JPS60189857A - 電子顕微鏡等におけるエネルギ−分析装置 - Google Patents
電子顕微鏡等におけるエネルギ−分析装置Info
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- JPS60189857A JPS60189857A JP59045777A JP4577784A JPS60189857A JP S60189857 A JPS60189857 A JP S60189857A JP 59045777 A JP59045777 A JP 59045777A JP 4577784 A JP4577784 A JP 4577784A JP S60189857 A JPS60189857 A JP S60189857A
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- electron
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試１′Ｎｌを透過した電子線のエネルギーを分
析したり、エネルギーフィルターされた電子線に某づい
て試料像を表示するための装置に関する。
析したり、エネルギーフィルターされた電子線に某づい
て試料像を表示するための装置に関する。
第１図ＩＪ、従来の電子顕微鏡等にａ５りるエネルギー
分析装「ジを示りＩこめのもので、電子銃１よりの電子
線２を集束し〉ズ系３にＪ、り試料４に照ＱＪし、試１
３１ ／Ｉを）聞過した電子線２を対物レンズ５゜中間
レンズ６、投影レンズ７を介してスペク１〜［」メータ
ー８に導さ、このスペク１〜１」メーター８において電
子線をエネルギーに応じて分散して、出用スリッｈ １
！：ｉ土に−（Φの帯スペクトルを形成り−るように
し−（いる。１０ａはスペクｌ−１：１メーター８の主
コイル１１ε１に主電流を供給彩るための主電源であり
、１０ｂはエネルギー品引用コイル１１ｂに１！ｌ）明
電流を供給するための揺引電源である。
分析装「ジを示りＩこめのもので、電子銃１よりの電子
線２を集束し〉ズ系３にＪ、り試料４に照ＱＪし、試１
３１ ／Ｉを）聞過した電子線２を対物レンズ５゜中間
レンズ６、投影レンズ７を介してスペク１〜［」メータ
ー８に導さ、このスペク１〜１」メーター８において電
子線をエネルギーに応じて分散して、出用スリッｈ １
！：ｉ土に−（Φの帯スペクトルを形成り−るように
し−（いる。１０ａはスペクｌ−１：１メーター８の主
コイル１１ε１に主電流を供給彩るための主電源であり
、１０ｂはエネルギー品引用コイル１１ｂに１！ｌ）明
電流を供給するための揺引電源である。
この揺引電Δｊ；＋ １０ ｂよりｊｌｌ引電流を発生
さけ−（スベク１−１」メーター８のエネルギー１，１
引を行ない、このＬ％引に伴う検出器１３よりの出力信
月を記録Ａ１１２に供給づ−るど共に、記録計１２をこ
のエネルギーに同期しＵ ＩＭ引すれば、エネル１！−
スベクｌ〜ルが表示できる。尚、９は入用絞りであり、
１４は増幅器である。ざＣ１このような装置にＪ５い°
Ｃは、エネルギー分散能δはスペクト［１メーターのＬ
ネルギー分子ｉｋ能１）と、出用絞りの幅しによつ（以
］ミの関係式にＪ、り決められてしまう。
さけ−（スベク１−１」メーター８のエネルギー１，１
引を行ない、このＬ％引に伴う検出器１３よりの出力信
月を記録Ａ１１２に供給づ−るど共に、記録計１２をこ
のエネルギーに同期しＵ ＩＭ引すれば、エネル１！−
スベクｌ〜ルが表示できる。尚、９は入用絞りであり、
１４は増幅器である。ざＣ１このような装置にＪ５い°
Ｃは、エネルギー分散能δはスペクト［１メーターのＬ
ネルギー分子ｉｋ能１）と、出用絞りの幅しによつ（以
］ミの関係式にＪ、り決められてしまう。
δ−＝１．／Ｄ ・・パ（１）
ところか、通常ｔ ＬＬ Ｃ１械的精度に１：Ｎづく制
限から１μｒＴｌ稈石が限庶である１、−め、δはＤに
よって一義的に決定されるのが実情であり。従って、Ｄ
