JPS60192178A - flow control valve - Google Patents

flow control valve

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JPS60192178A
JPS60192178A JP4403084A JP4403084A JPS60192178A JP S60192178 A JPS60192178 A JP S60192178A JP 4403084 A JP4403084 A JP 4403084A JP 4403084 A JP4403084 A JP 4403084A JP S60192178 A JPS60192178 A JP S60192178A
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JP
Japan
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valve body
case
control valve
valve
flow path
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Pending
Application number
JP4403084A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsuneo Suga
菅 恒夫
Yozo Nakamura
中村 庸蔵
Toru Arai
新井 亨
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS60192178A publication Critical patent/JPS60192178A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pipe Accessories (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、流量制御弁に係り、特に制御弁を大形化しな
いで、弁体の変形量を大きくするのに好適な電歪素子を
用いた流量制御弁に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a flow rate control valve, and in particular uses an electrostrictive element suitable for increasing the amount of deformation of a valve body without increasing the size of the control valve. This relates to a flow control valve.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

まず、従来の電歪素子を応用した流量制御弁を第1図を
参照して説明する。
First, a flow control valve using a conventional electrostrictive element will be explained with reference to FIG.

第1図は、従来の電歪素子を用いた流量制御弁の断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a flow control valve using a conventional electrostrictive element.

図において、1は積層形の電歪素子、2は封入液、3は
Oリング、4は弁体、5はケース、6は流体の入口、7
は流体の出口で、矢印は流体の流れを示している。
In the figure, 1 is a laminated electrostrictive element, 2 is a sealed liquid, 3 is an O-ring, 4 is a valve body, 5 is a case, 6 is a fluid inlet, and 7
is the fluid outlet, and the arrows indicate the fluid flow.

この流量制御弁は、積層形の電歪素子1をステップ状の
電圧を印加して振動させ、封仄液2を介して弁体4を振
動させることにより、弁体4をケース5の間に形成され
る流路を断続的に開閉する構造となっている。そして、
印加電圧の周波数またはデユーティ比を変えることによ
り流路を開く時間を制御して、ケース5に設けられた入
口6に流入する液体の通過流量を制御する。
This flow control valve is constructed by applying a step voltage to a laminated electrostrictive element 1 to vibrate it, and vibrating the valve body 4 through a sealing liquid 2, so that the valve body 4 is moved between the case 5 and the valve body 4. It has a structure that intermittently opens and closes the flow path that is formed. and,
By changing the frequency or duty ratio of the applied voltage, the time during which the flow path is opened is controlled, and the flow rate of the liquid flowing into the inlet 6 provided in the case 5 is controlled.

この流量制御弁の特徴は、積層形の圧電体を用いている
ので、変位量が比較的大きくとれることと入口6と出ロ
アの圧力差が比較的大きくなっても変位量は小さくなる
が、駆動可能なことである。
The feature of this flow control valve is that since it uses a laminated piezoelectric material, the amount of displacement can be relatively large, and even if the pressure difference between the inlet 6 and the outlet lower becomes relatively large, the amount of displacement will be small. It is possible to drive.

また、液体の流れる方向を逆にすることも可能である。It is also possible to reverse the direction of liquid flow.

しかし、封入液2のシールを完全には行えず流路に洩れ
るため、取扱う流体が気体の場合には使用しにくいと考
えられる。また、変位量を大きくするためには、積層形
の電歪素子lの長さを長くする必要があり、流量制御弁
が大きくなるという欠点があった。
However, since the sealed liquid 2 cannot be completely sealed and leaks into the flow path, it is considered difficult to use when the fluid to be handled is gas. Furthermore, in order to increase the amount of displacement, it is necessary to increase the length of the laminated electrostrictive element l, which has the disadvantage of increasing the size of the flow control valve.

次に、従来の流量制御弁の他の例を第2図を参照して説
明する。
Next, another example of a conventional flow control valve will be described with reference to FIG. 2.

第2図は、従来の他の流量制御弁の一部断面正面図であ
り、8は電歪素子、9はボール弁、矢印は流体の流れを
示している。
FIG. 2 is a partially sectional front view of another conventional flow control valve, in which 8 indicates an electrostrictive element, 9 indicates a ball valve, and arrows indicate fluid flow.

