JPS60181034U - 半導体ウエ−ハ - Google Patents

半導体ウエ−ハ

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JPS60181034U
JPS60181034U JP6886384U JP6886384U JPS60181034U JP S60181034 U JPS60181034 U JP S60181034U JP 6886384 U JP6886384 U JP 6886384U JP 6886384 U JP6886384 U JP 6886384U JP S60181034 U JPS60181034 U JP S60181034U
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JP
Japan
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semiconductor wafer
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scribe line
recorded
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JP6886384U
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English (en)
Inventor
望月　泉
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Faurecia Clarion Electronics Co Ltd
Original Assignee
Clarion Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP6886384U priority Critical patent/JPS60181034U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による半導体ウェーハの平面図、第２図
は第１図に示すウェーハの一部の拡大平面図、第３図は
従来の半導体ウェーハの平面図、第４図および第５図は
アライメント作業を説明するための顕微鏡の視野を示す
図、第６図は誤ってアライメントされた半導体ウェーハ
の平面図、第７図は第６図に示すようにアライメントさ
れたときの顕微鏡の視野を示す図である。 １・・・半導体ウェーハ、２・・・ペレット、３・・・
スクライブ・ライン、４ａ、４ｂ・・・顕微鏡の視野位
置、５・・・ヘアライン、６・・・アライメント・マー
ク位置、７・・・アライメント・マーク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェーハ・スクライブ・ライン上にダイシング用
    のアライメント会マークを具備することを特徴とする半
    導体ウェーハ。
JP6886384U 1984-05-11 1984-05-11 半導体ウエ−ハ Pending JPS60181034U (ja)

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JP6886384U JPS60181034U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 半導体ウエ−ハ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6886384U JPS60181034U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 半導体ウエ−ハ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60181034U true JPS60181034U (ja) 1985-12-02

Family

ID=30604001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6886384U Pending JPS60181034U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 半導体ウエ−ハ

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JP (1) JPS60181034U (ja)

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