が小さく／、する高加速電１ｔ １１、’ｌや小型のス
ベク１−１１メータを使用づる時には、スペクトロメー
ター６の出１．１１：前記分散能ｌ）を増大さｌるため
の出射レンズ１６’ａＨｕｔ″Ｊでいる。ところが、こ
のような従来の装置にＪ３いては、出射レンズ１６の励
！＆電流は同定され（いるため、スペクトロメーターに
よって選択りるエネルギーが変化Ｊ−ると、帯スペクト
ル像を形成するための電子を出射スリン１−１５上に）
Ａ−カスし得ない場合が生じ、高分解能のスペクトルな
＋４ることはできなかった。
限から１μｒＴｌ稈石が限庶である１、−め、δはＤに
よって一義的に決定されるのが実情であり。従って、Ｄ
が小さく／、する高加速電１ｔ １１、’ｌや小型のス
ベク１−１１メータを使用づる時には、スペクトロメー
ター６の出１．１１：前記分散能ｌ）を増大さｌるため
の出射レンズ１６’ａＨｕｔ″Ｊでいる。ところが、こ
のような従来の装置にＪ３いては、出射レンズ１６の励
！＆電流は同定され（いるため、スペクトロメーターに
よって選択りるエネルギーが変化Ｊ−ると、帯スペクト
ル像を形成するための電子を出射スリン１−１５上に）
Ａ−カスし得ない場合が生じ、高分解能のスペクトルな
＋４ることはできなかった。
叉、第２図に示すにうに電子顕微鏡像に１を形成−４る
電子線をスペクトロメーター８に導き、特定のエネルギ
ーの電子のみを〕パ択し、この選択された電子に基づい
て形成される電子顕微鏡像に２を出１１Ｊレンズ１６に
より拡大し゛Ｃ蛍光板１７上に投影して電子顕微鏡像Ｋ
３をＩＳるＪ、うにした装置ｔ゛１もあるが、このよ
うな装置においても、出射レンズ１６の励磁電流が固定
されていたため、掃引電流１０ｂにより設定されるエネ
ルギーによっては出射レンズ１Ｇは像に２を蛍光板１７
上に正６Ｆに結像し得ない場合もあった。
電子線をスペクトロメーター８に導き、特定のエネルギ
ーの電子のみを〕パ択し、この選択された電子に基づい
て形成される電子顕微鏡像に２を出１１Ｊレンズ１６に
より拡大し゛Ｃ蛍光板１７上に投影して電子顕微鏡像Ｋ
３をＩＳるＪ、うにした装置ｔ゛１もあるが、このよ
うな装置においても、出射レンズ１６の励磁電流が固定
されていたため、掃引電流１０ｂにより設定されるエネ
ルギーによっては出射レンズ１Ｇは像に２を蛍光板１７
上に正６Ｆに結像し得ない場合もあった。
本発明はこのＪ、うな従来の欠点を解決して、高分解能
のスペクトル又は電子顕微鏡像を得ることのできる電子
顕微鏡等にお【ノるエネルギー分析装置を提供りること
を目的としている。
のスペクトル又は電子顕微鏡像を得ることのできる電子
顕微鏡等にお【ノるエネルギー分析装置を提供りること
を目的としている。
以上、本発明にａ３いて基本となっ−（いる考えを・説
明り−る。
明り−る。
電子の負が及び電荷句を各々１１１及びｅ、スペクトロ
メーター内における磁界の強さをＢと１れば、スペク１
−ロメーター内で速頂Ｖを右１Ｊる電子のｉｌＡ心半径
ｒは ｒ＝ （ｍｖ）／ （ｅＢ） ・ （２）Ｃ表わされる
。電子のエネルギーｅど速度ＶのＩＪＩ係は ｃ２／（ｍｖ）＝− ｃ／ （２ｍｏ Ｖ （１＋９．７８７ｘｌＯ−７Ｖ）
） −（３＞とイ「る。但し、ｍＯは電子の静止質量
、■は加速重重である。、史にスペクトロメーター内の
磁界の強さＢどくのヨＩ−励Ｆ１電流１ｓｏどの関係は
、／ｌＯをジ°１空の透磁率、１−をスペクトロメータ
ーのｖＡ補極間距島゛１．］を励磁のターン数とすると
１’３ ＝（ｔｔｏ ／ Ｌ−） Ｉ ｓｏＴ ・・・
（４）ＣＪうえられる。（２＞、（３）、（４）式より
相丼 λ・ｊ論抽正を名にλ（した電子のエネルギー［はスベ
ク１− Ｉ−１メーターの前記主励磁電流１ｓｏを用い
゛（７ −Ｃ（μｏ ｒ−１−１ｓｏ） ２／ （２ｍｏ Ｌ２
）−（５）と表ね−りことができる。さて、入射電子の
エネルギーがしく） ぐ（Ｓ・）る場合に励磁電流１１
ｏで使用している電子レンズにおいて、入射電子のエネ
ルギーがΔ１−だ【プ羽化したときの色収差Δ（ＪはΔ
