JPS60187533U - ウエハアライメント機構 - Google Patents

ウエハアライメント機構

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Publication number
JPS60187533U
JPS60187533U JP7416184U JP7416184U JPS60187533U JP S60187533 U JPS60187533 U JP S60187533U JP 7416184 U JP7416184 U JP 7416184U JP 7416184 U JP7416184 U JP 7416184U JP S60187533 U JPS60187533 U JP S60187533U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
drive roller
alignment mechanism
roller
radius
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7416184U
Other languages
English (en)
Inventor
岩瀬　昭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP7416184U priority Critical patent/JPS60187533U/ja
Publication of JPS60187533U publication Critical patent/JPS60187533U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の平面図、第２図ないし第５図は本考案
の一実施例を示し第２図および第３図は異なる時点の平
面図、第４図は第２図の４−４線断面図、第５図は駆動
ローラと正転駆動ローラそして逆転駆動ローラ等の平面
図である。 １２・・・ウェハ、１２Ａ・・・オリエンテーションフ
ラット、２１・・・支持台、２４・・・従動ローラ、２
６・・・回転検出器、２７・・・駆動ローラ、２８・・
・逆転駆動ローラ、２９・・・アイドラローラ、３◎・
・・正転駆動ローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. オリエンテーションフラットが形成されたウェハの外周
    に複数の駆動ローラのうち１個或いは複数を接すること
    により前記ウェハを支持台上で所定位置まで回転させて
    位置決めする装置において、駆動ローラと、同駆動ロー
    ラの両側に前記ウェハのオリエンテーションフラットの
    長さの範囲内の間隔を置きかつ前記ウェハの外周の曲率
    半径より大きい曲率半径の円弧に外接するように位置し
    て設けられた正転駆動ローラおよび逆転駆動ローラと、
    前記ウェハに接して回転しかつ前記ウェハの位置を決め
    る従動ローラと、同従動ローラの回転停止を検出する回
    転検出器とからなり、前記回転検出器の検出信号により
    前記ウェハが粗位置決めされたことを検出するようにし
    １ここウェハアライメント機構。
JP7416184U 1984-05-21 1984-05-21 ウエハアライメント機構 Pending JPS60187533U (ja)

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JP7416184U JPS60187533U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハアライメント機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7416184U JPS60187533U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハアライメント機構

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Publication Number Publication Date
JPS60187533U true JPS60187533U (ja) 1985-12-12

Family

ID=30614196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7416184U Pending JPS60187533U (ja) 1984-05-21 1984-05-21 ウエハアライメント機構

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JP (1) JPS60187533U (ja)

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