JPS60185659U - 基板ウエツト処理装置 - Google Patents
基板ウエツト処理装置Info
- Publication number
- JPS60185659U JPS60185659U JP7363484U JP7363484U JPS60185659U JP S60185659 U JPS60185659 U JP S60185659U JP 7363484 U JP7363484 U JP 7363484U JP 7363484 U JP7363484 U JP 7363484U JP S60185659 U JPS60185659 U JP S60185659U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing equipment
- wet processing
- substrate wet
- processing tank
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 238000001990 intravenous administration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の第１の実施例の断面図、第２図は第１
図の要部でＡ矢視図、第３図は第２の実施例で、第２図
に相当する部分を示すし、第４図は第３図のＢ矢視図、
第５図は従来例の側断面図を示す。 １・・・基板、２・・・収納容器、６・・・処理液槽、
１２・・・吸水性材料、１３・・・点滴液受は皿。
図の要部でＡ矢視図、第３図は第２の実施例で、第２図
に相当する部分を示すし、第４図は第３図のＢ矢視図、
第５図は従来例の側断面図を示す。 １・・・基板、２・・・収納容器、６・・・処理液槽、
１２・・・吸水性材料、１３・・・点滴液受は皿。
Claims (1)
- 処理液を充填した処理槽と；被処理物を前記処□ 理槽
内に浸漬し、及び／又は、前記処理槽から取り出し、か
つ、前記被処理物を搬送する移動手段と；被処理物を処
理槽から引き上げた位置で前記被処理物の底部に接触す
る、吸水性部材からなる点滴液受は手段とを備えてなる
ことを特徴とする基板ウェット処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7363484U JPS60185659U (ja) | 1984-05-19 | 1984-05-19 | 基板ウエツト処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7363484U JPS60185659U (ja) | 1984-05-19 | 1984-05-19 | 基板ウエツト処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60185659U true JPS60185659U (ja) | 1985-12-09 |
Family
ID=30613179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7363484U Pending JPS60185659U (ja) | 1984-05-19 | 1984-05-19 | 基板ウエツト処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60185659U (ja) |
-
1984
- 1984-05-19 JP JP7363484U patent/JPS60185659U/ja active Pending
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