JPS60191423A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS60191423A JPS60191423A JP59043962A JP4396284A JPS60191423A JP S60191423 A JPS60191423 A JP S60191423A JP 59043962 A JP59043962 A JP 59043962A JP 4396284 A JP4396284 A JP 4396284A JP S60191423 A JPS60191423 A JP S60191423A
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- Japan
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- magnetic
- thin film
- recording
- recording medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体に係り、特に光磁気メモリー、・
磁気記録、表示素子などに用いられ、磁気カー効果ある
いはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて読み出
すことのできる光熱磁気記録媒体等に用いられる磁気記
録媒体における改良に関する。
磁気記録、表示素子などに用いられ、磁気カー効果ある
いはファラデー効果などの磁気光学効果を用いて読み出
すことのできる光熱磁気記録媒体等に用いられる磁気記
録媒体における改良に関する。
従来、例えば光熱磁気記録媒体に用いる磁気記録媒体と
してはMnB1. MnCuB i、などの多結晶薄膜
、GdCo、 GdFe、 TbFe、 DyFeXG
dTbFe、 TbDyFe、 GdFeCo。
してはMnB1. MnCuB i、などの多結晶薄膜
、GdCo、 GdFe、 TbFe、 DyFeXG
dTbFe、 TbDyFe、 GdFeCo。
GdTbCoなどの非晶質薄膜、GdIGなどの単結晶
薄膜などが知られている。
薄膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
S/N比よく読み出すための読み出し効率等を勘案して
、最近では前記非晶質薄膜が光熱磁気記録媒体用として
優れていると考えられている。特に、GdTdFeはカ
ー回転角も大きく、150℃前後のキューリ一点を持つ
ので、光熱磁気記録媒体用として最適である。
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
S/N比よく読み出すための読み出し効率等を勘案して
、最近では前記非晶質薄膜が光熱磁気記録媒体用として
優れていると考えられている。特に、GdTdFeはカ
ー回転角も大きく、150℃前後のキューリ一点を持つ
ので、光熱磁気記録媒体用として最適である。
しかしながらGdTbFe等の非晶質磁性体をはじめと
して、一般に記録層として用いられる磁性体は耐腐食性
が劣り、湿気を有する雰囲気中では腐食されて磁気特性
の劣化を生じるという欠点がある。Si、 Cr、 T
i等の元素を添加すると耐腐食性は向上するが、キュー
リ一点が上昇して記録感度が低下する欠点がある。
して、一般に記録層として用いられる磁性体は耐腐食性
が劣り、湿気を有する雰囲気中では腐食されて磁気特性
の劣化を生じるという欠点がある。Si、 Cr、 T
i等の元素を添加すると耐腐食性は向上するが、キュー
リ一点が上昇して記録感度が低下する欠点がある。
このような欠点を除くために、従来から、非晶質磁性体
の記録磁性層の上に各種の保護層を設けたり、あるいは
不活性ガスによって記録磁性層を封じ込めたエアーサン
ドイッチ構造や貼り合わせ構造のディスク状光熱磁気記
録媒体が提案されているが、必ずしもその機能を充分に
果たしているとは言い難い。
の記録磁性層の上に各種の保護層を設けたり、あるいは
不活性ガスによって記録磁性層を封じ込めたエアーサン
ドイッチ構造や貼り合わせ構造のディスク状光熱磁気記
録媒体が提案されているが、必ずしもその機能を充分に
果たしているとは言い難い。
本発明の目的は記録媒体としての特性にすぐれ、且つ、
耐腐食性に優れた舖磁気記録媒体を提供することにある
。
耐腐食性に優れた舖磁気記録媒体を提供することにある
。
この目的は次の磁気記録媒体により達成される。
基板上に磁性薄膜記録袋層および必要に応じて補助層を
順次設げてなる磁気記録媒体において、該磁性薄膜記録
層に相接して酸素原子を含有する磁性薄膜層を設けてな
ることを特徴とする磁気記録媒体。
順次設げてなる磁気記録媒体において、該磁性薄膜記録
層に相接して酸素原子を含有する磁性薄膜層を設けてな
ることを特徴とする磁気記録媒体。
本発明に於ける磁性薄膜記録層の抗磁力は、]、004