この流量制御弁は、電歪素子8を電気的に振動させ、−
その振動は利用してボール弁9を動がして流量を制御す
るものであるが、ボール弁9の弁部が小さい割には制御
弁全体が大きくなるという欠点があった。
This flow control valve electrically vibrates the electrostrictive element 8 and -
The vibration is used to move the ball valve 9 to control the flow rate, but there is a drawback that the entire control valve becomes large although the valve portion of the ball valve 9 is small.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、前述の従来技術の欠点を改良するためになさ
れたもので、小形で部品点数の少ない簡単な構造の流量
制御弁の提供を、その目的としている。
The present invention was made to improve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and its purpose is to provide a flow control valve that is small and has a simple structure with a small number of parts.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明に係る流量制御弁の構成は、ケース内に、流体が
流れる流路と、その流路の途中に設けた弁体とを備えて
なる流体制御弁において、前記弁体を、電圧を印加しう
る電歪性材料で形成した、連通孔を有する板状の弁体と
し、当該弁体の周辺を押圧する弾性材料をケース内に装
着したものである。
The configuration of the flow control valve according to the present invention is such that the fluid control valve includes a flow path through which fluid flows and a valve body provided in the middle of the flow path in a case, and the valve body is applied with a voltage. The valve body is made of a flexible electrostrictive material and has a plate shape with a communicating hole, and an elastic material that presses the periphery of the valve body is mounted inside the case.

なお、本発明を開発した考え方を付記すると、次のとお
りである。
Additionally, the idea behind developing the present invention is as follows.

従来の電歪素子を使って流量制御弁は、弁体を間接的に
振動させるものであった。したがって、流量制御弁の大
きさが大きくなるし、部品点数が多くなる。そこで、弁
そのものを電気的には外側を絶縁した電歪素子で製作し
、弁を振動させることを考えた。また、上記の弁の周辺
を固定すると弁の変形量が小さくなるので、周辺を弾性
材料で押し付けるだけにし、変形量を大きくできるよう
にしたものである。
Conventional flow control valves using electrostrictive elements indirectly vibrate the valve body. Therefore, the size of the flow control valve becomes large and the number of parts increases. Therefore, we thought of making the valve itself with an electrostrictive element that is electrically insulated on the outside and vibrating the valve. Furthermore, if the periphery of the valve is fixed, the amount of deformation of the valve will be reduced, so the amount of deformation can be increased by simply pressing the periphery with an elastic material.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の各実施例を第3図ないし第8図を参照し
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 3 to 8.

まず、第3図は、本発明の一実施例に係り流量制御弁の
断面図、第4図(、)は、その要部拡大図、第4図(b
)は印加電圧の波形図である。
First, FIG. 3 is a sectional view of a flow control valve according to an embodiment of the present invention, FIG.
) is a waveform diagram of the applied voltage.

第3,4図において、10は、外側を電気的に絶縁し、
電歪性材料で板状に形成した電圧を印加しうる電歪素子
の弁体(以下弁体という)で、連通孔12が穿孔されて
いる。
In FIGS. 3 and 4, 10 is electrically insulated on the outside,
A valve body (hereinafter referred to as a valve body) of an electrostrictive element to which a voltage can be applied is formed into a plate shape of an electrostrictive material, and a communicating hole 12 is bored therein.

弁体10における前記連通孔12の位置は、ケース13
の出口16と偏心した位置に穿孔されているものである
The position of the communication hole 12 in the valve body 10 is
The hole is bored at a position eccentric to the outlet 16 of the hole.

13は、カップ状に形成されたケースで、流体の出口1
6が穿孔されており、ケース内の流路方向に直角方向を
なすケース端壁のシート面13aに、前記弁体10を当
接させている。
13 is a case formed in a cup shape, and a fluid outlet 1
6 is perforated, and the valve body 10 is brought into contact with a seat surface 13a of the end wall of the case, which is perpendicular to the direction of the flow path inside the case.

14は、ケース13に固着するケースで、流体の入口1
5が穿孔されている。
14 is a case fixed to the case 13, and a fluid inlet 1
5 is perforated.

11は、前記弁体10の周辺部を押圧する弾性部材に係
るばね体で、ケース13.14内に装着されている。通
常、ばね体11側に圧力Pがかかるようになっている。
A spring body 11 is an elastic member that presses the peripheral portion of the valve body 10, and is mounted inside the case 13.14. Normally, pressure P is applied to the spring body 11 side.

このような構成の流量制御弁の作用を説明する。The operation of the flow control valve having such a configuration will be explained.