１１を励磁電流の変化量、Ｇ［を軸上色収差係数、Ｃｍ
を１８率色収差係数、Ｃｒを回転色収差係数、αを電子
の聞き角、ＬＪａを電子軌道の試１１面における中心か
らの距離とすれば、 で与えられるから、レンズ電流を ΔＥ／Ｆｏ＝２ （Ｉｌｏ−Ｔｌｏ）／Ｉｌｏ ・・・
（７）を満足するにうな電流１１に変化させれば、色収
差が生じないことになる。いま、スペクトロメーターの
前記作用電源にり供給される（１１１引電流をＩＳＯと
寸れぽ、（５）式より ΔＥ／Ｅｏ ＝ （Ｉｓ ２− ｌＳＯ２） ／ ｌ５
ｏ２・・・（８）であるから、（７）、（８）式より色
収差を生じないための前記レンズ励磁電流■１は Ｉｆ ＝ Ｉｌｏ＋（Ｉｓ’２ − ｌ５ｏ２ ）／
（２１ｓｏ２）・・・（９） で与えられることが分る。従って、スペクトロメーター
の主励磁電流ＩＳＯと掃引電流ＩＳを検出して、それに
基づいて（９）式で〜えられるレンズ電流１１をレンズ
に供給すれば、どのエネルギーを選択した際に６１常に
正確にフォーカスされた像を得ることができる。
メーター内における磁界の強さをＢと１れば、スペク１
−ロメーター内で速頂Ｖを右１Ｊる電子のｉｌＡ心半径
ｒは ｒ＝ （ｍｖ）／ （ｅＢ） ・ （２）Ｃ表わされる
。電子のエネルギーｅど速度ＶのＩＪＩ係は ｃ２／（ｍｖ）＝− ｃ／ （２ｍｏ Ｖ （１＋９．７８７ｘｌＯ−７Ｖ）
） −（３＞とイ「る。但し、ｍＯは電子の静止質量
、■は加速重重である。、史にスペクトロメーター内の
磁界の強さＢどくのヨＩ−励Ｆ１電流１ｓｏどの関係は
、／ｌＯをジ°１空の透磁率、１−をスペクトロメータ
ーのｖＡ補極間距島゛１．］を励磁のターン数とすると
１’３ ＝（ｔｔｏ ／ Ｌ−） Ｉ ｓｏＴ ・・・
（４）ＣＪうえられる。（２＞、（３）、（４）式より
相丼 λ・ｊ論抽正を名にλ（した電子のエネルギー［はスベ
ク１− Ｉ−１メーターの前記主励磁電流１ｓｏを用い
゛（７ −Ｃ（μｏ ｒ−１−１ｓｏ） ２／ （２ｍｏ Ｌ２
）−（５）と表ね−りことができる。さて、入射電子の
エネルギーがしく） ぐ（Ｓ・）る場合に励磁電流１１
ｏで使用している電子レンズにおいて、入射電子のエネ
ルギーがΔ１−だ【プ羽化したときの色収差Δ（ＪはΔ
１１を励磁電流の変化量、Ｇ［を軸上色収差係数、Ｃｍ
を１８率色収差係数、Ｃｒを回転色収差係数、αを電子
の聞き角、ＬＪａを電子軌道の試１１面における中心か
らの距離とすれば、 で与えられるから、レンズ電流を ΔＥ／Ｆｏ＝２ （Ｉｌｏ−Ｔｌｏ）／Ｉｌｏ ・・・
（７）を満足するにうな電流１１に変化させれば、色収
差が生じないことになる。いま、スペクトロメーターの
前記作用電源にり供給される（１１１引電流をＩＳＯと
寸れぽ、（５）式より ΔＥ／Ｅｏ ＝ （Ｉｓ ２− ｌＳＯ２） ／ ｌ５
ｏ２・・・（８）であるから、（７）、（８）式より色
収差を生じないための前記レンズ励磁電流■１は Ｉｆ ＝ Ｉｌｏ＋（Ｉｓ’２ − ｌ５ｏ２ ）／
（２１ｓｏ２）・・・（９） で与えられることが分る。従って、スペクトロメーター
の主励磁電流ＩＳＯと掃引電流ＩＳを検出して、それに
基づいて（９）式で〜えられるレンズ電流１１をレンズ
に供給すれば、どのエネルギーを選択した際に６１常に
正確にフォーカスされた像を得ることができる。
本発明は電子銃と、該電子銃よりの電子線を隼中しで試
′Ａ：１に照ａ＝＋りるための手段と、該試わ１を透過
しｌこ電ｒ ｆ’ｉ！ ’ｉ 、１ネルＡ゛−分散させ
るためのスペク１〜（」メーターと、該スベク１〜ロメ
ーターにＪ：つ−’Ｃ’ｒ５Ｘ択される電子のエネルギ
ーを切換えるための手段と、該スベクＩ−ロメーターの
後段に配置されスベクＩ−ル像又は該スベク１〜ロメー
ターにＪ、って１式１１１！された電子線に基づく像を
拡大づるためのレンズどを備えた装；ｕにおいて、該レ
ンズの励磁電流を該切換え手段にＪ、るエネルギーの切
換えに連ωＪして切換えるための手段を具備し′Ｃいる
ことを１ＪＩ徴どしている。
