JPS60183743A - 半導体類のパツケ−ジ成形方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ％明ａ内地にダイオードやトラン７スタりような牛尋
俸系子や、こｎら牛尋坏の果槓回路（以下手導坏類と祢
丁）で気密収納丁ゐ為のパッケージ成形力法に係り、更
に旺しくσ株ジ返し督すこみ胱出しがｏＪｈ”Ｆｆｆ、
７ｘ　Ｅ　Ｐ　ｋ　ＯＭ　（ＥｒａｓａｂｌｅＰｒｏｇ
ｒａｍａｂｌｅ　Ｒｅａｄ　０ｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）
として好適ｌ勢可ｍ注倒脂製り２ラツトバツクーシある
いにデュアルインラインバックージり製伝に関す心もの
であゐ０ 現在ＥＰＲＯＭ用のパフケージとしてに、セラミックか
ら７１ゐサーディング少のパッケージが大部分τ占めて
いる０本力弐ａグト都リートたけ′″ＣＣニア！Ａ３部
配蛛１もリードフレームτ用いるため、他りセラξツク
パッケージリＬうに内郁配味τメタライズする工程か省
略さｎ女証７２ハックーシか侍らｒＬ／）ｏ　しかしこ
の形のパッケージＶ）場合上下のセラミックでリード２
レームとともに低融点ガラスで封止するので封止り味パ
ッケージ全体でガラスｃ／、ＪＰＢ点以上（４００〜５
００℃）に１０分間程度保つ必Ｊ＃！があり、牛碑体類
目俸お工び牛専俸類τリードフレームのタブに堆付ける
グイボンディング材が耐熱性りもりでｌけｎばｌらない
という条件かあな。

１７ζ現在パツケージの玉流であるエポキシ側ｌＩ’Ｕ
＠τ用い７こトランスファー成形にＬゐ樹脂モールドに
おいてに従来行わｎてい々タイレフトモールド力式でに
空洞で１′トリ侍ｌい０促米駕脂モールドで空洞τ拌つ
罠ものでにすめ、ＩＪ−ドフレームとともに仝判りあゐ
形にモールドし。

でり依、牛碑俸緬および金脈τ袈盾し・紮外腋逍ノ向１
住の煮て柩りつけゐ形とｌ滲１ζめλ工程か俵雑となり
市価ｌものとなゐ０ 中空伍泣ｆ羽丁ゐ樹脂モールド法と（７てＰ本発明名ら
ａ先に、少ｌ（とも１個が牛専捧鶏τ収ｔ４’８ＴΦた
めり凍みて１丁ゐ２１回りΔ口」塑憔側脂似状捧に工９
午尋捧緬τ牧ｌｕシたＩＪ　−ト’　７レームτ法今、
似状俸τ刀ロ熱刀ロ圧して一台台捧ぜしめゐ千碑捧伊り
〕くッグーシ成形力伝について提朱（的云陥り＋１３−
ｔ８５ち）シ友か、こり発明で２１１７＋１り似状捧す
−カか怒都τ南丁々もの（以Ｆ、Ｊ：血と称す）に處用
丁々にＣ予めル成さｎた開口窓に猪外ｆｆＭ坊岩注の撤
俸τ候盾丁々工程か心安でβ心。

余外＃Ｉ！透過性り瘤俸τ窓を邪に上付げ々１ゲ眉力法
としてａ、バッケーシング光了汝止血に設けた囲１」窓
り外側とｌゐ部分Ｖこ架外防透壇１王り需ｆ４−τ枢１
ζ」゛けゐ第１凶、第２凶にボ丁↓う心力法がめゐ。第
１凶ａ紫外勝込壇′１牛り血捧１と田ｊ口窓の設走ｈｔ
２の闇に廣崩剤６τ弁仕させゐ力Ｗであり１第２図ＱＪ
系外梱坊府性の煮捧１り周体に接盾創６τ丘拭に塗布す
ゐ方体であな。

柩上り力泳でに会廟ハ血１熱ｄ戎城なとり薗虎試Ｆ＊で
バッグ−シリキャビティ内に出刃かかか０、紫外＊、１
！坊矯江のに体かブ民び仏け０といういわ９ゐポツプア
ップ机家かおき々ものかあり、紫外蛛坊過性り嚢体て枢
１”ｌげ４位１国としてＩｆｆ不適当であった。