弁体10に電圧が印加されていないときは、弁体10は
、圧力差とばね体11によってケース13のシート面1
3aに押しつけられ流路を閉している。
When no voltage is applied to the valve body 10, the valve body 10 is pushed against the seat surface 1 of the case 13 by the pressure difference and the spring body 11.
3a to close the flow path.

弁体10に、たとえば第4図(b)に示すような矩形波
の電圧を印加すると、弁体10は振動し変形した状態を
′呈する。第4図(、)は、弁体10の板状体が変形し
た状態を示している。
When a rectangular wave voltage as shown in FIG. 4(b) is applied to the valve body 10, the valve body 10 vibrates and exhibits a deformed state. FIG. 4(,) shows a state in which the plate-like body of the valve body 10 is deformed.

このように、電圧が印加されると、弁体10は弓状の変
形をなし、ケース13内の上流側13bと下流側13c
とが連通し、連通孔12を通って矢印のように流体が流
れる。
In this way, when a voltage is applied, the valve body 10 deforms into an arcuate shape, and the upstream side 13b and the downstream side 13c in the case 13
are in communication with each other, and fluid flows through the communication hole 12 as shown by the arrow.

したがって、印加する電圧波形のデユーティ比および周
波数を変えると、流れる流体の流量を制御できる。
Therefore, by changing the duty ratio and frequency of the applied voltage waveform, the flow rate of the flowing fluid can be controlled.

この流量制御弁では、弁体10の周辺をばね体11で押
し付けているのみであるので、周辺を固定した場合より
変形量が太きkでき、同じ電圧でも流量を多くできる。
In this flow control valve, the periphery of the valve body 10 is only pressed by the spring body 11, so that the amount of deformation can be greater than when the periphery is fixed, and the flow rate can be increased with the same voltage.

また、弁体自体を電歪素子で製作しているので、第3図
から分るように部品点数が少なく、小形の流量制御弁が
製作可能である。
Furthermore, since the valve body itself is made of an electrostrictive element, as can be seen from FIG. 3, the number of parts is small and a small flow control valve can be manufactured.

次に、本発明の他の実施例を第5図および第6図を参照
して説明する。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

第5図は、本発明の他の実施例に係る流量制御弁の断面
図、第6図は、その要部拡大図で、(、)は流体が左方
向へ、(b)は流体が右方向へ流れる状態を示しており
、矢印は流体の流れである。
Fig. 5 is a cross-sectional view of a flow control valve according to another embodiment of the present invention, and Fig. 6 is an enlarged view of its main parts, where (,) indicates that the fluid is moving to the left, and (b) indicates that the fluid is moving to the right. The arrows indicate fluid flow.

第5図の例の論量制御弁は、先の第3図の例の流量制御
弁を2絹対向させて構成した形式のものである。
The stoichiometric control valve in the example shown in FIG. 5 is constructed by arranging two flow rate control valves in the example shown in FIG. 3 to face each other.

17、はケースで、ケースの中央部が中間壁となってお
り中心に連通孔19が穿孔されている。中間壁の左、右
の壁面には弁体を当接させるシート面17a、17bが
形成されている。
Reference numeral 17 indicates a case, and the center portion of the case is an intermediate wall, and a communication hole 19 is bored in the center. Seat surfaces 17a and 17b are formed on the left and right wall surfaces of the intermediate wall, with which the valve body comes into contact.

14a、]、4bは、ケース17の左、右に固着するケ
ースで、ケース14a、ケース14bには、それぞれ流
路18a、18bが穿孔されている。
14a, ], 4b are cases fixed to the left and right sides of the case 17, and the cases 14a and 14b are provided with flow passages 18a and 18b, respectively.

10a、LObは、先の例で説明したものと同様な電歪
性材料で板状に形成された電圧を印加しうる電歪素子の
弁体(以下弁体という)で、それぞれ弁体の中心から偏
心した位置にそれぞれ2個の連通孔12a、12bを有
しており、前記ケース17の中間壁のシート面17a、
17bに当接されている。
10a and LOb are valve bodies (hereinafter referred to as valve bodies) of electrostrictive elements to which a voltage can be applied, which are formed into a plate shape from an electrostrictive material similar to that explained in the previous example, and the center of each valve body is It has two communicating holes 12a and 12b, respectively, at positions eccentric from the seat surface 17a of the intermediate wall of the case 17,
17b.

11a、llbは、前記弁体10a、10bの周辺部を
、それぞれ左、右から押圧する弾性部材に係るばね体で
ある。
11a and llb are spring bodies that are elastic members that press the peripheral portions of the valve bodies 10a and 10b from the left and right, respectively.