′Ａ：１に照ａ＝＋りるための手段と、該試わ１を透過
しｌこ電ｒ ｆ’ｉ！ ’ｉ 、１ネルＡ゛−分散させ
るためのスペク１〜（」メーターと、該スベク１〜ロメ
ーターにＪ：つ−’Ｃ’ｒ５Ｘ択される電子のエネルギ
ーを切換えるための手段と、該スベクＩ−ロメーターの
後段に配置されスベクＩ−ル像又は該スベク１〜ロメー
ターにＪ、って１式１１１！された電子線に基づく像を
拡大づるためのレンズどを備えた装；ｕにおいて、該レ
ンズの励磁電流を該切換え手段にＪ、るエネルギーの切
換えに連ωＪして切換えるための手段を具備し′Ｃいる
ことを１ＪＩ徴どしている。
以１・、−Ｌ ’ｒｄ’ｒ シ／、： 、を二えにｊ、
（づく本発明の実施例を計ｊホする。
（づく本発明の実施例を計ｊホする。
本発明の一実施例を示づ第３３図において、第１図と同
一の４７１．成要Ａ・；に対しては同一番目をｆ］シて
いる。１８は？ｌ’ｌ ”γ回路ひあり、この割算回路
１８にＬｌｌ電電７ビＱ ａ Ｊ、りの主励磁電流１ｓ
ｏに比例しｌこ電ＩＪ（ｉ尼ど（１吊引電源１０ｂ、ｌ
、りの作用電流ＴＳに比例した電圧４５号が供給されて
いる。この割算同一’ｌＩ １ Ｂよりの電）１信号は
１１０）回路１９に供給されでいる。２０は基準信号発
生回路であり、この基準信号発生回路２０は八〇・１す
る電子線のエネルギーが［０である場合の入用レンズ１
６の励磁７１１流１１ｏに対応した基準電圧信号を発生
する。この導；ｊ ｔ％１．電ｆｉｘ（菖シー〕は加算
回路２゛１に供給されており、この加算回路２１におい
て掛算回路１９の出力電圧イム号と加Ｃ）され、この加
幹［」路２′１の出力電圧に比例して出ｑ４レンズ１６
が励磁されるようになっている。
一の４７１．成要Ａ・；に対しては同一番目をｆ］シて
いる。１８は？ｌ’ｌ ”γ回路ひあり、この割算回路
１８にＬｌｌ電電７ビＱ ａ Ｊ、りの主励磁電流１ｓ
ｏに比例しｌこ電ＩＪ（ｉ尼ど（１吊引電源１０ｂ、ｌ
、りの作用電流ＴＳに比例した電圧４５号が供給されて
いる。この割算同一’ｌＩ １ Ｂよりの電）１信号は
１１０）回路１９に供給されでいる。２０は基準信号発
生回路であり、この基準信号発生回路２０は八〇・１す
る電子線のエネルギーが［０である場合の入用レンズ１
６の励磁７１１流１１ｏに対応した基準電圧信号を発生
する。この導；ｊ ｔ％１．電ｆｉｘ（菖シー〕は加算
回路２゛１に供給されており、この加算回路２１におい
て掛算回路１９の出力電圧イム号と加Ｃ）され、この加
幹［」路２′１の出力電圧に比例して出ｑ４レンズ１６
が励磁されるようになっている。
このような４１１．Ｈ成に（１３いて、１４）相電源１
０ ｂを稼動さばて（吊用用コイル１１ｂに供給する励
磁電流Ｉｓをｊ；１）引りれば、出用スリブ＋−１５に
Ｊ、す）選択される電子のエネルギーが１．■引される
。さて、このとき割偉回路１８の出力信号はＩｓ／ＩＳ
Ｏに比例したものとなるため、掛算回路１９にはＩｓ／
Ｉｓｏに比例した電圧信号と、基準信号発生回路２０よ
りの励磁電流■ｔｏに比例した電圧信号が供給されるた
め、掛τ）回路１９Ｊ、りの出力はｌｌｏ・ＩＳ／ＩＳ
Ｏに比例したものとなる。一方加障回路２１には）、目
へて、信Ｙ〕発生回路２０Ｊ、すｌｌｏに比例しノこ電
月（ｉニジ−ｔか供給され（いるため、１１＋１ ＣＴ
ｈ回路２１の出カイ、１０はｌ １ｏ−ｉ １ ｌｏ・
ｌｓ、／ｌｓｏに比例したしのどなり。従っ（、回路定
数を設定りることにＪ、す、；Ｉ ＱＪレンズ１０に流
れる励磁電流１１をｌ １ ＝ ｌ ｔｏ−＋１ｔｏ・
Ｉｓ／Ｉｓｏ ・・・（１０）とりることか（−さる。
０ ｂを稼動さばて（吊用用コイル１１ｂに供給する励
磁電流Ｉｓをｊ；１）引りれば、出用スリブ＋−１５に
Ｊ、す）選択される電子のエネルギーが１．■引される
。さて、このとき割偉回路１８の出力信号はＩｓ／ＩＳ
Ｏに比例したものとなるため、掛算回路１９にはＩｓ／
Ｉｓｏに比例した電圧信号と、基準信号発生回路２０よ
りの励磁電流■ｔｏに比例した電圧信号が供給されるた
め、掛τ）回路１９Ｊ、りの出力はｌｌｏ・ＩＳ／ＩＳ
Ｏに比例したものとなる。一方加障回路２１には）、目
へて、信Ｙ〕発生回路２０Ｊ、すｌｌｏに比例しノこ電
月（ｉニジ−ｔか供給され（いるため、１１＋１ ＣＴ
ｈ回路２１の出カイ、１０はｌ １ｏ−ｉ １ ｌｏ・
ｌｓ、／ｌｓｏに比例したしのどなり。従っ（、回路定
数を設定りることにＪ、す、；Ｉ ＱＪレンズ１０に流
れる励磁電流１１をｌ １ ＝ ｌ ｔｏ−＋１ｔｏ・
Ｉｓ／Ｉｓｏ ・・・（１０）とりることか（−さる。
どころＣ１前記（９）式の右辺は、Ｉｓが小さい場合に
は、略１１０＋１１０・ｉｓ／ｌｓｏとなるから、この
ような励磁電流を出（ＩＪレンズ１６に供給りることに
Ｊ、す、エネルギーの雇用を行むっても、常に帯スペク
トル像を出射スリット１５十に結像り゛ることができる
。従って、１’：ｉ分解能のスペクトルを記録計１２に
表示づることがでさる。
は、略１１０＋１１０・ｉｓ／ｌｓｏとなるから、この
ような励磁電流を出（ＩＪレンズ１６に供給りることに
Ｊ、す、エネルギーの雇用を行むっても、常に帯スペク
トル像を出射スリット１５十に結像り゛ることができる
。従って、１’：ｉ分解能のスペクトルを記録計１２に
表示づることがでさる。
尚、」−述した実施例にａ３いては、第１図に示し／ｊ
電子顕微鏡等のエネルギー分析装置に本発明を適用した
例について説明したが、第２図に示した装置に、第３図
に示した構成と同一の４ｈ或をｆ」加りることにＪ、す
、第２図に示した型の従来装置にｂ本発明を同様に適用
できる。
電子顕微鏡等のエネルギー分析装置に本発明を適用した
例について説明したが、第２図に示した装置に、第３図
に示した構成と同一の４ｈ或をｆ」加りることにＪ、す
、第２図に示した型の従来装置にｂ本発明を同様に適用
できる。
又、上）ホし１こ説明においては、所謂しフタ−型のス
ペクトＩＪメーターを用いた装置に本発明を通用した例
についてＡｉ２明したが、所謂ω型のスペクトＬ１メー
ターを用いる装置にも本発明は同様に通用できる。
ペクトＩＪメーターを用いた装置に本発明を通用した例
についてＡｉ２明したが、所謂ω型のスペクトＬ１メー
ターを用いる装置にも本発明は同様に通用できる。
」ニ述しノこ説明から明らかなＪ、うに、本発明に１．
Ｌづく装置によれば、選１１＜す“るエネルギーの切換
えにかから４つず、常にｉ：７１分解能の一■ネルギー
スペクトル又４．Ｌ電子！！１微鏡像をｉｑることがで
さる。
Ｌづく装置によれば、選１１＜す“るエネルギーの切換
えにかから４つず、常にｉ：７１分解能の一■ネルギー
スペクトル又４．Ｌ電子！！１微鏡像をｉｑることがで
さる。
第１図及びり′３２図は従来装置を説明するだめの図、
第３図は本ｙ５明の一実施例を承りだめの図である。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ系、４：試別
、５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投影レンズ、
８：スペクトロメーター、９：入口・１絞り、１５：ｆ
ｆｌ！）ｌスリット、１０ａ：主電源、１０ ｂ： ｌ
／ｉ）引用電源、１１ａ：主コイル、１１ｂ二昂引用コ
イル、１２：記録計、１３：検出器、１４：増幅器、１
６：出射レンズ、１７：蛍光版、１８二割鈴回路、１９
：掛算回路、２０：基準イ５シ〕発生回路、２１：加算
回路。
第３図は本ｙ５明の一実施例を承りだめの図である。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ系、４：試別
、５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投影レンズ、
８：スペクトロメーター、９：入口・１絞り、１５：ｆ
ｆｌ！）ｌスリット、１０ａ：主電源、１０ ｂ： ｌ
／ｉ）引用電源、１１ａ：主コイル、１１ｂ二昂引用コ
イル、１２：記録計、１３：検出器、１４：増幅器、１
６：出射レンズ、１７：蛍光版、１８二割鈴回路、１９
