえばガラスからなる絶縁物１１によ
って封着されその一平面部は電極面積として利用されて
いる。
まだダイヤフラム２と電極４の各間隙部を連通させる封
入管５は前記電極４′の外周部に設けられておシ、その
封入管５にシリコン油等の液体を封入する入口はスチー
ルボール１５で封止されている。
入管５は前記電極４′の外周部に設けられておシ、その
封入管５にシリコン油等の液体を封入する入口はスチー
ルボール１５で封止されている。
このように構成した場合、絶縁体１１としてのガラスに
よる封着部が少ないため、等静圧がダイヤフラム２の両
側から加わってもヤング率の差による各部品間の剛性差
を小さくすることができる。
よる封着部が少ないため、等静圧がダイヤフラム２の両
側から加わってもヤング率の差による各部品間の剛性差
を小さくすることができる。
第６図は本発明による差圧容量変換装置の他の実施例を
示す要部断面図である。同図において、第５図と同符号
のものは同材料を示している。第５図と異なる構成は、
ダイヤフラム２の上面に箔状のシールダイヤフラム１２
を被い、その外周部を筐体１に溶接あるいはろう接させ
たところにある。
示す要部断面図である。同図において、第５図と同符号
のものは同材料を示している。第５図と異なる構成は、
ダイヤフラム２の上面に箔状のシールダイヤフラム１２
を被い、その外周部を筐体１に溶接あるいはろう接させ
たところにある。
一般に材質はその耐食性と熱膨張、弾性特性とが両立し
ない。したがってダイヤフラム２を耐食性材料で構成す
ることが得策でない場合があり、弾性特性の優れたダイ
ヤフラムを被って耐食性でかつ剛性の小さいシールダイ
ヤフラム１２を一ヒ述したように取付ければ、耐食性と
熱膨張、弾性特性を両立させることができる。
ない。したがってダイヤフラム２を耐食性材料で構成す
ることが得策でない場合があり、弾性特性の優れたダイ
ヤフラムを被って耐食性でかつ剛性の小さいシールダイ
ヤフラム１２を一ヒ述したように取付ければ、耐食性と
熱膨張、弾性特性を両立させることができる。
第８図は第２図に示す実施例をさらに発展させた構造で
、シールダイヤフラム１２を設け、このシールダイヤフ
ラム１２とダイヤフラム２との間に液体１２１を封入し
、ダイヤフラム２の内部封入液９の温度変化による内圧
変化をキャンセルするよう配慮したものである。
、シールダイヤフラム１２を設け、このシールダイヤフ
ラム１２とダイヤフラム２との間に液体１２１を封入し
、ダイヤフラム２の内部封入液９の温度変化による内圧
変化をキャンセルするよう配慮したものである。
これによシダイヤフラム２と固定電極４との間隙は温度
変化によって変化しないので、温度影響を改善すること
ができる。
変化によって変化しないので、温度影響を改善すること
ができる。
さらに、第９図はシールダイヤフラム１２をシールド板
３０を介して設け、かつダイヤフラム２は絶縁板１１に
直接取付けた構造をなす。このようにすれば、ダイヤフ
ラム２は筐体１から電気的に絶縁され、等価回路は第１
０図に示すように表わされる。測定回路やノイズの関係
で装置の信号線をアースに落とすことの弊害を除去した
い場合に適用できるものである。
３０を介して設け、かつダイヤフラム２は絶縁板１１に
直接取付けた構造をなす。このようにすれば、ダイヤフ
ラム２は筐体１から電気的に絶縁され、等価回路は第１
０図に示すように表わされる。測定回路やノイズの関係
で装置の信号線をアースに落とすことの弊害を除去した
い場合に適用できるものである。
ダイヤフラム２の材料について各実施例ではステンレス
鋼について述べたが、これに限定される訳ではなく、高
弾性材、例えばエルジロイ、Ｎｉ−８Ｐａｎ−Ｃ，マレ
−ジン鋼、Ｓｔ単結晶な”どでも可、これに組合せる絶
縁物、筐体材など種々のバリエーションがある。
鋼について述べたが、これに限定される訳ではなく、高
弾性材、例えばエルジロイ、Ｎｉ−８Ｐａｎ−Ｃ，マレ
−ジン鋼、Ｓｔ単結晶な”どでも可、これに組合せる絶
縁物、筐体材など種々のバリエーションがある。
以上述べたことから明らかなように、本発明による差圧
容量変換装置によれば、構造が極めて簡単で、かつ量産
性に優れた小型のものが得られるようになる。
容量変換装置によれば、構造が極めて簡単で、かつ量産
性に優れた小型のものが得られるようになる。
第１図は従来の差圧容量変換装置の一例を示す断面図、
第２図は本発明による差圧容量変換装置の一実施例を示
す断面図、第３図は本発明による差圧容量変換装置の等
価回路を示す図、第４図は第２図如示すダイヤフラムの
特性を示すグラフ、第５図ないし第８図はそれぞれ本発
明による差圧容量変換装置の他の実施例を示す要部断面
図、第９図は第８図に示す装置の等価回路を示す図であ
′る。 １・・・筐体、２・・・ダイヤフラム、４・・・電極、
５．６・・・封入管、８・・・リード線、９・・・液体
、１０・・・フランジ、２０・・・バッキング、１１・
・・絶縁物、１０１３′ｇ 唯ｌ／−図 間猾Ｑ 治６図 弔ｑ図 弔８図 宅ｑ図 手続補正書（方式） ％式％［ ２、発明の名称 差圧容量変換装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （５１０）株式会社 日立製作所４、後代 理
