JPS60177642A - 収納容器 - Google Patents
収納容器Info
- Publication number
- JPS60177642A JPS60177642A JP59032351A JP3235184A JPS60177642A JP S60177642 A JPS60177642 A JP S60177642A JP 59032351 A JP59032351 A JP 59032351A JP 3235184 A JP3235184 A JP 3235184A JP S60177642 A JPS60177642 A JP S60177642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hook
- container
- grooves
- handling
- engaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/15—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、収納技術、特に、複数板の板状物を収納する
技術に関し、たとえば、半導体装量の製造において使用
されるウェハカートリッジに適用して有効な技術に関す
る。
技術に関し、たとえば、半導体装量の製造において使用
されるウェハカートリッジに適用して有効な技術に関す
る。
半導体装置の製造においては、複数枚のウェハを収納容
器としてのウェハカートリッジに立てて並べて収納し、
この収納状態で複数枚のウェハをまとめて洗浄槽に浸漬
したり、移送したりすることが行われることがある。
器としてのウェハカートリッジに立てて並べて収納し、
この収納状態で複数枚のウェハをまとめて洗浄槽に浸漬
したり、移送したりすることが行われることがある。
最近のウェハの大口径化および多品種少量生産化傾向に
伴い、大小異なる口径のウェハが一つの生産ラインに混
流する場合が予想され、かかる場合、大小口径のウェハ
に合せて大小規格のウェハカートリッジが混流すること
になると、考えられる。
伴い、大小異なる口径のウェハが一つの生産ラインに混
流する場合が予想され、かかる場合、大小口径のウェハ
に合せて大小規格のウェハカートリッジが混流すること
になると、考えられる。
このように、大小規格のウェハカートリッジが混流する
と、ウェハカートリッジを自動搬送装置でハンドリング
する場合、大小のウェハカートリッジ相互間でハンドリ
ング高さに相違が生じてしまうため、ハンドリング不能
やハンドリング位置の変更の必要が生じるという問題点
が惹起されることが、本発明者によって明らかにされた
。
と、ウェハカートリッジを自動搬送装置でハンドリング
する場合、大小のウェハカートリッジ相互間でハンドリ
ング高さに相違が生じてしまうため、ハンドリング不能
やハンドリング位置の変更の必要が生じるという問題点
が惹起されることが、本発明者によって明らかにされた
。
本発明の目的は、大小規格の収納容器であっても同一の
搬送装置、あるいは同一の処理装置等を用いて搬送また
は処理等をすることができる収納技術を提供することに
ある。
搬送装置、あるいは同一の処理装置等を用いて搬送また
は処理等をすることができる収納技術を提供することに
ある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、収納容器の一対の対向側壁外面にハンドリン
グフックを掛ける（以下係合するという）ための係合部
を上下複数段に設けることにより、収納容器の大小に対
応してフックの係合位置を選定し、フックにおける収納
容器底面からのハンドリング高さを収納容器の大小にか
かわらず一定にさせることができるため、収納容器の大
小にかかわらず、同一の搬送装置、あるいは同一の処理
装置等を用いて搬送または処理等をすることができるの
である。
グフックを掛ける（以下係合するという）ための係合部
を上下複数段に設けることにより、収納容器の大小に対
応してフックの係合位置を選定し、フックにおける収納
容器底面からのハンドリング高さを収納容器の大小にか
かわらず一定にさせることができるため、収納容器の大
小にかかわらず、同一の搬送装置、あるいは同一の処理
装置等を用いて搬送または処理等をすることができるの
である。
第１図は本発明の一実施例である収納容器としてのウェ
ハカートリッジを示す斜視図、第２図はその作用を説明
するための側面図である。
ハカートリッジを示す斜視図、第２図はその作用を説明
するための側面図である。
本実施例において、このウェハカートリッジ１は上下面
が開口した中空のほぼ直方体に形成された本体２を備え
ている。本体２の一方の対向側壁（以下、前後壁という
。）３．３の内面には、複数条の保持溝４が縦に平行に
整列され、かっ両壁内面において互いに対向するよう忙
配されて切設されており、対向する溝４．４はたとえば
５インチ口径のウェハ５を挿入されることにより、これ
を本体２内において収納保持するよ″うになっている。
が開口した中空のほぼ直方体に形成された本体２を備え
ている。本体２の一方の対向側壁（以下、前後壁という
。）３．３の内面には、複数条の保持溝４が縦に平行に
整列され、かっ両壁内面において互いに対向するよう忙
配されて切設されており、対向する溝４．４はたとえば
５インチ口径のウェハ５を挿入されることにより、これ
を本体２内において収納保持するよ″うになっている。
前後壁３．３に直交する他方の対向側壁（以下、左右壁
という。）６．６には、ハンドリングフック８を係合す
るための係合部としての係合溝７Ａ、７Ｂが上下２段に
ほぼ水平にそれぞれ切設されており、上段係合溝７Ａと
下段係合溝７Ｂとの高さの差は、大小規格のカートリッ
ジ相互の高さの差に対応して規定される寸法に設定され
ている。
という。）６．６には、ハンドリングフック８を係合す
るための係合部としての係合溝７Ａ、７Ｂが上下２段に
ほぼ水平にそれぞれ切設されており、上段係合溝７Ａと
下段係合溝７Ｂとの高さの差は、大小規格のカートリッ
ジ相互の高さの差に対応して規定される寸法に設定され
ている。
本実施例において、ハンドリングフック８はほぼ逆Ｔ字
形状に形成された一対のフック部材９を備えており、両
フック部杷９は左右壁６に切設された係合溝７Ａ、７Ｂ
に係合し得るように構成されている。両フック部材９の
上端はハンドル部材１００両端にそれぞれ固着されて一
体的に連結されており、ハンドル部材１０の下方位置に
は、弾性を有する棒材からなる開閉操作部材１１が架設
されている。
形状に形成された一対のフック部材９を備えており、両
フック部杷９は左右壁６に切設された係合溝７Ａ、７Ｂ
に係合し得るように構成されている。両フック部材９の
上端はハンドル部材１００両端にそれぞれ固着されて一
体的に連結されており、ハンドル部材１０の下方位置に
は、弾性を有する棒材からなる開閉操作部材１１が架設
されている。
次に作用を説明する。
前記構成にかかるウェハカートリッジ１が、第２図に示
されているように、４インチ口径のウェハを収納した小
規格ウェハカートリッジ１′ と混流する場合、ハンド
リングフック８はそのフック部材９を下段係合溝７Ｂに
係合されてウェハカートリッジ１に取り付けられる。下
段係合溝７Ｂの高さくＨ３）は小規格ウェハカートリッ