弁体10a、10bに電圧を印加させないときは、弁体
10a、10bは、ばね体11a。
When no voltage is applied to the valve bodies 10a, 10b, the valve bodies 10a, 10b are the spring bodies 11a.

11bまたは圧力差でケース17のシート面17a、1
7bに押しつけられるので流体は流れない。
11b or seat surfaces 17a, 1 of case 17 due to pressure difference
Since it is pressed against 7b, the fluid does not flow.

いま流体圧は、第5図に向って左側をPI、右側をP2
とする。第6図(、)は、p2 >p、で流体が左方向
へ流れる状態、第6図(b)は、P2<高圧側から低圧
側に流体を流す場合を、第6図(a)の例で説明する。
Now, the fluid pressure is PI on the left side and P2 on the right side as seen in Figure 5.
shall be. Figure 6 (,) shows the state in which the fluid flows to the left when p2 > p, and Figure 6 (b) shows the case in which fluid flows from the high pressure side to the low pressure side when P2 < p, as shown in Figure 6 (a). Let's explain with an example.

高圧側に係るP2側の弁体10bに、たとえば矩形波の
電圧を印加させる。そうすると弁体1010bが振動し
変形して低圧側に係るPI側の弁体10aに高圧がか゛
かり、ばね体11 aで押しつけられていたその弁体1
0aを押す。したがって、流路が形成され、流体は連通
孔12b、19゜12aを矢印のように流れる。
For example, a rectangular wave voltage is applied to the P2 side valve body 10b related to the high pressure side. Then, the valve body 1010b vibrates and deforms, and high pressure is applied to the valve body 10a on the PI side, which is related to the low pressure side, and the valve body 1, which was pressed by the spring body 11a,
Press 0a. Therefore, a flow path is formed, and the fluid flows through the communication holes 12b and 19°12a as shown by the arrow.

必要とあれば、低圧側に係るPI側の弁体10aに、高
圧側に係るA’P2側の弁体10bと同期した電圧を付
加してもよい。流量の制御は、先に記したように付加す
る電圧波形のデユーティ比および周波数を変えて行う。
If necessary, a voltage synchronized with the valve body 10b on the A'P2 side, related to the high pressure side, may be applied to the valve body 10a on the PI side, related to the low pressure side. The flow rate is controlled by changing the duty ratio and frequency of the applied voltage waveform, as described above.

このようにすると、左、右両方向の流量制御を行うこと
が可能である。
In this way, it is possible to control the flow rate in both the left and right directions.

第6図(b)の例は(、)の例と流れ方向が反対の場合
で同様の作用であるから、その説明を省略する。
The example of FIG. 6(b) has the same effect as the example of (,) when the flow direction is opposite, so the explanation thereof will be omitted.

段に一木発明のさらに他の実施例を筑7図および第8図
を参照して説明する。
Still another embodiment of Ichiki's invention will now be described with reference to FIG. 7 and FIG.

第7図は、本発明のさらに他の実施例に係る流量制御弁
の断面図、第8図は、その要部拡大図で、(a)は流体
が左方向へ、(b)は流体が右方向へ流れる状態を示し
ており、矢印は流体の流れである。
FIG. 7 is a sectional view of a flow control valve according to still another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an enlarged view of the main part thereof, in which (a) the fluid moves to the left, and (b) the fluid moves to the left. It shows a state in which the fluid flows to the right, and the arrow indicates the flow of fluid.

第7図の例の流量制御弁は、左、右両方向の流量制御を
一つの電歪素子の弁体で行えるようにしたものである。
The flow rate control valve shown in FIG. 7 is such that flow rate control in both left and right directions can be performed using a single electrostrictive element valve body.

23.24は、あい対向する凸部23a。23 and 24 are convex portions 23a facing each other.

24aと周縁部23b、24bをそれぞ、t′L備えた
ケースで、ケース23.24を対接させ接合固着して流
量制御弁のケース形成されている。ケース23.24の
凸部23a、24aのあい対向する壁面は、弁体を当接
させるシート面23c。
The case 24a and the peripheral edges 23b and 24b are each provided with t'L, and the cases 23 and 24 are brought into contact with each other and bonded and fixed to form the case of the flow control valve. The opposing wall surface between the convex portions 23a and 24a of the case 23, 24 is a seat surface 23c against which the valve body abuts.

24cを備えている。25はケース23側の流路、26
はケース24側の流路である。
It is equipped with 24c. 25 is a flow path on the case 23 side, 26
is a flow path on the case 24 side.