上述したネップアップ現尿τ功止丁々にａ１開Ｎ窓り内
側に戊走都で設はバソグーシ化筺。

キャビティ内姉となる部分に京外蛛坊返住り重俸τ小付
ｖ′ｆゐ痢６凶お工ひ第４凶にホ丁よつｌ方法かあゐ０
第６凶ａ架タト絨坊庖牡り重俸１と以走都２の間にプ及
眉沖」６τ介在ざぜゐ力泳であり、第４図目余外騰透過
牡の”ｒｌｔｔ捧１と上瘤４り開口窓円周−に汝屑刑τ
盛９ろけて候盾丁な力法であめ。第６図りことぐ、接盾
酌τ傾蒲したｔ（１）で−１】瓜畠Ｇシ色碍惜に工ゐガ
ロ泌硬化でＶ」。

候有沖」硬化ｒｊ＋］りガロ熱によゐ枯１攻低トリ１ζ
め、蓄外触透過都に１で汝腐割か辺りこむという問題か
王じた。第４凶りことぐづ妾庸削τ堡布し１ζもの−Ｃ
ＹＪ、、ｌ）Ｉ］勢吠化吟、ノを透過１汗り瘤捧か洛十
′３−ゐりｆ功止丁７８）ため第す凶に４〈す工つに架
グト緘透過性の重俸１て反走郡２にセントし７こ形で付
ｌわｎるかガロ解Ｓｋ化に除し力０井ζ１こよめ粘度１
板上りたＦ）、埃盾創６り丸動か蔵こり、ヤのホー１朱
。

紫外りメ虚壇注の重体１か愕ち土かり、空隙５か圧した
０１１ここの空隙５へ流Ｉしこんた嵌盾炸」ａ産気τ会
さこケ気砲か伍した。以上の朱汗で系クト厭坊８１′ｉ
り責捧τ汝屑しＩＣ上ム４と、下部仮状成形？Ｊｏ６（
以トド煮と４１ｂ丁）２＝゛工ひ牛尋坏累予て表層し７
こり−ｈ゛フレームて刀Ｏ熱刀０出して酬台台俸ぞしの
、到止江τ肝１回丁ゐＧｒｏｓｓ　Ｌｅａｋ（以ＦＧ／
Ｌと分子）試り火で行ったか一応台裕であったＯ従って
刀・＼ゐ我家に不買１」ジな不良でｒ：ｘ　ｙｚ　Ｖ’
／）ｉ、　小米ｖ　Ｇ　／　Ｌ　ｕ験不良トｖｖｖ別−
ｔｒ；＋ｙ＞イ而でｒ＋ｚ　＜、依有庁」塗布カニとし
て―小飛当であった。

なた上ｄじりＬつな、Ｍ、かけ上のＧ／Ｌ不艮不良〈丁
１こめに１．Ｊ、−＋め空隙となゐ部分に汝７目バリτ
堡而してふ・き、その上から系外劫（込廟ロニり旅１杢
τセットし、−ｆ：の佐第５図に乃＜シ１こようにｆＡ
廂沖ｊ？ｃ堡イｂ″ｆ′ゐカニも考えらｎなか、か＼ゐ
力泳に工程が瑣えゐた１０倚策でにない。

不発四巻らａＣｒＬらの人魚につさ睨息恢６づし７ζ粕
来、不元明に工１」ったｏｌ−なわち木父明ｒコ第７図
に７Ｉ＜Ｔ１うに上＊４り内押］に坂７贋て形成した開
口窓の氏走２に紮外祿透堝注り鮎榛１τ欲台し、該獣台
部に訃杖化征候廂割ｊφ布し１ζ伎血ちに１００℃以上
にガロださｒＬ７ζ２ツ系ホリイゾ占注故捧に按盾ハ１
」か映化丁０に安丁々時同反偵し、硬化で完了きぜゐも
りであめ。

かか心力法で硬化ａぜ１ζもので−、ンソメ〜禾不活性
欣坏の早泣捧狽めたりの比郡が空気のボつ２０００倍程
畦であゐため、フン素糸り小γ占性欣俸Ｖｃ反債し１ζ
輪１ｉ４１に接盾則の嵌置か吠化し。

そり帖米、汝７７ｘ剤層の硬化以前に〃０終に工ゐ粘り
（Ｉ　寥７必 東低士かはとんと土じ磨だめ皿動か／に：、ぜず井シ≠
にツバし７ζよつに汝／に７１１１′ＩＪＣはは塗布し
１ζ形状のま！、また索外巌透過江り慮陣１け反型２に
セット”ａｒＬ？ｃ’ｔＶり形で駅化か光重し７ζｏシ
フζかって粥す凶にボし１こエウ１Ｍ捧り仔さあかり祝
電もなく、Ｇ／Ｌ試厭に−いても、第Ｚ凶Ｖ（ボした蓋
坏欽台部りキャップ１１り空気６反償１鼠故に一気に依
ｆｆ、ぞり候ａ削、の元止ａφら７’Ｌ　１１刀為つ７
ζ０ また第６凶に不し１ｃ工うｌ形態で按膚創τ塗布し、直
ちに、１００℃以上に刀ｌＩ熱さｎた２ツ系糸の不后性
猷俸に接＊創か硬化すゐに安丁ゐｌｔｆ間＆償し１級１
ヒτ充ｒさぜたｔりでａ、第７図に不した′ｙｌｌと１
りじ（、はぼ硬化ｉｉＪ　ＶＪ接盾創形状τ株って硬化
か兄了するｆｃの、系外廟虐過注り壷体の索外厭逍鳩部
まで嵌眉剤か蜘りこむことｌ〈」え好汲に按盾沖」（１
）硬化τ児了さぜゐことがでさた。

