JPS60176282A - 積層型圧電磁器およびその製造方法 - Google Patents
積層型圧電磁器およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS60176282A JPS60176282A JP59031940A JP3194084A JPS60176282A JP S60176282 A JPS60176282 A JP S60176282A JP 59031940 A JP59031940 A JP 59031940A JP 3194084 A JP3194084 A JP 3194084A JP S60176282 A JPS60176282 A JP S60176282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- electrode
- laminated
- layers
- internal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は積層型圧電磁器およびその製造方法に関する。
積層型圧電磁器は電圧が印加されると圧電逆効果により
歪（変位）が生じる。この現象を利用して、積層型圧電
磁器をアクチュエータ等に利用する研究が行われている
。この積層型圧電磁器を利用したアクチュエータは、従
来の電磁式アクチェエータに比べ、発熱、ノイズ発生が
少なく、小型で振動衝撃に強く、高い位置決め分解能を
持ち、更にセンサ機能も兼ね備えている等、利点の多い
ものである。
歪（変位）が生じる。この現象を利用して、積層型圧電
磁器をアクチュエータ等に利用する研究が行われている
。この積層型圧電磁器を利用したアクチュエータは、従
来の電磁式アクチェエータに比べ、発熱、ノイズ発生が
少なく、小型で振動衝撃に強く、高い位置決め分解能を
持ち、更にセンサ機能も兼ね備えている等、利点の多い
ものである。
従来、積層型圧電磁器として次のものが知られている。
（Ａ）薄板状圧電磁器素子を積層したもの。
即ち、まえもって焼成した薄板状圧電磁器素子の両面に
電極を形成し、これを積層した積層型圧電磁器。
電極を形成し、これを積層した積層型圧電磁器。
（Ｂ）積層一体焼成によるもの。
即ち、圧電磁器素子材料を樹脂で混練したものをシート
状に成形または厚膜状に印刷したものの上に、白金等の
金属ペーストを印刷し、これらを交互に繰り返すことに
より得られた積層体を一体的に焼成した積層型圧電磁器
。
状に成形または厚膜状に印刷したものの上に、白金等の
金属ペーストを印刷し、これらを交互に繰り返すことに
より得られた積層体を一体的に焼成した積層型圧電磁器
。
磁器（Ａ）の積層型圧電磁器は、薄板状圧電磁器素子の
加工上、０．５鶴以下に薄くすることができないのに対
し、（Ｂ）の積層型圧電磁器は、圧電磁器素子層の厚み
を最小１０μ程度と極めて小さくできるため、積層数を
増加することが可能で、その結果小型で大きな変位量を
得たり、または同じ変位量をより低電圧で得ることがで
きる。従って、（Ａ）の積層型圧電磁器より（Ｂ）の積
層型圧電磁器の方がより好ましいといえる。
加工上、０．５鶴以下に薄くすることができないのに対
し、（Ｂ）の積層型圧電磁器は、圧電磁器素子層の厚み
を最小１０μ程度と極めて小さくできるため、積層数を
増加することが可能で、その結果小型で大きな変位量を
得たり、または同じ変位量をより低電圧で得ることがで
きる。従って、（Ａ）の積層型圧電磁器より（Ｂ）の積
層型圧電磁器の方がより好ましいといえる。
ところで、これらの積層型圧電磁器は、圧電磁器素子の
間に形成される内部電極とこの内部電極を結びつける外
部電極が必要になるが、特に（Ｂ）の積層型圧電磁器の
場合は、内部電極を１層おきに外部電極で連結する必要
上、この外部電極の形成の容易化を図ると共に、内部電
極どうしの短絡を防止するため、内部電極は圧電磁器素
子の全面に形成させない方が望ましい。
間に形成される内部電極とこの内部電極を結びつける外
部電極が必要になるが、特に（Ｂ）の積層型圧電磁器の
場合は、内部電極を１層おきに外部電極で連結する必要
上、この外部電極の形成の容易化を図ると共に、内部電
極どうしの短絡を防止するため、内部電極は圧電磁器素
子の全面に形成させない方が望ましい。
しかしながら、（Ｂ）の方法で内部電極面積を圧電磁器
素子面積よりも小さくして積層型圧電磁器を一体的に製
造すると、内部電極が被覆されていない部分は、圧電磁
器素子どうしが一体的に結合して、恰も圧電磁器素子体
の中に内部電極が一部を露出した形で差し込まれた状態
となる。この状態では、内部電極被覆部間のみに電界が
加わるため、内部電極非被覆部との間で変位量に差が生
じるが、圧電磁器素子自体が結合しているため、特に大
きな内部応力が発生し、このため積層型圧電磁器に亀裂
が生じやすくなるという問題がある。