0000eであることが特に好ましい。
0000eであることが特に好ましい。
更に、C01Bi、 Cr、 Ge、 Si、Ti、N
i等の元素の少なくとも1つを含有することが特に好ま
しい。
i等の元素の少なくとも1つを含有することが特に好ま
しい。
ここで、磁性薄膜記録層は通常Gd、 Tb、 Dy等
の希土類元素群とFeXCo等の遷移金属元素群とから
成り、それぞれ高周波スパック装置を用い、スパッタに
より膜厚0.01〜02μmに形成する。
の希土類元素群とFeXCo等の遷移金属元素群とから
成り、それぞれ高周波スパック装置を用い、スパッタに
より膜厚0.01〜02μmに形成する。
本発明における酸素原子を含有する磁性薄膜層は、例え
ば次の方法で形成することかできる。例えば、スパッタ
装置を用いるならば、ターゲットとして、磁性体を用い
グロー放電をおこすためのArガス中に、酸素ガスを混
入せしめる。或いは、ターゲットとして用いる磁性材料
の中に、磁性体の酸化物を加えることによっても達成で
きる。ターゲット材料としては、磁性薄膜記録層と同じ
ものを用いてもよいし、状況に応じて別種の磁性材料を
用いることも可能である。酸素原子を含有する磁性薄膜
層中に加える酸化物としては、前記磁性薄膜記録層と同
種の材料で酸素原子を含有するもの、例えばCry、
NiONlol(i )、、O,−、、、Fe5o4、
Co11.83− Fe2.20.等を用いることができる。
ば次の方法で形成することかできる。例えば、スパッタ
装置を用いるならば、ターゲットとして、磁性体を用い
グロー放電をおこすためのArガス中に、酸素ガスを混
入せしめる。或いは、ターゲットとして用いる磁性材料
の中に、磁性体の酸化物を加えることによっても達成で
きる。ターゲット材料としては、磁性薄膜記録層と同じ
ものを用いてもよいし、状況に応じて別種の磁性材料を
用いることも可能である。酸素原子を含有する磁性薄膜
層中に加える酸化物としては、前記磁性薄膜記録層と同
種の材料で酸素原子を含有するもの、例えばCry、
NiONlol(i )、、O,−、、、Fe5o4、
Co11.83− Fe2.20.等を用いることができる。
本発明を光熱磁気記録媒体に適用した場合の構成例を第
1図に示す。
1図に示す。
第1図に於て、1は基板ガラス、2は誘電体の県層ある
いは多層構造による反射防止層、3は磁性薄膜記録層、
4は酸素原子を含有する磁性薄膜層、5は保護層、6は
接着層1,7は保護用基板である。レーザービームによ
る記録及び再生は、第1図に於て矢印で示したように上
方の基板面よりなされる。酸素を含有する磁性薄膜層4
に於ける酸素原子の層内における含有率は、磁性薄膜記
録層3が、接着層6を通弁して空気中の酸素或いは水分
等によって劣化するのを防止する上で最も効果が」二が
るように設定される。その値は、通常01at%乃至2
0 at %の範囲にある。又、上記酸素を含有する磁
性薄膜層の層厚が薄すぎると、水分或いは酸素の侵入を
防ぐに充分でなく、又、余りに厚すぎると、磁性記録層
の特性に影響をおよぼし、例えば光熱磁気記録媒体とし
て用いた場合に、磁気効果の低減によるS/N比の低下
或いは記録感度4− の低下を招く。このため、上記層厚は、通常30A〜1
000人、好しくは50X〜500人の範囲で設定され
る。
いは多層構造による反射防止層、3は磁性薄膜記録層、
4は酸素原子を含有する磁性薄膜層、5は保護層、6は
接着層1,7は保護用基板である。レーザービームによ
る記録及び再生は、第1図に於て矢印で示したように上
方の基板面よりなされる。酸素を含有する磁性薄膜層4
に於ける酸素原子の層内における含有率は、磁性薄膜記
録層3が、接着層6を通弁して空気中の酸素或いは水分
等によって劣化するのを防止する上で最も効果が」二が
るように設定される。その値は、通常01at%乃至2
0 at %の範囲にある。又、上記酸素を含有する磁
性薄膜層の層厚が薄すぎると、水分或いは酸素の侵入を
防ぐに充分でなく、又、余りに厚すぎると、磁性記録層
の特性に影響をおよぼし、例えば光熱磁気記録媒体とし
て用いた場合に、磁気効果の低減によるS/N比の低下
或いは記録感度4− の低下を招く。このため、上記層厚は、通常30A〜1
000人、好しくは50X〜500人の範囲で設定され
る。
本発明による記録媒体の他の構成例として第2図に示す
如、く、反射膜9を設けることにより、磁気効果の増大
を計り、S/N比の向上を招くことが可能である。第2
図に於て、酸素を含有する磁性薄膜層4′および4”は
磁性薄膜記録層3″の両側に設けられている。5′は保
護層、6は接着層、7は保護用基板である。8は中間層
であって、5iO1SiO2の如き無機透明材料よりな
り、光磁気信号のS/N比が最適となるよう膜厚を設定
して設けられる。
如、く、反射膜9を設けることにより、磁気効果の増大
を計り、S/N比の向上を招くことが可能である。第2
図に於て、酸素を含有する磁性薄膜層4′および4”は