ぽ１ζ、賦駁時、付虐し爬ンン系糸不后１生奴体にガロ
熱さｆ’した似状体り熱によ　り黒晃フＩＱ淑（７、七
の倹り台捧ｌとに池ｌ彫瞥τおよはさｌ〃・っ７ζ０本
発明に用いら１’Ｌゐフッ梁糸不粘仙欣捧り？ｌＪとし
てｒＪ、ｉ＋：及スリーエム４ｉ装◇）２０リナートか
あげら１１−ゐ。

本ヰ関Ｖ（月４いらＩＬゐ似状Ｉ双）β品用Ｗ」ｊ塑征
側脂としてｔＤ’ｔｊＬぞｎ、の牛専体褪りバックーン
に対す／、Ｊ安求吋件に比１して性々り検知のものか用
いらｎ々か醒１い耐熱性（耐熱変形１＋、及Ｏ・耐熱ｆ
化ｆ＋：）と１八い店υ２住及Ｏ・−短刀く早以上り１
れ気、恒（放時伯二に刀りえ史に−が７ｘ埠９上の瓜形
江τ市丁心ことか必ダであな。

ｆ（表例と（７てにボリフ二二しンスキサイドや、ホリ
エーテルツルンオン、ポリスル）ｉン、フェノキン但Ｊ
Ｂ１丁、ポリアセタール鵠、リエーテル糸麓１脂、ポリ
エナレンテＶツタレート、ホリンナレンテレンタレート
、ボリアリレート弄りエステル禾１９ノ脂、ホリカーホ
イ・−ト与り灰腋エステル糸１に１Ｂ目、ホリアミド示
但伺１１の甲でも吸水奉り１代いクレー１・゛、ホリン
エニレンサルフ１１ド寺（／Ｊ情ｌＵば及びこｌＬら任
Ｊ用（り一酢とガラス椀鉤Ｚ中！し・とし友谷位光捌Ｒ
：ｊとり組み侶゛イクぜ勢τあけゐことか小米る〇 ゛ま１ζ蓄タト藺しの９ｂ用リム鋼・と　じて−系ブト
詠ｄ９辺車のニーか；ッグイ劇カラスやプ゛２アイヤカ
ラス吟τケリなことかでζゐ０ 脹油介：」としてトコ、力０隋（ガ１出−１本化繊ノー
のＨ１謀゛ふ重税お工ひ千尋Ｉ４−知り１ｄ租注い、兜
Ｋ　ｌσＩえりゐシリコーン丞、ビニルニトリルコム糸
よ・よ０．　＋７１７　タン丞寺り尿眉剤か好適でめゐ
０ 央ｌ山？ｌＪ 上１ｋＬ４として熱敦形偏震（ＡＳＴへ・Ｉ　Ｄ−６４
ａ、１８．６ｔｇ／ａｎ’何Ｍ（）か２６０℃以上りポ
リ２工ニレンサルフアイド４Ｍ３朋、紫外蔵逍過１住り
愈捧１として円ルリホウケイ融カシスー・工び候眉創６
としてシリコン糸威盾創て使用して第７凶にアト丁よう
ＶＣ１系外紛怨過１住り血俸１と上蓋の開口窓円周帷に
よたか心形で伎沼卸」て丘状にｍ＋ｉし１ζｏ塗布にｈ
ｃいて＋Ｕちに土ｉｆｔ、？ｃｌｊＯ′Ｃに刀ｌＪＰし
７ｃ２ツ木示り不ｆ占・註故陣ンロリナートＦＣ−４３
（圧友スリーエム社収りに６０分１ｉ４ｊ反ズし吠化τ
竹った０ 次に上記止血お工ひ重電でメ七り０系子τ鋏有したり一
ド２レームτ営今熱雁盾法Ｖこ工９台体した、。、以、
よにＬ９侍らγしたＥ　Ｐ　Ｒ（Ｊ　Ｍ台捧品でｓ１注
でチェック丁ゐＧ／Ｌ職軟に刀為けた結果、封止性に良
好であり％さらに硯複すイクル拭駁（−５５〜＋１５０
℃）τｂυ０サイークル何った佐でも封止性の低下ａ開
めらｎす十分な情順性τ市丁／）ＥＰＲＯＭか侍ら八た
。