20は、先の例で説明したと同様な電歪性材料で板状に
形成された電圧を印加しうる電歪素子の弁体(以下弁体
という)で、弁体20は前記のあい対向するシート面2
3c、24cに挾まれ、ケース内のほぼ中央に位置して
いる。その弁体20は、弁体の中心から偏心した位置に
2個の連通孔22が穿孔されている。
Reference numeral 20 denotes a valve body (hereinafter referred to as a valve body) of an electrostrictive element to which a voltage can be applied, which is formed into a plate shape from an electrostrictive material similar to that explained in the previous example, and the valve body 20 is a plate-shaped valve body (hereinafter referred to as a valve body) of an electrostrictive element to which a voltage can be applied. Seat surface 2
It is sandwiched between 3c and 24c and is located almost in the center of the case. The valve body 20 has two communication holes 22 bored at positions eccentric from the center of the valve body.

21a、21bは、前記弁体20の周辺部を、そ九ぞれ
左、右から押圧する弾性材料に係るばね体で、それぞれ
ケース23.24の凸部23a。
Reference numerals 21a and 21b are spring bodies made of an elastic material that press the periphery of the valve body 20 from the left and right, respectively, and are convex portions 23a of the cases 23 and 24, respectively.

24aと周縁部23b、24bとの間に装着されている
24a and the peripheral portions 23b, 24b.

弁体20に電圧を印加されていない状態では、弁体20
は、低圧側のケースのシート面に押しつけられて流路を
閉すので流体は流れない。
When no voltage is applied to the valve body 20, the valve body 20
is pressed against the seat surface of the case on the low pressure side and closes the flow path, so no fluid flows.

いま流体圧は、第7図に向って左側をPl、右側をPl
とする。
Now, the fluid pressure is Pl on the left side and Pl on the right side as seen in Figure 7.
shall be.

弁体20に電圧を印加すると、弁体20は振動し、弓状
に変形して、流体圧がP 2 > P Iのときは、第
8図(a)のように、流体は矢印のように流路26.連
通孔22.流路25を経て左方向へ流れ、流体圧がP 
2 < P 、のときは、第8図(b)のように、流体
は矢印のように流路25.連通孔22、流路26を経て
右方向へ流量る。
When a voltage is applied to the valve body 20, the valve body 20 vibrates and deforms into an arcuate shape, and when the fluid pressure is P2>PI, the fluid moves in the direction of the arrow as shown in FIG. 8(a). Flow path 26. Communication hole 22. It flows to the left through the flow path 25, and the fluid pressure is P.
When 2 < P, as shown in FIG. 8(b), the fluid flows through the flow path 25. as shown by the arrow. The fluid flows to the right through the communication hole 22 and the flow path 26.

流量の制御は、付加する電圧波形をデユーティ比および
周波数を変えて行う。
The flow rate is controlled by changing the duty ratio and frequency of the applied voltage waveform.

このようにして、第7図の実施例では、一つの弁体20
で、左、右両方向の流量制御を行うことが可能である。
In this way, in the embodiment of FIG.
It is possible to control the flow rate in both the left and right directions.

