JPS60187539U - オリエンテ−シヨンフラツト整列装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の最も一般的なオリフラ整列装置の斜視図
。第２図は第１図の断面図。第３図は、本考案の実施例
を示す斜視図。第４図は第３図の動作を説明する断面図
。第５図は第３図の動作のうちオリフラ整列状態を示す
断面図である。 １・・・・・・ウェハ、２・・・・・・カセット、３・
・・・・・オリフラ部分、４・・・・・田−ラー、５・
・・・・・カセット内両側面の溝の壁、６・・・・・・
ストッパ、７・・・・・・ウェハ周縁部。 補正　昭６０．５．２０− 考案の名称を次のように補正する。 ■考案の名称　　　オリエンテーションフラット整列装
置 実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を次のよう
に補正する。 Ｏ実用新案登録請求の範囲一 −１オリエンテーヴヨンフラットを有するウェハを収容
したウェハカセットの下部に、ウェハと−当接するロー
ラーを設け、該ローラーの側部に、該ローラーと平打な
ストッパーを設けたことを特徴とするすりエンテーンヨ
ンフラット整列装置。 ２　ストッパーが、ローラーと同一高さであることを特
徴とする実用新案登録請求の、範囲第１項記載のオリエ
ンテーションフ、ラット整列装置。 ３　ストツ六−が、ローラーの高さより低いことを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のオリエンテ
ーションフラット整列装置。 ４　ストッパーが、ローラニの高さより高いことを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のオリエンテ
ーションフラット整列装置。 図面の簡単な説明　　− 第１図は、従来の最も一般的なオリフラ整列装装置の斜
視図、第２図はミ第１図の断面図、第３図は、本考案の
実施例を示す斜視図、第４図は、第３図の動作を説明す
る断面図、第５図は、第３図の動作のうちオリフラ整列
状態を示す断面図であ−る。 １・・・・・・ウェハ、２・・・−・・ウェハカセット
、３・・・・・・オリフラ部、４・・・・・・ローラー
、５・・・・・・カセット内両側面の溝の壁、６・・・
・・・スト２ノ、Ｘ６−１？・・・・・・ウェハ周縁部
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウェハカセットに収納されている全ウェハを、ローラー
   機構を用いてウェハを含む面内で回転させ、オリエンテ
   ーションフラットを整列させる装置において、ローラー
   とそれと平行に配置したストッパーとを併用したことに
   よる効果を用いたオリエンテーションフラット整列装置
   。