磁性薄膜記録層3″の両側に設けられている。5′は保
護層、6は接着層、7は保護用基板である。8は中間層
であって、5iO1SiO2の如き無機透明材料よりな
り、光磁気信号のS/N比が最適となるよう膜厚を設定
して設けられる。
9はアルミニューム、銅、金、銀等の反射膜である。
本発明はエアーサンドインチ構造や貼り合わせ構造の光
熱磁気記録媒体に適用できる。また、書き込み側基板と
光熱磁気記録層の間に、有機樹脂などの断熱層、あるい
は使用光に対して透明で成膜したときの屈折率の大きい
染料または顔料よりなる層を形成したり、Ti、 Cr
、 Zn、 AI、siナトノ金属またはTie、、、
AI、、03.5IO3、Cr20.、などの酸化物よ
りなる保護層を形成することができる。また、インデッ
クスマークやトラッキングマークを書き込んだ層など種
々の補助層を設けたり、表面が多孔質層に加工された書
き込み側基板を用いることができる。記録層付きの基板
と保護用基板を貼り合わせる接着層をダイアナ〔菱江化
学■〕、コールトップ〔日本加工製紙■〕、V、P、M
[日本化学産業■〕、フェロガード〔米国ロンコラボ
ラトリーズ社〕、ゼラスト〔大洋液化ガス〕、キレスガ
ード〔日本化学産業■〕等の気化性防錆剤を含有する防
食層、メタルガード〔モービル石油■〕、ラストン〔東
美化学■L C,R,C、ダイヤレート〔菱江化学■〕
等の油溶性防錆剤を含有する防食層、AI、Sn、Zn
、ゴj、、Cr等の金属微粉末を含有する金属微粉末含
有層、MgO,BadXCab、 AI、03、CaC
12KO挟Na OH,Ca’sO4,3AH20、S
i O,、・xH,,01P20s、活性アルミナ、
Mg(CIO4L、ZnBr2等の乾燥剤を含有する乾
燥剤含有層、2,4.6− )リメチルピリジン、ジメ
チルグリシンナトリウム、トリス(ヒドロキシメチル)
アミツメクン、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロ
パンジオール等の塩基性有機物質を含有する塩基性有機
物質含有層に代えることもできる。
熱磁気記録媒体に適用できる。また、書き込み側基板と
光熱磁気記録層の間に、有機樹脂などの断熱層、あるい
は使用光に対して透明で成膜したときの屈折率の大きい
染料または顔料よりなる層を形成したり、Ti、 Cr
、 Zn、 AI、siナトノ金属またはTie、、、
AI、、03.5IO3、Cr20.、などの酸化物よ
りなる保護層を形成することができる。また、インデッ
クスマークやトラッキングマークを書き込んだ層など種
々の補助層を設けたり、表面が多孔質層に加工された書
き込み側基板を用いることができる。記録層付きの基板
と保護用基板を貼り合わせる接着層をダイアナ〔菱江化
学■〕、コールトップ〔日本加工製紙■〕、V、P、M
[日本化学産業■〕、フェロガード〔米国ロンコラボ
ラトリーズ社〕、ゼラスト〔大洋液化ガス〕、キレスガ
ード〔日本化学産業■〕等の気化性防錆剤を含有する防
食層、メタルガード〔モービル石油■〕、ラストン〔東
美化学■L C,R,C、ダイヤレート〔菱江化学■〕
等の油溶性防錆剤を含有する防食層、AI、Sn、Zn
、ゴj、、Cr等の金属微粉末を含有する金属微粉末含
有層、MgO,BadXCab、 AI、03、CaC
12KO挟Na OH,Ca’sO4,3AH20、S
i O,、・xH,,01P20s、活性アルミナ、
Mg(CIO4L、ZnBr2等の乾燥剤を含有する乾
燥剤含有層、2,4.6− )リメチルピリジン、ジメ
チルグリシンナトリウム、トリス(ヒドロキシメチル)
アミツメクン、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロ
パンジオール等の塩基性有機物質を含有する塩基性有機
物質含有層に代えることもできる。
以下に実施例を示して本発明を具体的に説明する。
実施例1
第1図に示した構造の光熱磁気記録媒体を次のようにし
て製作した。
て製作した。
直径]20闘、厚さ1.5闘の平板ガラスを基板lとし
その上に、真空蒸着装置を用いてZrO2電子ビーム加
熱により膜厚01μmで蒸着し反射防止層2を形成した
。次に磁性薄膜記録層3として高周波スハツタ装置を用
いてスパッタリングにヨリFe760d12Tb12を
膜厚009μmで成膜した。抗磁力は20000eに調
整した。次に基板を別のチャンバーに移動して酸素ガス
を流量20 SCCM流し乍ら、Fe76Gd、2Tb
、、、をターゲットとして、スパッタリングを行い:r
ooXの酸素を含有する磁性薄膜層4を形成した。更に
保護層5左してSiOを真空蒸着装置を用いて電子ビー
ム加熱により膜厚02μmで蒸着した。これを接着層6
にて保護用ガラス基板7と貼り合わせて光熱磁気記録媒
体を製作した。この光熱磁気記録媒体の磁気光学効果の
評価のためにカー回転角の測定を行なった。また、記録
感度と読み出し効率の評価のために、記録周波数511