比幀例１ 上蓋、紫外巌透過性の壷体お工び按崩朔−実施ψｂと同
一の材料で使用し、来島９すと同一の方法にＬ！ｌ１歳
盾１＃ｌＪ　？ｃ堕布した０釜布に軟いて直ちに、上＊
τ１５０℃（Ｖ空気り但崗惰申に６０分間投入し、′Ｉ
ＩＪ！化で行った０ このもりτ解体したところ、埃眉舜１り走りＣみによゐ
ガラスノ、Ｖ捧り浮さ上かＶお一工び気亀りを、・き０
カ・か今ら１１．た。

以上訂・列したようＶｃ本発胸０少ぐとも１個か千４Ｆ
坏類Ｔ収粕丁ゐＩＣめの秒み１４丁ゐ２飾りｐｉｊ舅１
」３但Ｉｍｆ恨状瓜形品にＬ９牛尋俸知て装置しにリー
ドフレーム４怯み、ハロ」型社南屈叡法ｉχルｄ［１τ
）ＡＪハ簡甘せ捧ゼしめ＠牛専坏緬のハソクーン成形力
ｅにおいて、熱ｒ−Ｊ蛍ａ但ｉｈａ仏仏成ル品り一刀り
内軸に奴走τ形成した開口怒り１１ＩＬ己段走に、紫外
餘透Ｊ員江り猛！体τ欧υ丁０とともに欧台部にＰ−硬
化８．汝廂Δ：」τｆ曲し、１引こ庇仮仏成形品τ１０
０″Ｃ歩上ｔこ加熱さγＬ１こ２ソ素糸小１６注り阻捧
申に反偵して汝眉剛て硬化せしめ４１ＩＬうにしたので
候盾匍り九動か防止さＩして（１）結未盆坏の４きろか
す耽奴ｔな（１６独江ＶＣ丁ぐｆＬ７こＥ　Ｐ　ＲＵ　
Ｍのバッグ−／ングがｔ＝Ｊ舵に１つ７′Ｃ０

【図面の簡単な説明】

第１図お工ひ第２図ａ上亀のグシ切に系外籾坊功性−ｂ
Ｎ４−τ設り々場せのνり電／］’Ｃ丁平面図（ａ）お
↓び蘭囲図、第６図および第４凶管′Ｊ上−加り内佃Ｉ
にじｑぜゲト庄呟にウノｔｒ４＋［五速ν”ｐ　ｘ　ｒ
にｒ）　イコ・易１弓゛ジノ１／すｔゴ示す＋１Ｊｆｌ
（ｂｌ 図（ａｔ−・工ひガ「［用図、　第　５　μｉｒＪづゲ
ノＵ月りり匁・１）　Ｃ・ケリ状況Ｔ示す安静ｔＥｉＩ
曲図、掘る図に第す凶にｌｊくし１こ上歯で用い１ζバ
ッグ−シリイカ１川凶、化７凶ＫＪＪ−兄明力伝によ嬉
１し刀仏−Ｃイ（ｔらＸ’Ｌ７ζ止血り’Ａ’　Ｂ＋；
　＋Ｗ　１）Ｉｊ　ｐｌで１Ｑｃｒ。 イτｊづ−１（−）ａ夕ｄ曲 １　系外祢巧壇Ｉ笠蓋ｚ・２　成型 ６　ナトせＭｊ（リ　４　止１豆 ５　債トｈ！ｏ　ト益 ７　リード７レーム　６　千青坏系子 第１　図 第３図 第２０ 丁’、Ｓ　４１ｉ、”：ｊ ＋’：’ｌ　６　”’ｊスス；

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、少くとも１１園が牛４俸須τ収稍丁ゐための窪みτ
   Ｍ丁心２個の熱可塑性樹脂板状成形品に裏り千２８１４
   −＠τ鋏眉したリードフレームで一嬰一ト、　３５口」
   型性側脂也ｔＫ成形品で刀Ω熱趙虫台会捧ぜしめゐ牛２
   ｓ捧耕りパッケージ成形力法において、勢ｉＪ＃ｌ性側
   脂似状成形品の一力の内側に攻走で形成した開口窓のｍ
   １把段没に、系外紛坊過性の煮坏τ駄台丁ゐとともに獣
   曾都にｍ級化性汝庸刑で塗面し、直ちに該板状成形品で
   １００℃以上に〃Ｄ熱さｒＬ７ｃ７ツ累系不右性欲ｆ４
   −甲に反故して銀潰剤τ硬化ぜしめることτを戯と丁心
   牛専坏知りパッケージ成形力法。