素子面積よりも小さくして積層型圧電磁器を一体的に製
造すると、内部電極が被覆されていない部分は、圧電磁
器素子どうしが一体的に結合して、恰も圧電磁器素子体
の中に内部電極が一部を露出した形で差し込まれた状態
となる。この状態では、内部電極被覆部間のみに電界が
加わるため、内部電極非被覆部との間で変位量に差が生
じるが、圧電磁器素子自体が結合しているため、特に大
きな内部応力が発生し、このため積層型圧電磁器に亀裂
が生じやすくなるという問題がある。
本発明は、上記従来技術の問題を解決するためになされ
たもので、一体焼成による積層型圧電磁器において、圧
電磁器素子どうしが接触、一体化しないようにすること
により、繰り返し作動による亀裂の発生を大幅に低減し
て耐久性を向上させる積層型圧電磁器およびその製造方
法を提供することを目的とする。
たもので、一体焼成による積層型圧電磁器において、圧
電磁器素子どうしが接触、一体化しないようにすること
により、繰り返し作動による亀裂の発生を大幅に低減し
て耐久性を向上させる積層型圧電磁器およびその製造方
法を提供することを目的とする。
かかる目的は、本発明によれば、積層一体焼成による積
層型圧電磁器であって、 圧電磁器素子と内部電極が交互に複数積層され、この内
部電極面積は圧電磁器素子面積より若干小さくされ、内
部電極の一部が圧電磁器素子側面に露出すると共に、周
囲の一部に空間層が形成されており、かつ内部電極は１
層おきに外部電極により並列に接続されていることを特
徴とする積層型圧電磁器によって達成される。−一一一
一一部１の発明また、かかる目的は、本発明によれば、
積層一体焼成による積層型圧電磁器の製造方法であって
、基板上に圧電磁器素子面積より若干小さい面積に内部
電極ペーストを塗布すると共に、内部電極非被覆部分に
樹脂ペーストを被覆した電極・樹脂層を形成し、この電
極・樹脂層の上に圧電磁器素子層を形成し、この電極・
樹脂層と圧電磁器素子層を交互に適宜数積層することに
より積層体を形成し、次いでこの積層体の側面に一対の
外部電極ペーストを塗布した後、１２００’ｃ 〜１３
００”ｃで焼成することを特徴とする積層型圧電磁器の
製造方法によって達成される。−−−−−一部２の発明
本発明において、圧電磁器素子材料としては、一般にＰ
ＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）と称されるセラミック材料
等を用いることができ、具体的には０．５ｐｂＴｉＯｉ
０．５ＰｂＺｒＯｚやｏ、６５Ｐ ｂ （Ｍｇ％Ｎｂ
／つ） Ｏ） ０．３５ Ｐ ｂＴ ｔ Ｏ３等を使用
することができる。
層型圧電磁器であって、 圧電磁器素子と内部電極が交互に複数積層され、この内
部電極面積は圧電磁器素子面積より若干小さくされ、内
部電極の一部が圧電磁器素子側面に露出すると共に、周
囲の一部に空間層が形成されており、かつ内部電極は１
層おきに外部電極により並列に接続されていることを特
徴とする積層型圧電磁器によって達成される。−一一一
一一部１の発明また、かかる目的は、本発明によれば、
積層一体焼成による積層型圧電磁器の製造方法であって
、基板上に圧電磁器素子面積より若干小さい面積に内部
電極ペーストを塗布すると共に、内部電極非被覆部分に
樹脂ペーストを被覆した電極・樹脂層を形成し、この電
極・樹脂層の上に圧電磁器素子層を形成し、この電極・
樹脂層と圧電磁器素子層を交互に適宜数積層することに
より積層体を形成し、次いでこの積層体の側面に一対の
外部電極ペーストを塗布した後、１２００’ｃ 〜１３
００”ｃで焼成することを特徴とする積層型圧電磁器の
製造方法によって達成される。−−−−−一部２の発明
本発明において、圧電磁器素子材料としては、一般にＰ
ＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）と称されるセラミック材料
等を用いることができ、具体的には０．５ｐｂＴｉＯｉ
０．５ＰｂＺｒＯｚやｏ、６５Ｐ ｂ （Ｍｇ％Ｎｂ
／つ） Ｏ） ０．３５ Ｐ ｂＴ ｔ Ｏ３等を使用
することができる。
内部電極および外部電極材料としては、一般に電極とし
て用いられる材料をそのまま用いることができ、例えば
白金等を用いることができる。
て用いられる材料をそのまま用いることができ、例えば
白金等を用いることができる。
本発明にかかる積層型圧電磁器は、圧電磁器素子と圧電
磁器素子の間に、内部電極のみでなく、内部電極非被覆
部、即ち空間部が形成されていることが特徴である。
磁器素子の間に、内部電極のみでなく、内部電極非被覆
部、即ち空間部が形成されていることが特徴である。
圧電磁器素子層の厚さとしては、通常１０〜１００μｍ
が適当であり、内部電極層の厚さとしては５〜１０Ｉ！
ｍが適当である。この圧電磁器素子層は、通常数十〜数
百層積層される。