/IHzにおける記録必要バイアス磁界の測定と、再生
信号の波形の分析からSIN比の品質をめた。記録は次
のような装置を用いて行なった。光学ヘッドは出力]5
mWの半導体レーザー(820nm)を光源とし、記録
層表面に〜12μm96の微少スポットとして照射でき
、記録層に垂直方向の磁界を印加できる電磁石を有する
ものを使用した。光熱磁気記録媒体を]80屹p11で
回転し、記録層を一様に磁化しておいて、レーザーをパ
ルス発振し、50チデユーテイで周波数を変えてピット
記録を行なった。
その上に、真空蒸着装置を用いてZrO2電子ビーム加
熱により膜厚01μmで蒸着し反射防止層2を形成した
。次に磁性薄膜記録層3として高周波スハツタ装置を用
いてスパッタリングにヨリFe760d12Tb12を
膜厚009μmで成膜した。抗磁力は20000eに調
整した。次に基板を別のチャンバーに移動して酸素ガス
を流量20 SCCM流し乍ら、Fe76Gd、2Tb
、、、をターゲットとして、スパッタリングを行い:r
ooXの酸素を含有する磁性薄膜層4を形成した。更に
保護層5左してSiOを真空蒸着装置を用いて電子ビー
ム加熱により膜厚02μmで蒸着した。これを接着層6
にて保護用ガラス基板7と貼り合わせて光熱磁気記録媒
体を製作した。この光熱磁気記録媒体の磁気光学効果の
評価のためにカー回転角の測定を行なった。また、記録
感度と読み出し効率の評価のために、記録周波数511
/IHzにおける記録必要バイアス磁界の測定と、再生
信号の波形の分析からSIN比の品質をめた。記録は次
のような装置を用いて行なった。光学ヘッドは出力]5
mWの半導体レーザー(820nm)を光源とし、記録
層表面に〜12μm96の微少スポットとして照射でき
、記録層に垂直方向の磁界を印加できる電磁石を有する
ものを使用した。光熱磁気記録媒体を]80屹p11で
回転し、記録層を一様に磁化しておいて、レーザーをパ
ルス発振し、50チデユーテイで周波数を変えてピット
記録を行なった。
また、電磁力を用いてバイアス磁界を印加した。
読み出し再生は、4.mWの半導体レーザーを光源とし
、記録時開様記録層を照射し、反射光を偏光子を介して
ディテクターで検出した。また、この光熱磁気記録媒体
を65℃、相対湿度85チの恒温恒湿槽に入れて耐腐食
性試験を1.000時間行ない、カー回転角の変化を初
期値に対する比でめた。
、記録時開様記録層を照射し、反射光を偏光子を介して
ディテクターで検出した。また、この光熱磁気記録媒体
を65℃、相対湿度85チの恒温恒湿槽に入れて耐腐食
性試験を1.000時間行ない、カー回転角の変化を初
期値に対する比でめた。
得られた結果を第1表に示す。
比較例1
酸素原子を含有する磁性薄膜層を設けない他は実施例1
と同様に製作した2種の光熱磁気記録媒体について実施
例1と同様に試験した。得られた結果を第1表に示す。
と同様に製作した2種の光熱磁気記録媒体について実施
例1と同様に試験した。得られた結果を第1表に示す。
10−
第1図は本発明の磁気記録媒体の1つの実施態様におけ
る構造を説明するための模式図であり、第2図は本発明
の磁気記録媒体の他の実施態様における構造を説明する
ための模式図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・基 板2
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・反射防止層
3.3′ ・・・・・・・・・・・・・・・ 磁性薄膜
記録層4、 4: 4//・・・・・・・・ 酸素原子
を含有する磁性薄膜層5.5′・・・・・・・・・・・
・・・保 護 層6・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・接 着 層7 ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・保護用基板8・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・中 間 層9・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・反 射 膜特許出願人 キャノン株
式会社 11−
る構造を説明するための模式図であり、第2図は本発明
の磁気記録媒体の他の実施態様における構造を説明する
ための模式図である。 1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・基 板2
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・反射防止層
3.3′ ・・・・・・・・・・・・・・・ 磁性薄膜
記録層4、 4: 4//・・・・・・・・ 酸素原子
を含有する磁性薄膜層5.5′・・・・・・・・・・・
