JPS60181645U - ダイヤフラム真空計の測定子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案のダイヤフラム真空計の測定子の１
実施例における、その構成部品の大略の配置を示す、垂
直断面図である。第２図は、第１図の測定子の円筒壁と
、これの上端面に締付けられたダイヤフラムとの、締付
個所を拡大して示す、部分垂直断面図である。第３図、
第４図および第５図は、測定子に包含される円筒壁、ダ
イヤフラムおよび環状フランジをそれぞれ表わす、平面
図である。第６図および第７図は、第２実施例を表わす
、第１図および第２図にそれぞれに対応する図である。 第８図および第９図は、第２実施例に包含される、下方
環状ダイヤプラムおよび上方環状ダイヤフラムをそれぞ
れ表わす、平面図である。 図面において、１は真空ケーシング、２は円筒壁、３は
上端面、４は溝、５はシール材、７はダイヤフラム、９
と１０は環状ダイヤフラム、１５は環状フランジ、１６
は突出部、２０は締付部材（ねじ）を示す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　真空ケーシングの中の円筒壁の円環状上端面に、こ
   れに沿って一周する溝を形成し、この溝の中にシール材
   を配置し、ストレーンゲージのプローブ素子を備えたダ
   イヤフラムを、その周部分において、前記上端面に載せ
   、前記溝に保合できる寸法形状の突出部を下面に有する
   環状フランジを、前記突出部が前記ダイヤフラムを介し
   て前記溝に対面するような配置で、前記周部分に載せ、
   締付部材によって、ダイヤフラムを介して環状フランジ
   を前記上端面に締付けた、ことを特徴とするダイヤプラ
   ム真空計の測定子。 ２　ダイヤプラムの周部分と環状フランジの間に、円筒
   壁より内径が小さい環状ダイヤフラムを介在させ、前記
   の締付部材による締付けによって、環状ダイヤフラムが
   前記周部分に固定されるようにした、実用新案登録請求
   の範囲第１項に記載のダイヤフラム真空計の測定子。