ジ１′ における係合溝７′ の高さくＨ２）と等しく
なるように設定されているため、下段係合溝７Ｂに係合
されて取り付けられたハンドリングフック８におけるハ
ンドル部材１０と、小規格ウェハカートリッジ１′ に
取り付けられたハンドリングフック８におけるハンドル
部材１０との水平高さは等しくなる。
されているように、４インチ口径のウェハを収納した小
規格ウェハカートリッジ１′ と混流する場合、ハンド
リングフック８はそのフック部材９を下段係合溝７Ｂに
係合されてウェハカートリッジ１に取り付けられる。下
段係合溝７Ｂの高さくＨ３）は小規格ウェハカートリッ
ジ１′ における係合溝７′ の高さくＨ２）と等しく
なるように設定されているため、下段係合溝７Ｂに係合
されて取り付けられたハンドリングフック８におけるハ
ンドル部材１０と、小規格ウェハカートリッジ１′ に
取り付けられたハンドリングフック８におけるハンドル
部材１０との水平高さは等しくなる。
したがって、自動搬送装置における引掛部１２はいずれ
のカートリッジ１．１′ に取り付けられたハンドル部
材１０にも同一高さ位置において、引っ掛けら得ること
になる。
のカートリッジ１．１′ に取り付けられたハンドル部
材１０にも同一高さ位置において、引っ掛けら得ること
になる。
（１） 収納容器の一対の側壁にハンドリングフックを
係合するための係合部を上下複数段に設けることにより
、収納容器の大小に対応してフックの係合位置を選定し
てフックにおけるハンドリング高さを収納容器の大小に
かかわらず一定に調整することができるため、大小規格
の収納容器が混流する場合等において、自動搬送装置に
おけるハンドリング高さを収納容器の大小変更ごとに変
更させる必要がなく、作業性を高めることができる。
係合するための係合部を上下複数段に設けることにより
、収納容器の大小に対応してフックの係合位置を選定し
てフックにおけるハンドリング高さを収納容器の大小に
かかわらず一定に調整することができるため、大小規格
の収納容器が混流する場合等において、自動搬送装置に
おけるハンドリング高さを収納容器の大小変更ごとに変
更させる必要がなく、作業性を高めることができる。
（２）係合部を収納容器に没設した係合溝によって構成
することにより、係合部が収納容器の外面から張り出す
ことが防止できるため、占拠スペースの増加が抑制でき
る。
することにより、係合部が収納容器の外面から張り出す
ことが防止できるため、占拠スペースの増加が抑制でき
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的忙説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的忙説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、係合部は係合溝に限らず、係合突起で構成し
てもよい。
てもよい。
係合部は上下２段設げるに限らず、上下に３段以上設け
てもよい。
てもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハカートリッジ
に適用した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、たとえば、半導体装置の製造において使
用されるホトマスクを収納する容器等にも適用できる。
をその背景となった利用分野であるウェハカートリッジ
に適用した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、たとえば、半導体装置の製造において使
用されるホトマスクを収納する容器等にも適用できる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はその
作用を説明するだめの正面図である。 １・・・ウェハカートリッジ（収納容器）、２・・・本
体、３・・・前後壁、４・・・保持溝、５・・・ウェハ
、６・・・左右壁（側壁）、７Ａ、７Ｂ・・・係合溝、
８・・・ハンドリングフック、９・・・フック部材、１
０・・・ハンドル部材、】１・・・開閉操作部材、１２
・・・引掛部、Ｈ，、Ｈ７・・・係合溝高さ。
作用を説明するだめの正面図である。 １・・・ウェハカートリッジ（収納容器）、２・・・本
体、３・・・前後壁、４・・・保持溝、５・・・ウェハ
、６・・・左右壁（側壁）、７Ａ、７Ｂ・・・係合溝、
８・・・ハンドリングフック、９・・・フック部材、１
０・・・ハンドル部材、】１・・・開閉操作部材、１２
・・・引掛部、Ｈ，、Ｈ７・・・係合溝高さ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、対向する一対の側壁外面にハンドリングフックを係
合自在な係合部が少な（とも上下２段忙それぞれ設けら
れていることを特徴とする収納容器。 ２、係合部が、互いに平行に没設されている溝からなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の収納容器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032351A JPS60177642A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032351A JPS60177642A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177642A true JPS60177642A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12356535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59032351A Pending JPS60177642A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177642A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235448U (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-07 | ||
| CN104282602A (zh) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | 中国振华集团永光电子有限公司 | 硅片放置架 |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59032351A patent/JPS60177642A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235448U (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-07 | ||
| CN104282602A (zh) * | 2013-07-08 | 2015-01-14 | 中国振华集团永光电子有限公司 | 硅片放置架 |
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