JPS60185657U - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPS60185657U JPS60185657U JP7267884U JP7267884U JPS60185657U JP S60185657 U JPS60185657 U JP S60185657U JP 7267884 U JP7267884 U JP 7267884U JP 7267884 U JP7267884 U JP 7267884U JP S60185657 U JPS60185657 U JP S60185657U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film forming
- thin film
- growth chamber
- forming equipment
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の薄膜形成装置の概略説明図、第２図は本
考案の一実施例の概略説明図である。 １２、 １４． １６・・・成長室、１３． １５．
１７・・・バルブ、２５． ２６． ２７・・・分子線
源、２９・・・基板ホルダ、３０・・・基板。
考案の一実施例の概略説明図である。 １２、 １４． １６・・・成長室、１３． １５．
１７・・・バルブ、２５． ２６． ２７・・・分子線
源、２９・・・基板ホルダ、３０・・・基板。
Claims (1)
- 構成物質の異なる薄膜を多層に結晶成長させる薄膜形成
装置において、基板上に第１物質を結晶成長させる第１
成長室と、基板上に第２物質を結晶成長させる第２成長
室と、基板ホルダーを前記第１成長室に対して出没させ
る第１バルブと、前記基板ホルダーを前記第１成長室か
ら前記第２成長室へ出没させる第２バルブと、を備えて
いることを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267884U JPS60185657U (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7267884U JPS60185657U (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60185657U true JPS60185657U (ja) | 1985-12-09 |
Family
ID=30611312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7267884U Pending JPS60185657U (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60185657U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257956U (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-26 |
-
1984
- 1984-05-17 JP JP7267884U patent/JPS60185657U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257956U (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-26 |
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