JPS60179041U - 微動ステ−ジ装置 - Google Patents

微動ステ−ジ装置

Info

Publication number
JPS60179041U
JPS60179041U JP6678884U JP6678884U JPS60179041U JP S60179041 U JPS60179041 U JP S60179041U JP 6678884 U JP6678884 U JP 6678884U JP 6678884 U JP6678884 U JP 6678884U JP S60179041 U JPS60179041 U JP S60179041U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine movement
movement stage
stage device
housing
armature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6678884U
Other languages
English (en)
Inventor
笹岡　俊雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP6678884U priority Critical patent/JPS60179041U/ja
Publication of JPS60179041U publication Critical patent/JPS60179041U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかる微動ステージ装置の縦断面図、
第２図は作動状況を示す断面図、第３図は一部を断面に
表わした従来装置の平面図、第４図は第３図の縦断面図
、第５図は第４図の作動状況を示す断面図である。 １・・・ハウジング、２・・・アーマチア、２１・・・
鉛直支柱、２２・・・可動板、２３・・・板バネ部、３
・・・ステージ、４ａ、４ｂ・・・磁気吸着機構、４・
・・電磁石、５・・・永久磁石、ｈ、ｈ’・・・アーマ
チアギャップ。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）　　ハウジング１と上面に鉛直支柱２１を有す水
    平可動板２２の外周に板バネ部２３が設けられ、該板バ
    ネ部２３の外周部を前記ハウジング１に取付は固定した
    アーマチア２と、前記鉛直支柱の上端に水平に取付は固
    定された反テージ３と、鉛直支柱２１を囲み且つ水平可
    動板２２の上下にアーマチアギャップｈ、ｈ′を設けて
    ハウジング１に取付は固定された一対の磁気吸着機構４
    ａ、４ｂとを備えて成る微動ステージ装置。
  2. （２）アーマチア２は磁性材料にて構成されている実用
    新案登録請求の範囲第１項記載の微動ステージ装置。
  3. （３）　　磁気吸着機構４ａ、４ｂは、環状電磁石４の
    内周部にリング状永久磁石５が組込まれている実用新案
    登録請求の範囲第１項記載の微動ステージ装置。
JP6678884U 1984-05-07 1984-05-07 微動ステ−ジ装置 Pending JPS60179041U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6678884U JPS60179041U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 微動ステ−ジ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6678884U JPS60179041U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 微動ステ−ジ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60179041U true JPS60179041U (ja) 1985-11-28

Family

ID=30600010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6678884U Pending JPS60179041U (ja) 1984-05-07 1984-05-07 微動ステ−ジ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60179041U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6137691U (ja) 電気機械振動変換器
JPS58179725U (ja) 加速度スイツチ
JPS6134622U (ja) アクチユエ−タ
JPS616733U (ja) 電磁力発生装置
JPS60186796U (ja) 電気機械振動変換器
JPS5895187U (ja) ボイスコイル型リニヤモ−タ
JPS59102180U (ja) 電磁加振機
JPS5917346U (ja) 防振装置
JPS6030610U (ja) アンテナ装置
JPS5889913U (ja) 自己保持型ソレノイド
JPS5863882U (ja) リニアモ−タ
JPS58176493U (ja) スピ−カ
JPS59158256U (ja) 電磁継電器
JPS593698U (ja) 電磁形スピ−カ
JPS5862449U (ja) ミラ−支持駆動装置
JPS58129796U (ja) 電磁式ブザ−
JPS59115473U (ja) 電磁加振器
JPS60186793U (ja) スピ−カ
JPS60124191U (ja) 電気機械振動変換器
JPS60111198U (ja) スピ−カ
JPS6237856U (ja)
JPS60124190U (ja) 電気機械振動変換器
JPS60180199U (ja) ド−ム型スピ−カの磁気回路構造
JPS60181983U (ja) 動電型振動ユニツト
JPS58189699U (ja) スピ−カ駆動部の構造