人 → ６、補正により増加する発明の数 Ｚ 補正の対象 発明の名称の欄。 ８、 補正の内容 （１）明ａ３書第１頁第２行の「差圧装量変換装置」を
「差圧容量変換装置」と改める。 以上
第２図は本発明による差圧容量変換装置の一実施例を示
す断面図、第３図は本発明による差圧容量変換装置の等
価回路を示す図、第４図は第２図如示すダイヤフラムの
特性を示すグラフ、第５図ないし第８図はそれぞれ本発
明による差圧容量変換装置の他の実施例を示す要部断面
図、第９図は第８図に示す装置の等価回路を示す図であ
′る。 １・・・筐体、２・・・ダイヤフラム、４・・・電極、
５．６・・・封入管、８・・・リード線、９・・・液体
、１０・・・フランジ、２０・・・バッキング、１１・
・・絶縁物、１０１３′ｇ 唯ｌ／−図 間猾Ｑ 治６図 弔ｑ図 弔８図 宅ｑ図 手続補正書（方式） ％式％［ ２、発明の名称 差圧容量変換装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （５１０）株式会社 日立製作所４、後代 理
人 → ６、補正により増加する発明の数 Ｚ 補正の対象 発明の名称の欄。 ８、 補正の内容 （１）明ａ３書第１頁第２行の「差圧装量変換装置」を
「差圧容量変換装置」と改める。 以上
Claims (1)
- １、絶縁体と、この絶縁体の側面に固定され前記絶縁体
と当接する面の中央部に凹陥部を有する一対の導電性ダ
イヤフラムと、この各ダイヤフラムの凹陥部と対向する
前記絶縁体の面に形成された電極と、前記各ダイヤフラ
ムと前記絶縁体との各間隙部を連通させかつ液体が封入
されている封入管とを備えることを特徴とする差圧容量
変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3277283A JPS6017332A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 差圧容量変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3277283A JPS6017332A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 差圧容量変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017332A true JPS6017332A (ja) | 1985-01-29 |
Family
ID=12368128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3277283A Pending JPS6017332A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 差圧容量変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017332A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62236873A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-16 | Nippon Paint Co Ltd | 電着塗料組成物 |
| JPS6319527A (ja) * | 1986-05-05 | 1988-01-27 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | 容量性圧力トランスジュ−サを備えた圧力センサ |
| JPS648334A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-12 | Mazda Motor | Air-fuel ratio controller of engine |
| US4949148A (en) * | 1989-01-11 | 1990-08-14 | Bartelink Dirk J | Self-aligning integrated circuit assembly |
| KR100411476B1 (ko) * | 2001-09-24 | 2003-12-18 | 주식회사코닉스 | 정전 용량식 진공센서의 제조방법 및 그 진공 센서를이용한 진공 검출장치 |
| KR100411475B1 (ko) * | 2001-09-24 | 2003-12-18 | 주식회사코닉스 | 정전 용량식 압력센서의 제조방법 및 이를 이용한 압력검출 장치 |
-
1983
- 1983-03-02 JP JP3277283A patent/JPS6017332A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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