なお前記の実施例では電歪素子の弁体に設ける連通孔は
、第3図の例では1個、第5,7図の例では2個の例を
示したが、各実施例に限定されるものでなく、流量制御
弁の仕様上、設計上適切な大きさの1個以上の連通孔が
設けられていればよいものである。
In the above embodiments, the number of communication holes provided in the valve body of the electrostrictive element is one in the example of FIG. 3 and two in the examples of FIGS. It is sufficient that one or more communicating holes of an appropriate size are provided in accordance with the specifications and design of the flow control valve.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように、本発明によれば、小形で部品点数の
少ない簡単な構造の流量制御弁を提供することができる
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a flow control valve that is small and has a simple structure with a small number of parts.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の電歪素子を用いた流量制御弁の断面図、
第2図は従来の他の流量制御弁の一部断面正面図、第3
図は本発明の一実施例に係る流量制御弁の断面図、第4
図(a)はその要部拡大図、第4図(b)は印加電圧の
波形図、第5図は本発明の他の実施例に係る流量制御弁
の断面図、第6図はその要部拡大図で、(a)は流体が
左方向へ、(b)は流体が右方向へ流れる状態を示し、
第7図は本発明のさらに他の実施例に係る流量制御弁の
断面図、第8図はその要部拡大図で、(a)は流体が右
方向へ、(b)は流体が右方向へ流れる状態を示したも
のである。 10.10a、10b、20−電歪素子の弁体、11、
lla、llb、21a、21b−ばね体、12、19
.22−・・連通孔、13. 14. 14 a。 14b、17,23.24−=ケース、23a。 24a;=凸部、13a、17a、17b、23c。 24cm・・シート面、15・・・流体の入口、16・
・・流君5図 石 6 図 (L)(1)) 第 7 口 第 B 図 P2ン” Pz < R
Figure 1 is a cross-sectional view of a flow control valve using a conventional electrostrictive element.
Figure 2 is a partially sectional front view of another conventional flow control valve;
The figure is a sectional view of a flow control valve according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4(a) is an enlarged view of the main part, Fig. 4(b) is a waveform diagram of the applied voltage, Fig. 5 is a sectional view of a flow control valve according to another embodiment of the present invention, and Fig. 6 is its main part. In the enlarged view, (a) shows a state in which the fluid flows to the left, and (b) shows a state in which the fluid flows to the right.
FIG. 7 is a sectional view of a flow control valve according to still another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an enlarged view of the main part thereof, in which (a) the fluid moves to the right, and (b) the fluid moves to the right. This shows the state in which the flow occurs. 10.10a, 10b, 20-valve body of electrostrictive element, 11,
lla, llb, 21a, 21b-spring body, 12, 19
.. 22--Communication hole, 13. 14. 14 a. 14b, 17, 23.24-=case, 23a. 24a;=convex portion, 13a, 17a, 17b, 23c. 24cm... Seat surface, 15... Fluid inlet, 16...
...Nagarekun 5th figure stone 6 figure (L) (1)) 7th mouth B figure P2' Pz < R

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、ケース内に、流体が流れる流路と、その流路の途中
に設けた弁体とを備えてなる流量制御弁において、前記
弁体を、電圧を印加しうる電歪性材料で形成した、連通
孔を有する板状の弁体とし、当該弁体の周辺を押圧する
弾性部材をケース内に装着したことを特徴とする流量制
御弁。 2、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、板状の
弁体を、ケース内の流路方向に直角方向のケース端壁の
シート面に当接させ、弁体に電圧を印加しないときは流
路が閉され、弁体に電圧を印加したしきは、弁体の変形
により流路が連通されるように構成したものである流量
制御弁。 3、特許請求の範囲第1項または第2項記載のもののい
ずれかにおいて、ケース内に、連通孔を有する中間壁を
設け、その内聞壁を挟むように、左、右から板状の弁体
を前記中間壁のシート面に当接させ、各弁体の周辺を左
、右から押圧する弾性部材をケース内に装着したもので
ある流量制御弁。 4、特許請求の範囲第1項記載または第2項記載のもの
のいずれかにおいて、ケース内のほぼ中央に板状の弁体
を位置させ、その弁体の左。 右にあい対向する流路を備えたシニト面を位置させ、前
記弁体の周辺を左、右から押圧する弾性部材をケース内
に装着したものである流量制御弁。
[Claims] 1. A flow control valve comprising a flow path through which fluid flows and a valve body provided in the middle of the flow path in a case, in which the valve body is connected to an electric current capable of applying a voltage. 1. A flow control valve comprising a plate-shaped valve body made of a strainable material and having a communication hole, and an elastic member that presses the periphery of the valve body mounted in a case. 2. In the device described in claim 1, when the plate-shaped valve body is brought into contact with the seat surface of the case end wall in the direction perpendicular to the flow path direction in the case, and no voltage is applied to the valve body. A flow rate control valve is constructed so that the flow path is closed, and when a voltage is applied to the valve body, the flow path is opened by deformation of the valve body. 3. In either of claims 1 or 2, an intermediate wall having a communication hole is provided in the case, and plate-shaped valves are installed from the left and right so as to sandwich the inner wall. The flow control valve is equipped with an elastic member mounted in a case so as to press the periphery of each valve body from the left and right by bringing the body into contact with the seat surface of the intermediate wall. 4. In either of claims 1 or 2, a plate-shaped valve body is located approximately in the center of the case, and to the left of the valve body. A flow rate control valve in which an elastic member is mounted in a case, and an elastic member that presses the periphery of the valve body from the left and right is mounted on the right side and has an opposing flow path.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0233979U (en) * 1988-08-29 1990-03-05
JP2001512813A (en) * 1997-08-12 2001-08-28 ノイハウス,ディートマル Quick-acting valve

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