が適当であり、内部電極層の厚さとしては５〜１０Ｉ！
ｍが適当である。この圧電磁器素子層は、通常数十〜数
百層積層される。
積層型圧電磁器の焼成前の積層体を形成するには、圧電
磁器素子、内部電極、外部電極、樹脂をそれぞれ適当な
有機バインダ、有機可塑剤、有機溶剤等を用いてペース
ト化し、これを印刷等の適宜手段を用いて積層する。
磁器素子、内部電極、外部電極、樹脂をそれぞれ適当な
有機バインダ、有機可塑剤、有機溶剤等を用いてペース
ト化し、これを印刷等の適宜手段を用いて積層する。
［発明の作用〕
第１の発明に係る積層型圧電磁器によれば、一対の外部
電極の間に電圧を印加することにより、対向する複数の
内部電極に挟まれた圧電磁器素子に電界が発生し、圧電
磁器素子が伸縮する。このとき、対向する内部電極の位
置が一部ずれているため、電界が上下方向に一様とはな
らず、そのため内部電極非被覆部（空間）と内部電極被
覆部とで圧電磁器素子の変位量に差が生じる。この差は
内部応力となり、圧電磁器素子に亀裂を発生させる原因
となるが、内部電極非被覆部に形成された空間層により
、この内部応力は吸収、緩和され、もって亀裂が発生し
にく（なる。
電極の間に電圧を印加することにより、対向する複数の
内部電極に挟まれた圧電磁器素子に電界が発生し、圧電
磁器素子が伸縮する。このとき、対向する内部電極の位
置が一部ずれているため、電界が上下方向に一様とはな
らず、そのため内部電極非被覆部（空間）と内部電極被
覆部とで圧電磁器素子の変位量に差が生じる。この差は
内部応力となり、圧電磁器素子に亀裂を発生させる原因
となるが、内部電極非被覆部に形成された空間層により
、この内部応力は吸収、緩和され、もって亀裂が発生し
にく（なる。
また、第２の発明に係る積層型圧電磁器の製造方法によ
れば、上記積層型圧電磁器の空間部に対応する位置に樹
脂ペーストを塗布して積層体を形成するため、焼成時圧
電磁器素子どうしが接触して結合することがなく、かつ
樹脂ペーストは焼成時の熱で容易に燃焼して除去される
ため、樹脂ペースト塗布部が空間部となる。
れば、上記積層型圧電磁器の空間部に対応する位置に樹
脂ペーストを塗布して積層体を形成するため、焼成時圧
電磁器素子どうしが接触して結合することがなく、かつ
樹脂ペーストは焼成時の熱で容易に燃焼して除去される
ため、樹脂ペースト塗布部が空間部となる。
以上より、本発明に係る積層型圧電磁器によれば、繰り
返し作動時における内部応力が、内部に形成された空間
部により吸収、緩和されるため、圧電磁器素子における
亀裂の発生が大幅に低減され、耐久性が向上する。
返し作動時における内部応力が、内部に形成された空間
部により吸収、緩和されるため、圧電磁器素子における
亀裂の発生が大幅に低減され、耐久性が向上する。
また、本発明に係る積層型圧電磁器の製造方法によれば
、内部に空間部を有する積層型圧電磁器を、効率よくか
つ容易に製造することができる。
、内部に空間部を有する積層型圧電磁器を、効率よくか
つ容易に製造することができる。
次に、本発明の実施例を図面を参考にして説明する。
ここで、第１図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器
の積層状態を示す分解組立図、第２図は本発明の実施例
に係る積層型圧電磁器の焼成前の状態の概要を示す断面
図、第３図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の概
要を示す断面図である。
の積層状態を示す分解組立図、第２図は本発明の実施例
に係る積層型圧電磁器の焼成前の状態の概要を示す断面
図、第３図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の概
要を示す断面図である。
まず、ポリプロピレン樹脂からなる基板１上に、市販の
白金ペーストを第１図に示すような形状に印刷し、内部
電極Ｎ２を形成する。次に、α−テルピネオール、エチ
レングリコールおよびエチルセルロースからなる樹脂ペ
ーストを、内部電極層２の一部を露出させた状態で、内
部電極層２を取り囲むように略馬蹄形に印刷し、樹脂層
３を形成する。この内部電極層２と樹脂層３の厚さは、
ともに５μｍであり、この結果、電極・樹脂層４が形成
される。
白金ペーストを第１図に示すような形状に印刷し、内部
電極Ｎ２を形成する。次に、α−テルピネオール、エチ
レングリコールおよびエチルセルロースからなる樹脂ペ
ーストを、内部電極層２の一部を露出させた状態で、内
部電極層２を取り囲むように略馬蹄形に印刷し、樹脂層
３を形成する。この内部電極層２と樹脂層３の厚さは、
ともに５μｍであり、この結果、電極・樹脂層４が形成
される。
この電極・樹脂層４を乾燥した後、この電極・樹脂層４
上に圧電磁器素子ペーストを印刷し、膜厚１０μｍの圧
電磁器素子層５を形成する。この圧電磁器素子ペースト
は、圧電磁器素子原料粉末である０、５ＰｂＴｉＯｚ−
０，５ＰｂＺｒＯ，をα−テルピネオールとエチルセル
ロースに配合し、混練したものを用いた。
上に圧電磁器素子ペーストを印刷し、膜厚１０μｍの圧
電磁器素子層５を形成する。この圧電磁器素子ペースト
は、圧電磁器素子原料粉末である０、５ＰｂＴｉＯｚ−
０，５ＰｂＺｒＯ，をα−テルピネオールとエチルセル
ロースに配合し、混練したものを用いた。
続いて、上記圧電磁器素子Ｎ５の上に電極・樹脂Ｎ４、
その上に圧電磁器素子Ｎ５というように、圧電磁器素子
層５と電極・樹脂層４を交互に１００層積層した。なお
、内部電極層２はその露出部が互い違いになるように配
設した。こうして得られた積層体６の側面に一対の白金
ペーストを外部電極７として塗布した。この結果、第２
図に示す積層体６が得られた。なお、第２図では、分り
やすくするために積層数は実際より少なく描かれている
。
その上に圧電磁器素子Ｎ５というように、圧電磁器素子
層５と電極・樹脂層４を交互に１００層積層した。なお
、内部電極層２はその露出部が互い違いになるように配
設した。こうして得られた積層体６の側面に一対の白金
ペーストを外部電極７として塗布した。この結果、第２
図に示す積層体６が得られた。なお、第２図では、分り
やすくするために積層数は実際より少なく描かれている
。
次いで、第２図に示す積層体６を焼成炉に入れ、１２５
０℃で１時間焼成した。この結果、第３図にその概要を
示す積層型圧電磁器８が得られた。
０℃で１時間焼成した。この結果、第３図にその概要を
示す積層型圧電磁器８が得られた。
そして、焼成により樹脂層４は飛散し、樹脂層４が存在
した部分には空間層９が形成された。
した部分には空間層９が形成された。
この結果得られた積層型圧電磁器８を用いて耐久試験を
行った。即ち、一対の外部電極７の間に５０■（電界強
度約１×１０７７ｍ）、幅１秒の方形パルス電圧を印加
し、圧電磁器Ｍ５を１８０万回（５００時間）連続的に
伸縮させたが、特に亀裂等の発生は認められなかった。
行った。即ち、一対の外部電極７の間に５０■（電界強
度約１×１０７７ｍ）、幅１秒の方形パルス電圧を印加
し、圧電磁器Ｍ５を１８０万回（５００時間）連続的に
伸縮させたが、特に亀裂等の発生は認められなかった。
一方、従来の積層型圧電磁器は、約４０万回で亀裂が発
生した。これにより、本実施例の積層型圧電磁器８は、
従来のものより４倍以上耐久性が向上しているのが判る
。
生した。これにより、本実施例の積層型圧電磁器８は、
従来のものより４倍以上耐久性が向上しているのが判る
。
以上、本発明の特定の実施例について説明したが、本発
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実施態様が包含されるも
のである。
明は、この実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載の範囲内で種々の実施態様が包含されるも
のである。
第１図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の積層状
態を示す分解組立図、 第２図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の焼成前
の状態の概要を示す断面図、 第３図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の概要を
示す断面図である。 １−・−・一基板 ２−−−−−一内部電極層 ３・−一−−−樹脂層 ４−−−−−一電極・樹脂層 ５−・−−−一圧電磁器素子層 ６・・−−−一積層体 ７−・・−外部電極 ８・−−−一積層型圧電磁器 ９−−−−一空間層 第１図 第２図 第３図
態を示す分解組立図、 第２図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の焼成前
の状態の概要を示す断面図、 第３図は本発明の実施例に係る積層型圧電磁器の概要を
示す断面図である。 １−・−・一基板 ２−−−−−一内部電極層 ３・−一−−−樹脂層 ４−−−−−一電極・樹脂層 ５−・−−−一圧電磁器素子層 ６・・−−−一積層体 ７−・・−外部電極 ８・−−−一積層型圧電磁器 ９−−−−一空間層 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）積層一体焼成による積層型圧電磁器であって、 圧電磁器素子と内部電極が交互に複数積層され、この内
部電極面積は圧電磁器素子面積より若干小さくされ、内
部電極の一部が圧電磁器素子側面に露出すると共に、周
囲の一部に空間層が形成されており、かつ内部電極はＩ
Ｎおきに外部電極により並列に接続されていることを特
徴とする積層型圧電磁器。 - （２）積層一体焼成による積層型圧電磁器の製造方法で