・・・保 護 層6・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・接 着 層7 ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・保護用基板8・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・中 間 層9・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・反 射 膜特許出願人 キャノン株
式会社 11−
Claims (3)
- (1)基板上に磁性薄膜記録層および必要に応じて補助
層を設けてなる磁気記録媒体において、該磁性薄膜記録
層に相接して酸素原子を含有する磁性薄膜層を設けてな
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - (2)該磁性薄膜層内に含有される酸素原子の量が、Q
、lat%〜20at係である特許請求の範囲第1項記
載の磁気記録媒体。 - (3)酸素原子を含有する該磁性薄膜層の厚みが30A
〜1000人である特許請求の範囲第1項または第2項
記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59043962A JPS60191423A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 磁気記録媒体 |
| GB08505766A GB2158281B (en) | 1984-03-09 | 1985-03-06 | Optical recording medium |
| FR858503420A FR2561023B1 (fr) | 1984-03-09 | 1985-03-08 | Support d'enregistrement optique |
| DE3508476A DE3508476C2 (de) | 1984-03-09 | 1985-03-09 | Optisches Aufzeichnungsmaterial |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59043962A JPS60191423A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191423A true JPS60191423A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0532816B2 JPH0532816B2 (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=12678331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59043962A Granted JPS60191423A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191423A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102259174B (zh) * | 2011-07-07 | 2013-04-10 | 安徽精诚铜业股份有限公司 | 用于黄铜立式半连铸的覆盖润滑剂及其制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5189702A (ja) * | 1975-02-05 | 1976-08-06 | Jikikiokutai | |
| JPS5285802A (en) * | 1976-01-12 | 1977-07-16 | Hitachi Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS60127528A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP59043962A patent/JPS60191423A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5189702A (ja) * | 1975-02-05 | 1976-08-06 | Jikikiokutai | |
| JPS5285802A (en) * | 1976-01-12 | 1977-07-16 | Hitachi Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS60127528A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0532816B2 (ja) | 1993-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |