JPS6019105B2 - 撮像管の製法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、撮像管、例えば位相分離方式の単一撮像管方
式によるトリニコン（商品名）を得る撮像管の製法に係
わる。

例えば、位相分離方式による撮像管は、第１図に示す如
く、管体１の管状部ＩＡ内に電子銃２が配置され、その
フェースプレート３の内面にはターゲット４が配置され
る。

ターゲット４はガラス薄板８の一方の面に光学色フィル
タ部５が配置され、他方の面にインデックス信号取り出
し用の透明電極部６と光導電面７が被着されてなる。９
は偏向コイル、１川ま集東コイル、１１は整列コイルで
ある。

そして、この撮像管には、光学系１２を介して撮像せん
とする光学像１３が結像される。電極部６は、第２図に
示す如く、ガラス薄板８の一方の面に平行電極群がビー
ムの走査方向と略々直交する向に延長して配列されてな
り、一つ置きの電極は撮像面の無効部分に於て連結され
て、櫛歯状の電極部６ａ及び６ｂが構成されてなる。

この電極部６上には、第３図に示す如く例えば３硫化ア
ンチモンより成る光導電面即ち、光電変換面７が被着さ
れる。

又、ガラス薄板８の他方の面には、第３図に示す如く、
光学色フィルタ部５が配置される。

このフィルタ部５は図示しないが、対の電極部６ａ及び
６ｂの平行電極群に対して、所定の配置をもって、赤，
緑，青の各平行フィルタ群が順次配列されてなる。この
ターゲット４は、管体１のフェースプレート３の内面に
対接被着される。

電極６の対の電極部６ａ及び６ｂの端子は、各電極部６
ａ及び６ｂの櫛歯の連結部に夫々フェースプレート３の
前方に導出する如く貫通させた導電ピン１４ａ及び１４
ｂによって構成する。

又、１８は第２図に示す如く、電極６の周囲に配置され
た導電層貝０ち、ガードリングでこのガードリング１８
に対する給電はリング状電極１９を通じて行う。リング
状電極１９は、その内側にインジウム３０が被着され、
このインジウム３０をフェースプレート３と管体１の管
状部ＩＡの前端面間にガードリング１８と接触させて挟
み込んでプレート３と管状部ＩＡ間をいわゆるインジウ
ムシールによって封着すると共に、このリング状電極１
９をガードリング１８の給電端子とする。又、管体１内
には、ターゲット４に対向してメッシュ電極１５が配置
され、これによって電界の均一化をはかっている。この
メッシュ電極１５に対する給電は、この電極１５を管体
１のステムに貴適配設された端子ピン１７に導線１６を
介して接続することによって、この端子ピン１７より行
うようになされている。ところが、近時、この撮像管に
対する鰭子ビームの水平、垂直偏向用のコイルを管体１
の外周に設けろを回避し、管体１の管状部ＩＡの内面に
第４図に示す如く、導電層よりなる２対の静電偏向電極
３１を配し、これによって静電的に電子ビームの偏向を
行うようになしたものが実用化されるに到つている。

第５図は、この２対の偏向電極３１を展開したパターン
を示し、之より明らかなように、偏向電極３１は夫々例
えばジグザグパターンを有する水平偏向電極となる対の
電極３１ａ及び３１ｂと垂直偏向電極となる他の対の電
極３１ｃ及び３１ｄを有して成る。

第５図に於いて０−０線は管藤方向を示している。この
ように静電偏向電極が管状部ＩＡ内に配置されるものに
あっては、上述したように、メッシュ電極１５に対する
給電を導線１６によって行うことは、之によって電界を
乱すとか絶縁性に問題が生ずるので、このような撮像管
にあっては管状部の前方端に於てその給電を行う構造と
する。

その一例を第６図を参照して説明すると、この場合、管
体１の管状部ＩＡの前端面に、絶縁リング２０が配され
、更に、これの前方にリング状スベーサー２１が配され
、これら絶縁リング２０及びスベーサ−２１を介して内
面にターゲット４が形成されたフェースプレート３が封
着される。絶縁リング２０は、管体１の管状部ＩＡを構
成する材料、例えば鉛ガラスとその熱膨張係数が近いセ
ラミック、例えばフオルステラィトより構成される。そ
してこのリング２川ま、その外周に突出する環状突部２
０Ａを有しその断面が凸字状をなすように形成される。
又、このリング２０の表面、特に突部２０Ａの周面と之
に蓮らなって、後述するメッシュ電極１５との電気的接
触部に延長して、導電層２２が彼着される。図示の例で
は、導電層２２がリングの全表面に形成した場合である
。この導電層２２は、金又は銀ペーストを塗布し、之を
焼付けることによって形成される。又、スべ−サー２１
は、絶縁リング２０の構成材料とその熱膨張率が近似す
る材料、例えば管体１の管状部ＩＡと同一の鉛ガラス管
より構成される。又、リング２川ま、その環状突部２０
Ａが管状部ＩＡとスベーサー２１との間に挟み込まれて
管状部ＩＡの前端面とスベーサー２１の後端面とに夫々
ガラスフリツト２３によって封着される。

又、この絶縁リング２０内にはメッシュ電極１５を保持
する導蚤性保持枠２４が搬入される。この保持枠２４は
、この外周に導電性の弾性接片２５が熔接等によって取
着され、この援片２５によって保持枠２４をリング２０
内に圧入し、且つこの導電性保持枠２４及び姿片２５を
介して導電層２２にメッシュ電極１５を電気的に接続す
るようになされる。又、スべ−サ−２１の前端面をフェ
ースプレート３の間には電極１９の内周面に形成された
インジウム３０が荻着されて、いわゆるインジウム封着
がなされる。

斯くして、メッシュ電極１５に対する給電を絶縁リング
２０の外周の導電層２２を通じて行う。

上述したように管体１の管状部ＩＡ内に静電偏向電極３
１を設ける構造の撮像管を製造する場合、その電極３１
は、通常管状部ＩＡの内周面に写真技術によって被着す
る。即ち、管状部ＩＡの内周面に導電膜を被着し、之の
上にフオトレジスト即ち感光性樹脂を被着し、之に所定
のパターンの露光現像処理を施して、このフオトレジス
トをエッチングマスクとして上記導電層に対するエッチ
ングを行って、之を所定のパターンとなして電極３１を
形成する。ところがこのようにいわゆるフオトェッチン
グによって偏向電極３１を管状部ＩＡの内面に形成する
ことは、技術的にも難しく、この場合導電膜としてクロ
ムを用いるとクロム化合物の処理が必要になりそのため
製造工程が長くなり、著しく量産的を阻み、又、高精度
に所望のパターンの偏向電極を形成し‘こくいという欠
点がある。本発明は、感内面に静電偏向電極が微細パタ
ーンをもって彼着される撮像管を量産的に確実に形成す
ることのできるこの種撮像管の製法を提供せんとするも
のである。

第７図之至第９図を参照して、本発明の一例を詳細に説
明するに、第７図に示す如く、撮像管の管体を構成する
管状部ＩＡの前端面に前述したようにメッシュ電極を保
持し、その端子となる導電層を表面に有する絶縁リング
２０をガラスフリット接着し、更に、このリング２０の
前端にガラスリング等より成るリング状スベーサ２１を
同様にガラスフリツトによって接着する。そしてこの管
状部ＩＡの内壁面に所定のパターンに沿って即ち４本の
ジグザグ線に沿って水落性物質線条４０を被着する。水
溶性物質として例えばアラビアゴム０．３〜１と水１を
混合したアラビアゴム水溶液とアルカリ系剥離剤として
の水酸化ナトリウムとを重量比１００：６の割り合で混
合したものを用いる。

またこの水溶怪物質線条４０の被着装置４１としては例
えば第７図に示す如く、金属管から成る注出ペン４２を
支持村４３にその鞠方向に対して略直角に取付けて水溶
怪物費溶液を貯留槽４４から送液管４５を通して送液ポ
ンプ４６により強制的に送液するようになし、支持村４
３は第１のパルスモータ４７によりその軸線を中心とし
て往復回動され、第２のパルスモータ４８により軸方向
に摺動される。即ち支持村４３は第１のパルスモータ４
７の軸に連結されて直接回動され、第１のパルスモータ
４７は、第２のパルスモータ４８により回動されるネジ
杵４９に螺合支持され、このネジ村４９の回転により第
１のパルスモータ４７が移動されて支持村４３が摺動さ
れるようになされており、このパルスモータ４７と４８
は制御装置５０によって操作制御される。一方管状部Ｉ
Ａは例えばその両端を対の治具５１及び５２によって保
持し、その一方の治具５１には関口部５１ａが設けられ
、この閉口部５１ａから管状部ＩＡ内に、被着装層の支
持杵４３を挿入して注出ペン４２の先端を管壁内面にほ
ぼ接触する状態で位置させる。

かくして洋出ペン４２に水溶性物質溶液を貯留槽４４か
ら送液管４５を通して送液ポンプ４６により送液しＬそ
の先端口から注出させると共に制御装置５０‘こよって
パルスモータ４７．４８を操作制御して注出ペン４２を
支持杵４３を介して往復回動しながら、管軸方向に沿っ
て移動させると管状部ＩＡの管壁面に水溶性物質溶液が
ジグザグパターン状に被着され、水溶性物質線条４０が
形成される。

この場合水溶怪物質線条４０は所定中として５００〜６
００ムので被着形成することが望ましい。尚第７図に示
した被着装層４１の一例では管状部ＩＡを固定して注出
ペン４２を管状部ＩＡに対して往復回動及び管軸方向の
移動を行うようにした場合であるが、法出ペン４２を固
定し、管状部ＩＡを注出ペン４２に対して往復回動及び
移動させるようになすこともできるし、管状部ＩＡと注
出ペン４２を相互に回動及び移動させるようになすこと
もできる。また水落性物質としてはアラビアゴムの他、
ゼラチン，粗糖，デンプン系コロイド，染料等を用いる
ことができ、水落性ではないが、アセトンにより溶解さ
れるシリコーングリースを用いてもよい。このようにし
て、管状部ＩＡの内壁面に水溶性物質線条４１を形成し
てのち、管状部ＩＡ内のそのほぼ中心軸上に、蒸着源５
３を配置する。この蒸着源５３は、例えばタングステン
より成るヒータ５４の周囲に蒸着村例えばクロムのメッ
キ層５５を被着して構成とする。かくしてヒータ５４に
通電し、之を加熱し、メッキ層５５のクロムを管状部Ｉ
Ａの内面に水溶性物質線条４０の上から蒸着させて、ク
ロムの蒸着膜５６、即ち導電膜を被着形成する。この場
合管状部ＩＡの管軸万向に関して偏向電極が配置されな
い部分には蒸着膜５６が形成されることがないように、
円筒状のマスク５７を配置し得る。このように葵着によ
って、管状部ＩＡの内壁面に導電膜５６を形成してのち
この管状部ＩＡを剥離剤溶液中に浸潰して導電膜５６面
を超音波洗浄法により洗浄するか或いはブラシで擦る等
することにより水溶性物質線条４０をその上面に被着さ
れた導電膜と共に剥離すると、第９図に示す如く導電膜
５６に４本のジグザグの欠除部５８が形成され、電極３
１則ち上述の４本の帯状のジグザグパターンの電極３１
ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが劉成形成される。

以上のように本発明製法によれば、撮像管管体の管状部
ＩＡに水溶性物質を所定パターンで線条４川こ被着して
後、導電膜５６を蒸着し、次いで水，洗浄液等により導
電膜５６面を洗浄することにより、水溶性物質線条４０
を、その上面の導電膿と共に剥離して所定パターンの電
極を形成するものであるから、導電膜の形成にクロムを
用いた場合でもフオトレジストを用いてエッチングによ
り形成する場合の如きクロム化合物が発生することなく
、従ってその処理工程が必要なく工程が筒略されて、量
産に適すると共に、水溶性物質線条４０の形成は、管状
部ＩＡの内面に直接ペンにより描き被着するので管状部
ＩＡの状態にかかわらず導電膜５６の欠除中を所定の中
に正確に形成でき偏向電極３１を高精度に形成できるの
で、実用に供してその工業的利益が大である。

尚、上述した例は、位相分離方式による単一管型撮像管
を得る場合について説明したが他の撮像管を得る場合に
適用して同様の効果を菱せしめ得ることは明らかであろ
う。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の説明に供する撮像管の構成図、第２図
はそのインデックス用電極のパターンを示す図、第３図
は同様に第１図に示した撮像管の要部の断面図、第４図
は本発明によって得る撮像管の偏向電極の斜視図、第５
図はその展開図、第６図は同様の撮像管の要部の一半を
断面とした側面図、第７図は本発明製法に於ける管状部
の内面に水溶性物質をジグザグパターン状彼着加工する
工程の説明図、第８図は本発明製法に於ける導電膜の蒸
着工程の説明図、第９図は本発明製法によって得られた
撮像管の管状部の一部分の断面図である。 図中１は管体、ＩＡはその管状部、３はフェースプレー
ト、４はターゲット、３１は偏向鰭極、４０は水落性物
質線条、４１は被着装瞳、４２は注出ペン、４３は支持
村、５１，５２は管状部ＩＡの保持用捨臭、５３は蒸着
源、５４はヒータ、５５は蒸着村、５６…導電膜、５８
は欠除部である。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第８図 第９図 図 ト 船

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 撮像管管体の管状部の内面に所定のパターンに沿つ
   て水溶性物質を被着し、該物質上を含む上記管内面に導
   電膜を被着形成し、上記物質と上記物質上の上記導電膜
   を除去して上記導電膜より成る静電偏向電極を形成する
   ことを特徴とする撮像管の製法。