JPS60187532U - ウエハ−ホルダ− - Google Patents

ウエハ−ホルダ−

Info

Publication number
JPS60187532U
JPS60187532U JP7481284U JP7481284U JPS60187532U JP S60187532 U JPS60187532 U JP S60187532U JP 7481284 U JP7481284 U JP 7481284U JP 7481284 U JP7481284 U JP 7481284U JP S60187532 U JPS60187532 U JP S60187532U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
support rods
wafer holder
support
wafers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7481284U
Other languages
English (en)
Inventor
井窪　裕之
阿比留　章
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP7481284U priority Critical patent/JPS60187532U/ja
Publication of JPS60187532U publication Critical patent/JPS60187532U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Packaging For Recording Disks (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本発明にかかるウェハーホルダーの斜視図、第
２図は従来のウェハーホルダーの斜視図、第３図はその
ＡＡ部分断面図、第４図はそのウェハーの支持点を示す
表面図、第５図は第１図のＢＢ部分断面図、第６図はそ
のウェハーの支持点を示す表面図である。　　゛ 図中、１はウェハー、２ａ、　２ｂ、　　２ｃ、　２ｄ
、　５ａｔ　　５ｂ、　５ｃ、　５ｄは支持棒、３は溝
、４はガイド棒、Ｈ，Ｈａ、　Ｈｂ、　Ｈｃ、　Ｈｄは
ウェハー上の支持点を示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハー周囲に該ウェハーに垂直、または一定角度で交
    叉する、少なくとも３本以上の支持棒が設けられ、該支
    持棒でウェハー周囲の複数点が支持されて、該ウェハー
    の複数個が一定間隙で並列されているウェハーホルダー
    において、少なくとも前記支持棒の１本以上が、個々の
    ウエノ＼−に対して異なる周囲位置を支持しているよう
    にしたことを特徴とするウェハーホルダー。
JP7481284U 1984-05-21 1984-05-21 ウエハ−ホルダ− Pending JPS60187532U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7481284U JPS60187532U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハ−ホルダ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7481284U JPS60187532U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハ−ホルダ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60187532U true JPS60187532U (ja) 1985-12-12

Family

ID=30615451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7481284U Pending JPS60187532U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハ−ホルダ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60187532U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60187532U (ja) ウエハ−ホルダ−
JPS596617U (ja) Ｔボルト
JPS60101738U (ja) ウエハ−立て治具
JPS6015145U (ja) 園芸用支柱
JPS5856519U (ja) ケ−ブルダクト
JPS5819062U (ja) 金網フエンス
JPS6056661U (ja) 光学繊維用巻取機
JPS5936514U (ja) 照明器具のセ−ド
JPS60129824U (ja) ケ−ブル棚の耐震構造
JPS6083156U (ja) 溝付基板
JPS59171691U (ja) 物干し竿
JPS6092604U (ja) タイヤ
JPS59169330U (ja) 凹みを持つた石ケン
JPS6142833U (ja) 半導体製造装置用ウエハ保持具
JPS6047856U (ja) ピストンリング
JPS59121504U (ja) 挾着ホルダ−
JPS6013048U (ja) 二人掛け回転式ソフア−
JPS60182499U (ja) スラツト用型材
JPS60164974U (ja) タペストリ−支持具
JPS62178508U (ja)
JPS58195714U (ja) ブロツク
JPS5844924U (ja) ブラシ
JPS6037514U (ja) 畳下地用合板
JPS58115271U (ja) 色組み合わせ具
JPS59134596U (ja) 平行線定規