あって、 基板上に圧電磁器素子面積より若干小さい面積に内部電
極ペーストを塗布すると共に、内部電極非被覆部分に樹
脂ペーストを被覆した電極・樹脂層を形成し、この電極
・樹脂層の上に圧電磁器素子層を形成し、この電極・樹
脂層と圧電磁器素子層を交互に適宜数積層することによ
シ積層体を形成し、次いでこの積層体の側面に一対の外
部電極ペーストを塗布した後、１２００℃〜１３００℃
で焼成することを特徴とする積層型圧電磁器の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031940A JPS60176282A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 積層型圧電磁器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59031940A JPS60176282A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 積層型圧電磁器およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60176282A true JPS60176282A (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=12344963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59031940A Pending JPS60176282A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 積層型圧電磁器およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60176282A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60229380A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | セラミツクアクチユエ−タ |
| JPS63185261U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 | ||
| US4845399A (en) * | 1986-08-28 | 1989-07-04 | Nippon Soken, Inc. | Laminated piezoelectric transducer |
| JPH02267976A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 積層型セラミック素子およびその製造方法 |
| US4978881A (en) * | 1988-07-20 | 1990-12-18 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoelectric actuator of lamination type |
| JPH0311980A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Avx Corp | セラミック アクチュエータ及びその製法 |
| US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
| WO2007048756A1 (de) | 2005-10-26 | 2007-05-03 | Continental Automotive Gmbh | Piezoaktor und verfahren zur herstellung desselben |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP59031940A patent/JPS60176282A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60229380A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-14 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | セラミツクアクチユエ−タ |
| US4845399A (en) * | 1986-08-28 | 1989-07-04 | Nippon Soken, Inc. | Laminated piezoelectric transducer |
| JPS63185261U (ja) * | 1987-05-21 | 1988-11-29 | ||