：掛算回路、２０：基準イ５シ〕発生回路、２１：加算
回路。
Claims (1)
- 電子銃と、該電子銃Ｊ：りの電子線を集束して試オパ１
に照！Ｊ＝１ 覆るための手段と、該試料を透過した電
Ｊ−線を土ネル１゛−分１１′Ｉさゼるためのスペクト
ロメーターと、該スベク１−ロメーターにＪ：つて選１
７＜される電子の」−ネルギーを切換えるための手段と
、該スペクトロメーターの後段に配置されスペクトル像
には該スペクトロメーターによって選択された電子線に
基づく像を拡大するだめのレンズとをｉＮｉ＋え／、：
装置にＪ３い（、該レンズの励磁゛電流を該切ＩＺえ手
段によるエネルギーの切換えに連動して切換えるための
手段を只ｌＮｉ１ Ｌ／ていることを特徴どりる電子顕
微鏡等におけるエネルギー分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59045777A JPS60189857A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 電子顕微鏡等におけるエネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59045777A JPS60189857A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 電子顕微鏡等におけるエネルギ−分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60189857A true JPS60189857A (ja) | 1985-09-27 |
Family
ID=12728719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59045777A Pending JPS60189857A (ja) | 1984-03-10 | 1984-03-10 | 電子顕微鏡等におけるエネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60189857A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10162772A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5546162A (en) * | 1978-09-29 | 1980-03-31 | Jeol Ltd | Energy analyzer |
| JPS57212755A (en) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | Internatl Precision Inc | Transmission-type electron microscope |
-
1984
- 1984-03-10 JP JP59045777A patent/JPS60189857A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5546162A (en) * | 1978-09-29 | 1980-03-31 | Jeol Ltd | Energy analyzer |
| JPS57212755A (en) * | 1981-06-25 | 1982-12-27 | Internatl Precision Inc | Transmission-type electron microscope |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10162772A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタ |
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