JPS60185251U - 表面分析装置 - Google Patents

表面分析装置

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JPS60185251U
JPS60185251U JP7513984U JP7513984U JPS60185251U JP S60185251 U JPS60185251 U JP S60185251U JP 7513984 U JP7513984 U JP 7513984U JP 7513984 U JP7513984 U JP 7513984U JP S60185251 U JPS60185251 U JP S60185251U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
chamber
stage
rod
analysis device
Prior art date
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Application number
JP7513984U
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English (en)
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勲 加藤
畑尾　美良
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図は表面分
析装置の試料導入部分を示す一部破断正面図、第２図は
試料ホールダの正面図、第３図は一試料導入棒の上部を
示す正面図である。 １・・・表面分析装置、２・・・分析チャンバ、６・・
・予備排気室、１６・・・試料導入棒、２０・・・ステ
ージハウジング、２４・・・試料ステージ、３０・・・
挿通孔、３２・・・係止部（雌ねじ部）、３８・・・試
料ホールダ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 分析チャンバとこの分析チャンバ下方に設けられた予備
    排気室との間にステージハウジングが形成され、このス
    テージハウジング内に試料導入棒の挿通孔を備えた試料
    ステージが移動可能に設けられ、前記試料導入棒は前記
    予備排気室の外方からこの予備排気室、試料ステージの
    前記挿通孔を通り分析チャンバに延びる長さを有し、か
    つ、その上端部に試料ホールダが着脱自在に設けられ、
    前記試料ステージの上端部にはこの試料ホールダを係止
    する係止部が形成されていることを特徴とする表面分析
    装置。
JP7513984U 1984-05-21 1984-05-21 表面分析装置 Pending JPS60185251U (ja)

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JP7513984U JPS60185251U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 表面分析装置

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JP7513984U JPS60185251U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 表面分析装置

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JPS60185251U true JPS60185251U (ja) 1985-12-09

Family

ID=30616081

Family Applications (1)

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JP7513984U Pending JPS60185251U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 表面分析装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5941749B2 (ja) * 1979-04-25 1984-10-09 松下電工株式会社 回転式電気カミソリの切刃装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5941749B2 (ja) * 1979-04-25 1984-10-09 松下電工株式会社 回転式電気カミソリの切刃装置

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