| US4978881A (en) * | 1988-07-20 | 1990-12-18 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Piezoelectric actuator of lamination type |
| JPH02267976A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 積層型セラミック素子およびその製造方法 |
| JPH0311980A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Avx Corp | セラミック アクチュエータ及びその製法 |
| US5245734A (en) * | 1989-11-14 | 1993-09-21 | Battelle Memorial Institute | Multilayer piezoelectric actuator stack and method for its manufacture |
| US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
| WO2007048756A1 (de) | 2005-10-26 | 2007-05-03 | Continental Automotive Gmbh | Piezoaktor und verfahren zur herstellung desselben |
| US8132304B2 (en) | 2005-10-26 | 2012-03-13 | Continental Automotive Gmbh | Method of manufacturing a piezoelectric actuator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0172602B1 (ko) | 적층형 세라믹소자 및 그 제조방법 | |
| JPH04214686A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2004048015A (ja) | 圧電多層アクチュエータの製造方法及び該方法により製造されたアクチュエータ | |
| JP2001094164A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP5444593B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPS6126206A (ja) | 積層型誘電体装置及びその製造方法 | |
| JP2004274029A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP5200331B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH02237083A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| US20050140251A1 (en) | Multilayer piezoelectric element | |
| JP2002299720A (ja) | 部分電極構造を有する積層体及びその製造方法 | |
| JP2007019420A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPS62133777A (ja) | 積層型圧電素子およびその製造方法 | |
| JPH02267976A (ja) | 積層型セラミック素子およびその製造方法 | |
| JP2010199272A (ja) | 積層型圧電素子およびその製法ならびに振動体 | |
| JP2791838B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPH02132870A (ja) | 積層圧電素子 | |
| JP2769625B2 (ja) | 電気回路用多層印刷フィルタの製造方法 | |
| JP4373904B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP2726751B2 (ja) | 積層型圧電素子およびその製造方法 | |
| JPH04334076A (ja) | 積層型圧電素子とその製造方法 | |
| KR100217983B1 (ko) | 압전체 소자 및 이의 제조방법 | |
| JP2007266468A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP4468515B2 (ja) | 圧電アクチュエータ素子の製造方法 | |
| JP2533861B2 (ja) | 圧電アクチユエ−タ |